내년 10월 CO₂, CF₄, GeH₄ 등 年 30,000톤 제조 계획

한솔케미칼 자회사인 ㈜솔머티리얼즈(대표 허지행)가 2024년 10월 가동을 목표로 전북 새만금 산업단지내 34,000㎡(1만300평) 부지에 반도체용 특수가스 제조공장을 건설한다.

이를 위해 솔머티리얼즈는 지난 3월 14일 전북도, 군산시, 새만금개발청, 한국농어촌공사 등과 관련 가스제조시설 건립에 관한 투자협약을 체결했다.

총 투자규모는 547억원이며 오는 10월에 착공해 1년여의 공사를 진행한다는 계획이다.

㈜솔머티리얼즈는 새만금에 건설될 특수가스 공장에서 반도체 제조공정 중 세척, 에칭(식각), 증착에 사용되는 이산화탄소(CO₂)와 사불화탄소(CF₄), 사수소화게르마늄(GeH₄‧저메인) 등을 연간 약 30,000톤을 생산한다는 계획이다.

이번 새만금 공장 건립의 목적은 최근 모바일기기, 태블릿 PC 등의 시장이 꾸준히 성장하면서 반도체 수요의 증가에 따른 필수 소재인 특수가스 수요가 급증하는데 능동적으로 대응하기 위해 추진됐다는 설명이다.

회사측은 이번 투자가 새만금이 도로·항만·공항 등 물류 기반시설이 빠르게 구축되고 있고 법인세·소득세 등의 세제감면과 저렴한 장기임대용지 제공 등 우수한 혜택을 제공함에 따라 결정됐다고 밝혔다.

김규현 새만금개발청장은 ”우리나라 신산업을 이끌어갈 새만금에서의 새로운 시작을 응원하며 솔머티리얼즈와 새만금의 상생 발전을 위해 모든 지원을 아끼지 않겠다”고 말했다.

또 솔머티리얼즈의 허지행 대표는 “국가 산업발전의 핵심인 반도체용 가스 산업 발전과 함께 고객사, 지역사회와 동반 성장할 수 있도록 최선을 다할 것”이라고 밝혔다.

한편 솔머티리얼즈는 충북 청주에 본사를 두고 있으며 지난 2020년 2월 한솔케미칼이 하나머티리얼즈㈜ 가스사업부를 143억원에 인수해 출범했다.

현재 반도체 및 디스플레이 공정에 사용되는 N₂O, HBr 등의 제조와 Si₂H₆, NO, CF₄ 등의 정제 및 PH₃, Si2H₆, GeH₄, H₂, SiH₄, TMB 등의 Mix 가스 등을 생산하고 있으며 축적된 경험과 기술력을 바탕으로 반도체 관련 국내외 기업에 공급하고 있다.