에어프로덕트는 지난달 10일 미국 텍사스주 소재 삼성전자 오스틴 공장과 고순도 벌크특수가스 공급계약을 체결했다고 밝혔다.
이번 양사의 계약은 총 5억달러가 투자되는 삼성전자의 오스틴공장 D램 제조설비 증설 프로젝트에 따른 것으로 향후 에어프로덕트는 신규 D램 제조라인에 고순도 삼불화질소(NF3), 실란(SiH4), 아산화질소(N2O), 과플루오르화에탄(C2F6) 등의 특수가스를 벌크방식으로 공급하게 된다.
에어프로덕트는 또 반도체 제조공정에 투입되는 각종 초고순도 물질들의 저장과 배송을 위한 특수가스설비 및 화학설비도 함께 공급하기로 삼성측과 합의했다.
이 회사의 Bruce Hargus 전자부문 부사장은 "에어프로덕트는 지난 97년 오스틴 공장이 문을 연 이래 지금까지 산소, 질소, 아르곤, 수소, 헬륨 등 모든 종류의 반도체용 액체벌크가스를 공급하고 있다"며 "앞으로도 삼성을 포함한 전세계 전자·반도체산업 고객들의 요구에 적극 부응하기 위해 적극적인 투자와 지원을 아끼지 않을 방침"이라고 밝혔다.
한편 에어프로덕트는 지난해 전자사업부를 통해 전세계에서 총 12억달러의 매출 실적을 올린바 있다.
