에어워터는 최근 반도체 장비 제조 계열사인 에어워터 메카트로닉스가 가나가와현 히라츠카 지역에 위치한 반도체 제조용 가스정제장치 제조공장의 생산라인을 증강하고, 본격 가동에 돌입했다고 밝혔다.

총 4억엔(약 40억원)이 투자된 이번 생산라인 증강은 글로벌 반도체 제조업계의 설비 대형화에 부응하기 위한 조치다. 이를 통해 에어워터는 대형 가스정제장치 제조능력을 내재화해 납기를 단축하는 동시에 생산능력도 기존의 1.6배로 확충됐다.

에어워터 관계자는 “반도체 제조용 가스정제장치를 제조할 수 있는 곳은 전 세계적으로 소수에 불과하고, 에어워터 메카트로닉스는 이미 이 분야에서 기술력을 인정받아 일본은 물론 대만, 미국, 중국 등지의 반도체 제조사에 관련장비를 납품하고 있다”며 “이번 생산설비 확충으로 메이저 반도체 업계에서의 입지도 더욱 강화될 것”이라고 기대감을 전했다.

한편 가스정제장치는 반도체 제조용 산업용가스와 불활성 가스를 초고순도로 정제하는데 쓰이는 반도체 제조 공정의 필수장비다.