지난해 충남 천안에 세계 최초의 불소발생기(Fluorine generator) 양산(量産) 공장을 준공한 바 있는 성원에드워드㈜(대표 김중조)가 기존 'Generation-F400'의 후속모델인 'Generation-F1600' 생산설비를 완공했다.
이 회사는 지난 20일 천안 특수가스공장에서 김중조 회장을 비롯한 회사임직원들과 BOC에드워드 임원진, 성무용 천안시장 등 1백여명이 참석한 가운데 대용량 F1600 불소발생기 생산공장 준공식을 개최했다.
F1600 모델은 F400의 4배 수준인 시간당 1천6백리터, 하루최대 64㎏의 친환경 불소(F2)를 생산할 수 있는 제품으로 성원은 이번에 연간 8대의 F1600 공급능력을 갖추었다.
이 회사의 관계자는 “F1600은 TFT-LCD 및 반도체 제조업체들의 설비대형화에 따른 세정가스 사용량 증대에 적극 부응하기 위해 개발됐다”며 “차세대 친환경 세정가스로서 불소에 대한 관심이 높아지고 있는 만큼 LG필립스LCD와 삼성전자를 중심으로 전세계 전자․반도체업체들에 대한 마케팅을 강화해 나갈 계획”이라고 밝혔다.
이 관계자는 또 “현재 F1600에 이은 추가 신규모델 개발계획은 없지만 다양한 모듈을 조합, 기능성과 라인 적용성을 최적화시키기 위한 노력을 진행하고 있다”고 덧붙였다.
이와관련 일본의 샤프社, 대만최대의 메모리반도체 업체 파워칩세미컨덕터社, 치메이社 등이 이미 성원의 불소발생기 공장을 방문, 높은 관심을 표명했으며 일본 울박(ULVAC)社에서는 성원이 제작한 소용량 모델 1기를 도입해 테스트를 진행중에 있는 것으로 알려졌다.
한편 2005년 4월 현재 국내 전자․반도체업체 중 삼성전자, LG필립스LCD, 하이닉스반도체 등 3개사가 성원에드워드의 불소발생기 총 7기를 도입․운용하고 있다.
