최신 제품·기술 홍보 각축

지난 2월 1일부터 3일까지 사흘간 서울 코엑스에서 펼쳐진 세미콘코리아에는 반도체용 특수가스 관련업체들이 대거 참여해 관람객들의 눈길을 끌었다.

우선 반도체 제조용 산업용 특수가스 전문기업 (주)원익머트리얼즈(대표 한정욱)는 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 비롯해 ISO Supply System, 각종 정제장치 등을 선보이며 관람객들을 맞았다. 이 회사는 Y톤용기 및 톤실린더 시스템을 통해 공급하는 포스핀(PH3), 이산화탄소(CO₂), 염소(Cl₂), 육불화황(SF₆) 등을 안내책자와 패널을 통해 소개하기도 했으며 ISO튜브트레일러를 통해 공급하는 고순도 암모니아(NH₃)를 비롯해 아산화질소(N₂O), 저메인(GeH₄), 디실란(Si₂H₄) 등의 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 바이어들에게 홍보하며 높은 관심을 얻었다. 특히 실리콘(Si) 기반의 전구체인 HCDS(Si₂Cl₆), 3DMAS, BDEAS와 지르코늄 기반의 High-k 유전체 전구체 Cp-Zr 등도 소개됐다. 아울러 암모니아 기반의 수소연료전지 발전 시스템 및 수소충전소를 소개했다.

또 반도체 및 디스플레이 장비기업 (주)케이씨의 계열사인 KC 인더스트리얼(주)(대표 이한기)은 이번 전시회에서 국내외 반도체, 배터리, 전기차 등 산업에 공급 중인 헬륨을 비롯한 각종특수가스와 중수소(D₂), 고순도 탄화규소(SiC) 분말 등 소재, 공장 자동화 솔루션, 화학물질 및 용기 등 장비 사업을 전시해 관람객들의 주목을 받았다.

이어 초소형 전자산업용 특수가스, 화학물질 등 첨단소재 처리솔루션을 제공하는 인테그리스(즈)(대표 손기철)는 반도체공정에 사용되는 재료나 케미컬을 안전하게 보관·운송하는 제품들을 선보여 눈길을 끌었다. 특히 이번 전시회에서는 레귤레이터를 장착한 소형 특수가스용기에 아르신(AsH₃)과 포스핀(PH₃) 등의 가스를 충전한 제품을 중점 홍보했다. 아울러 회사는 반도체 및 LED응용분야의 웨이퍼 수율을 대폭 개선해 주는 가스정제시스템(GPS)인 게이트키퍼(Gate Keeper)와 함께 최첨단 POU(point-of-use) 포토리소그래피 애플리케이션을 위한 혁신적인 Oktolex 멤브레인 기술도 함께 공개했다.

이와 함께 특수가스용 밸브 및 레귤레이터 제조업체 가운데 (주)루스테크(대표 진경진)는 초고순도 다이어프램 밸브를 비롯해 특수가스용 실린더 밸브(PURETEC), 라인용 밸브 및 레귤레이터(EQUIPMENT), 커넥터 및 피팅류, 고유량의 벨로우즈 밸브를 비롯해 산업용 밸브(INDUTEC)와 소방용 밸브 및 시스템(FIRETEC), 의료용 밸브 및 레귤레이터(MEDITEC), CNG & H₂용 차량용 밸브 및 레귤레이 (AUTOMOTIVE), 탄산수 시스템 (BUBBLE BOX) 등 가스가 사용되는 다양한 산업분야에서 적용이 가능한 밸브 및 레귤레이터 & 피팅류 들을 선보였다.

이밖에도 지난해 11월 충남 아산에 생산공장을 구축한 로타렉스의 한국지사인 로타렉스코리아(주)(지사장 구본남)도 가스 캐비닛용 라인밸브, 레귤레이터 및 초고순도가스 실린더용 밸브 등을 선보였으며 드라스타, 성화전자, SMC코리아, UCT코리아, 가스트론, UNILOK, 아래스 YUTAKA, 스웨지락 등도 초고순도 밸브 및 레귤레이터, 가스 검지기·경보기 등의 가스관련 장비를 출품하며 자사제품을 홍보했다.

한편 이번 전시회 기간 동안 반도체용 전문제조업체인 (주)에프알디(대표 박규홍)는 별도의 비즈니스를 위해 전시장 부대시설인 컨퍼런스룸을 빌려 제품 홍보를 펼쳐 눈길을 끌었다.

현재 이 회사는 고순도 아산화질소(N₂O)와 탄산(CO₂), 헬륨(He), 중수소(D₂), 포스핀(PH₃) 등 각종 특수·혼합가스 국내 공급을 비롯해 제논(Ze), 크립톤(Kr) 등의 희귀가스(Rare Gas)를 러시아와 우크라이나 제철소 등을 통해 들여와 분리·정제를 통해 국내시장 공급과 해외수출에 박차를 가하고 있다. 희귀가스 분야에 글로벌 원자재 소싱 능력을 보유한 이 회사는 뛰어난 정제기술을 확보해 각종 고순도 및 혼합가스를 해외 반도체기업 등을 대상으로 수출해왔다. 회사는 러시아, 중국, 베트남 등에 해외법인을 두고 있으며 미국, 프랑스, 카타르, 일본, 대만 등에도 글로벌 네트워크를 형성하고 있다.