일본 굴지의 전자소재기업인 미쓰이케미칼社는 최근 NF3(삼불화질소) 생산능력을 연산(年産) 9백톤으로 확충 완료하고 본격적인 설비가동에 돌입했다고 밝혔다.
이번 설비증설은 전세계 전자.반도체업체들의 설비투자 확대와 이에따른 특수가스 수요증대에 부응하기 위한 것으로 시모노세키플랜트의 생산능력을 연산 450톤에서 750톤으로 확충함으로서 미국 자회사인 Anderson Development社가 보유한 2개의 NF3플랜트와 함께 총 900톤의 공급능력을 확보했다.
이로써 미쓰이케미칼은 미국 에어프로덕트에 이어 세계에서 두번째로 많은 NF3 생산능력을 갖추게 됐다.
이 회사의 Tominaga 이사는 "TFT-LCD산업의 고도성장에 힘입어 일본, 한국, 대만의 NF3 수요가 급증하고 있다"며 "일부 대형설비의 경우 월평균 사용량이 10톤을 넘어설 것으로 예상되고 있기도 하다"고 설명했다.
Tominaga 이사는 또 "전세계 NF3 시장에서의 경쟁우위를 지속적으로 점하기 위해 향후 생산능력을 연산 1천2백톤으로 늘리는 계획을 추진중" 이라고 밝혔다.
한편 우리나라의 소디프신소재도 최근 연산 6백톤규모의 NF3 제2공장을 완공, 연간 생산능력을 9백톤으로 확충한바 있으며 시장상황에 따라 즉각 추가적인 설비증설을 꾀할 수 있도록 제2공장의 모든 시스템을 연산 9백톤 규모로 설계했다.
