¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶»ç ƼÀÌ¿¥¾¾°¡ ¹ÝµµÃ¼·2Â÷ÀüÁö ¼ÒÀç·Àåºñȸ»çÀÎ ¿À¼Çºê¸´ÁöÀÇ ÃÖ´ëÁöºÐÀ» È®º¸ÇÏ¸é¼ µµ¾àÀÇ ¹ßÆÇÀ» ¸¶·ÃÇß´Ù.
ƼÀÌ¿¥¾¾(ÁÖ)(´ëÇ¥ À¯¿ø¾ç)´Â Áö³ 10¿ù 12ÀÏ ¿À¼Çºê¸´ÁöÀÇ ÃÖ´ëÁÖÁÖÀÎ ÆҾƽþƹݵµÃ¼À¯ÇÑȸ»ç·ÎºÎÅÍ ¿À¼Çºê¸´Áö ÁÖ½Ä 334¸¸ÁÖ(33.4%)¸¦ ¾à 654¾ï¿ø¿¡ ÀμöÅ°·Î Çß´Ù°í °ø½ÃÇß´Ù. ÁÖ´ç ¸Å¼ö°¡°ÝÀº 1¸¸9,570¿øÀ¸·Î 12ÀÏ Á¾°¡ 1¸¸4,690¿ø¿¡¼ ¾à 33% ÇÒÁõµÈ °¡°ÝÀÌ´Ù.
À̹ø Àμö¿¡ ´ëÇØ Æ¼ÀÌ¿¥¾¾´Â ¼ÒÀç»ç¾÷ °È ¹× »ç¾÷´Ù°¢È°¡ ¸ñÀûÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù. ƼÀÌ¿¥¾¾´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ´Ù¾çÇÑ Æ¯¼ö°¡½º¸¦ ±¹»êÈÇØ ±¹³»¿Ü ±¼ÁöÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µé¿¡ °ø±ÞÀ» ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ³×¿Â°ú Çï·ýÀ» ºÐ¸®, Á¤Á¦ÇÏ´Â ¼³ºñ¸¦ ÀÚü °³¹ßÇÏ°í 99.9999%ÀÇ °í¼øµµ ³×¿ÂÀ» ±¹»êÈ ÇßÀ¸¸ç Á¦³í(Xe)·Å©¸³Åæ(Kr)·CF°è¿·ÀÏ»êÈź¼Ò(CO) Á¤Á¦ ±â¼ú µîÀ» °³¹ßÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
ȸ»çÀÇ ÁÖ¿ä Ç°¸ñÀ¸·Î´Â ¡ã¿¢½Ã¸Ó ·¹ÀÌÀú °¡½º(Excimer Laser gas)¿Í Á¦³í(Xe), Å©¸³Åæ(Kr) µî Èñ±Í°¡½º ¡ã¿¡Äª°øÁ¤¿ë CF°è¿ °¡½º ¡ãÀÏ»êÈź¼Ò(CO) ¡ãȲÈÄ«º¸´Ò(COS) ¡ãÁõÂø °øÁ¤¿ë È¥ÇÕ°¡½º B2H6(µðº¸¶õ) µîÀÌ ÀÖ´Ù.
À̹ۿ¡µµ ƼÀÌ¿¥¾¾´Â Èñ±Í°¡½º·Æó°¡½º ÀçÈ°¿ë »ç¾÷ µî µ¶ÀÚÀûÀÎ ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ½Å»ç¾÷À» ÃßÁø Áß¿¡ ÀÖ´Ù. À̹ø¿¡ ÀμöÇÑ ¿À¼Çºê¸´Áö´Â HCDS, TiCl4, BDEAS µî Àü±¸Ã¼(Precursor)¿Í µð½Ç¶õ(Si2H6) µî Ư¼ö°¡½º¸¦ »ý»êÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ¹ÝµµÃ¼ ¹× ÀÌÂ÷ÀüÁö °øÁ¤ Àåºñ »ç¾÷µµ º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ¾î ƼÀÌ¿¥¾¾ÀÇ ½Å»ç¾÷ È®´ë¿¡ ½Ã³ÊÁö°¡ ±â´ëµÈ´Ù.
ƼÀÌ¿¥¾¾ °ü°èÀÚ´Â “À̹ø ¿À¼Çºê¸´Áö Àμö·Î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç »ç¾÷ ¿µ¿ªÀ» Àü±¸Ã¼·Î ³ÐÇô Àü¹®¼ºÀ» ´õ¿í °ÈÇÏ°Ú´Ù´Â °èȹ”À̶ó¸ç “Ư¼ö°¡½º·ÄɹÌÄà °ø±ÞÀåÄ¡¿Í 2Â÷ÀüÁö Á¦Á¶¿ë Àåºñ±îÁö ¿µ¿ªÀ» È®´ë, ±Ã±ØÀûÀ¸·Î ÅÏÅ° ¼Ö·ç¼Ç °ø±Þ ¿ª·®À» °®Ãß±â À§ÇÑ Ãʼ®À» ¸¶·ÃÇÑ´Ù´Â ¸ñÇ¥”¶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí À̹ø ÀμöÀÚ±ÝÀº 300¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ Àüȯ»çä ¹ßÇàÀ» ÅëÇØ ÀÚü Á¶´ÞÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. |