최근 반도체산업의 꾸준한 성장세에 따른 고순도 가스의 수요 급증을 대비해 ㈜아토 특수가스사업부(총괄 이준열 부사장)가 준비한 수년간의 프로젝트가 마침내 가시화됐다.
아토 특수가스사업부는 최근 월 15톤의 암모니아(NH3)를 생산해 왔던 1공장(3천평) 인근에 3천4백평의 부지를 추가로 매입, 이중 7백평의 부지에 초고순도 NH3를 양산할 수 있는 제 2플랜트를 완공했다고 밝혔다.
순도 99.99999%이상의 NH3를 월 65톤가량 생산이 가능하다고 밝힌 제 2플랜트는 각 Part별로 설비 및 장비를 발주함으로써 플랜트 완공에 이르기까지 자체 기술을 적극 활용했으며 이를 통해 생산설비에 대한 최상의 노하우를 터득했다는 후문이다.
현재 세계 유수의 특수가스제조업체도 NH3에 대해선 6N8이나 7N을 생산, 공급하고 있는 것으로 알려져 이번 아토의 첨단 정제플랜트 준공으로 7N 이상의 고순도 NH3 양산이 가능할 경우 국내 가스정제기술은 세계적인 수준을 넘어서는 쾌거가 예상된다.
이 회사의 박종흥 이사도 “수없이 많은 시행착오와 각고의 노력끝에 얻은 초고순도 NH3 정제기술은 세계 어디에 내놔도 손색이 없을 정도”라고 강조하고 기존 정제플랜트 이외에 자체 보유중인 기술력을 바탕으로 향후 CF계열의 초고순도가스 사업에도 진출할 계획이라고 밝혔다.
고순도 NH3는 주로 첨단 산업인 LED(발광다이오드), TFT-LCD 등의 제조에 사용되는 가스로 아토는 이번 공장증설을 통해 실린더는 물론 Y실린더, 벌크 ISO 탱크에 이르는 대용량 충전시스템을 확보함으로써 삼성, LG 등 대규모 수요처에 적극적인 영업을 펼칠 수 있게 됐다.
현재 아토 특수가스사업부의 가스별 생산규모는 이번 NH3 이외에 99.9995%의 N2O를 월 25톤 가량 생산할 수 있으며 SF6(99.999%) 월 20톤, CO2(99.9995%), 각종 혼합가스를 정제 또는 제조하고 있다.
한편 지난 2002년 11월 충북 청원의 오창과학공단에 특수가스공장을 설립한 아토는 그동안 저순도 원료가스를 흡착, 증류하는 방식으로 고순도가스를 생산해 국내 특수가스 수요처는 물론 아시아권 반도체 제조업체에 수출해 왔다.
