¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½ºÁ¦Á¶¾÷üÀΠƼÀÌ¿¥¾¾(ÁÖ)(´ëÇ¥ À¯¿ø¾ç)°¡ ÄÚ½º´Ú½ÃÀå¿¡ ÀÔ¼ºÇß´Ù.
Áö³ 1¿ù 19ÀÏ ¼¿ï ¿©Àǵµ Çѱ¹°Å·¡¼Ò ¼¿ï»ç¿Á È«º¸°ü¿¡¼ ÄÚ½º´Ú½ÃÀå »óÀå±â³ä½ÄÀ» °¡Áø TEMC´Â °ø¸ð°¡ 2¸¸8,000¿øº¸´Ù ³·Àº °¡°ÝÀÎ 2¸¸7,950¿øÀ¸·Î ½ÃÀÛÇØ À̳¯ 2¸¸8,100¿øÀ¸·Î ÀåÀ» ¸¶ÃÆ´Ù.
ÃæºÏ º¸Àº¿¡ ºÐ»ç¸¦ µÐ ƼÀÌ¿¥¾¾´Â ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö°¡½º¸¦ Á¦Á¶, °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç Áö³ÇØ Æ÷½ºÄÚ¿Í ÇÔ²² ±¹³» ÃÖÃÊ·Î ³×¿Â(Ne)À» ÃßÃâÇÏ´Â ÀåÄ¡¸¦ °³¹ßÇØ ÃßÃâÇÑ ³×¿ÂÀ» ºÐ¸®·Á¤Á¦ÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê¶óÀο¡ Àû¿ë¿¡ ¼º°øÇß´Ù. ƯÈ÷ ÀÌ È¸»ç´Â ³×¿Â È¥ÇÕ°¡½ºÀÎ ¿¢½Ã¸Ó ·¹ÀÌÀú °¡½º(Excimer Laser gas)¿Í ¿¡Äª°øÁ¤¿ë CF°è¿ ±×¸®°í ÀÏ»êÈź¼Ò(CO), ȲÈÄ«º¸´Ò(COS) µîÀ» °ø±ÞÇØ¿Â ÀÌ È¸»ç´Â ÁõÂø°øÁ¤¿ë È¥ÇÕ°¡½ºÀÎ B2H6(µðº¸¶õ)±îÁö ´Ù¾çÇÑ Æ¯¼ö°¡½º Á¦Ç°À» »ý»êÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ƼÀÌ¿¥¾¾´Â À̹ø »óÀåÀ» ÅëÇØ ¸¶·ÃÇÑ ÀÚ±ÝÀ¸·Î ½Ã¼³À» È®ÃæÇÏ°í ÁøÁ¤ÇÑ ±¹»êÈ¿Í ±Û·Î¹ú µµ¾àÀ» ½ÇÇöÇÏ°Ú´Ù´Â ÀÇÁö¸¦ ´ÙÁö°í ÀÖ´Ù.
ȸ»ç ÃøÀº »óÀåÀ» ÅëÇØ Á¶´ÞµÈ ÀÚ±Ý Áß 266¾ï¿øÀ» È°¿ëÇØ ½Ã¼³ È®Àå¿¡ ³ª¼³ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ÃæºÏ º¸ÀºÀÇ º»»ç¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î 5°³ ºÎÁö¿¡ ½Ã¼³À» ¼³¸³ÇØ ¿ëµµº° ÀÎÇÁ¶ó¸¦ ¿î¿µÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù. »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó Áß±¹, ¹Ì±¹ µî ÇØ¿Ü ÁöÁ¡¿¡µµ Á÷Á¢ ÁøÃâÇØ ±¹³»¿ÜÀÇ °í°´»ç ¼ö¿ä¿¡ ´ëÇÑ ´ëÀÀ°ú ¿µ¾÷·ÂÀ» ´Ã¸°´Ù´Â Ç÷£À» ¼¼¿ü´Ù.
ƼÀÌ¿¥¾¾ À¯¿ø¾ç ´ëÇ¥´Â “»óÀå ÈÄ ´õ ¸¹Àº Ư¼ö°¡½º¸¦ ±¹»êÈÇÏ°í ÇØ¿Ü ÇöÁö¿¡ ÁøÃâÇØ ±Û·Î¹ú ȸ»ç·Î µµ¾àÇÏ°Ú´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
|