에어프로덕트는 지난 10일 한국내 자회사인 한국산업가스(주)(대표 이수연, 이하 KIG)가 천안공장에 첨단기술을 적용한 전자·반도체용 대용량 포스핀 혼합가스(PH3 Mixtures) 설비를 완공하고 본격적인 가동에 돌입했다고 밝혔다.
에어프로덕트는 이 설비가 최첨단 혼합기술을 통해 고순도 포스핀혼합가스를 대량생산할 수 있는 세계 최초의 플랜트라고 강조했다.
아직 정확한 생산능력이나 공급규모는 확인되지 않았지만 KIG는 신규 설비에서 생산한 포스핀 혼합가스를 기존 B-실린더 대비 10배의 저장능력을 지니고 있는 Y-실린더에 충전, 벌크형태로 공급할 계획이다.
또한 KIG는 본사의 벌크특수가스공급(BSGS)시스템 및 전자·반도체용 토탈가스관리서비스(MEGASYS)를 도입, 고객들의 효율성을 극대화하는 한편 생산 및 배송공정에 있어 세계최고 수준의 안전성과 신뢰성을 제공한다는 방침이다.
업계전문가들은 KIG의 대용량 포스핀 생산설비 건설에 대해 국내 전자·반도체 생산기술이 고도화·집적화되고 설비대형화가 이루어지면서 지금까지와는 다른 대용량 특수가스 공급능력 확보가 경쟁력의 핵심으로 대두됐기 때문으로 분석한다.
실제로 삼성전자, LG필립스LCD 등을 위시한 국내 메이저급 전자·반도체 업체들을 중심으로 기존 실린더공급방식의 단점을 보완하고 생산공정의 효율성을 극대화할 수 있는 벌크형 특수가스 공급시스템에 대한 관심이 높아지고 있으며 현재 이를 도입하기 위한 가스공급업체들과의 접촉이 활발히 이루어지고 있는 것으로 알려져 있다.
한편 한국산업가스는 현재 천안지역에 총 3개의 ASU플랜트를 보유하고 있으며 이를 통해 삼성전자 천안공장의 4개 TFT-LCD 제조라인과 3개 PDP패널 생산라인에 고순도 질소(N2)를 독점 공급하고 있다.
