원익M·KC 인더스트리얼·에프알디·머크·루스테크 등

최신 제품·기술 홍보 각축

지난 1월 31일부터 2월 31까지 사흘간 서울 코엑스에서 펼쳐진 ‘세미콘코리아 2024’에는 반도체용 특수가스 업체를 비롯해 밸브, 레귤레이터 등 관련 부품업체들이 다수 참여해 관람객들의 눈길을 끌었다.

우선 반도체 제조용 산업용 특수가스 전문기업 (주)원익머트리얼즈(대표 한정욱)는 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 비롯해 ISO Supply System, 각종 정제장치 등을 선보이며 관람객들을 맞았다. 이 회사는 Y톤용기 및 톤실린더 시스템을 통해 공급하는 포스핀(PH₃), 이산화탄소(CO₂), 염소(Cl₂), 육불화황(SF₆) 등을 안내책자와 패널을 통해 소개하기도 했으며 ISO튜브트레일러를 통해 공급하는 고순도 암모니아(NH3)를 비롯해 아산화질소(N₂O), 저메인(GeH₄), 디실란(Si₂H₄) 등의 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 바이어들에게 홍보하며 높은 관심을 얻었다. 특히 실리콘(Si) 기반의 전구체인 HCDS(Si₂Cl₆), 3DMAS, BDEAS와 지르코늄 기반의 High-k 유전체 전구체 Cp-Zr 등도 소개됐다. 아울러 암모니아 기반의 수소연료전지 발전 시스템 및 수소충전소를 소개했다.

원릭머트리얼즈는 올해 생산효율 증대와 함께 연구개발(R&D)에 많은 예산을 투자해 핵심기술 선제적 확보에 나선다는 계획이다. 또한 최근 미국 텍사스에 현지법인을 설립과 함께 특수가스 제조시설 부지를 확보, 해외사업 확장에도 적극 나설 예정이다. 하루 500㎏의 수소 추출 장비를 개발한 회사는 현재 사업의 안전성과 상업성을 테스트하는 실증사업을 진행 중에 있다.

이와 함께 반도체 및 디스플레이 장비기업 (주)케이씨의 계열사인 KC 인더스트리얼(주)(대표 이한기)은 이번 전시회에서 국내외 반도체, 배터리, 전기차 등 산업에 공급 중인 헬륨을 비롯한 각종특수가스와 중수소(D₂), 고순도 탄화규소(SiC) 분말 등 소재, 공장 자동화 솔루션, 화학물질 및 용기 등 장비 사업을 전시해 관람객들의 주목을 받았다.

이어 반도체용 특수가스 공급업체인 (주)에프알디(대표 박규홍)는 다양한 특수가스 라인업과 개발 예정 가스 등을 선보여 주목을 받았다. 현재 이 회사는 고순도 아산화질소(N₂O)와 탄산(CO₂), 헬륨(He), 중수소(D₂), 포스핀(PH₃) 등 각종 특수·혼합가스 국내 공급을 비롯해 제논(Ze), 크립톤(Kr) 등의 희귀가스(Rare Gas)를 러시아와 우크라이나 제철소 등을 통해 들여와 분리·정제를 통해 국내시장 공급과 해외수출에 박차를 가하고 있다. 희귀가스 분야에 글로벌 원자재 소싱 능력을 보유한 회사는 뛰어난 정제기술을 확보해 각종 고순도 및 혼합가스를 해외 반도체기업 등을 대상으로 수출해 왔다. 현재 러시아, 중국, 베트남 등에 해외법인을 두고 있으며 미국, 프랑스, 카타르, 일본, 대만 등에도 글로벌 네트워크를 형성하고 있다.

독일 반도체 소재 기업 머크는 이번 전시회를 통해 ▲반도체 소재 ▲특수가스 ▲박막 ▲딜리버리 시스템 ▲디지털 솔루션 사업 등 다양한 사업군 홍보를 진행했다. 지난 2021년부터 오는 2025년까지 한국에 6억유로의 투자계획을 발표한 회사는 한국 내 연구시설과 생산시설 설립 등을 준비하고 있음은 물론 주요 고객사이자 메모리 시장을 선도하고 있는 삼성전자, SK하이닉스와의 협력을 확대하고 있다.

초소형 전자산업용 특수가스, 화학물질 등 첨단소재 처리솔루션을 제공하는 인테그리스(즈)(대표 김재원)는 반도체공정에 사용되는 재료나 케미컬을 안전하게 보관·운송하는 제품들을 선보여 눈길을 끌었다. 특히 이번 전시회에서는 레귤레이터를 장착한 소형 특수가스용기에 아르신(AsH3)과 포스핀(PH3) 등의 가스를 충전한 제품을 중점 홍보했다. 아울러 회사는 반도체 및 LED응용분야의 웨이퍼 수율을 대폭 개선해 주는 가스정제시스템(GPS)인 게이트키퍼(Gate Keeper)와 함께 최첨단 POU(point-of-use) 포토리소그래피 애플리케이션을 위한 혁신적인 Oktolex 멤브레인 기술도 함께 선보였다.

이와 함께 특수가스용 밸브 및 레귤레이터 공급업체인 (주)루스테크(대표 진경진)는 이번 전시회에서 이스라엘에 본사를 두고 있는 특수목적용 볼밸브 전문제작사인 하보님(HABONIM)사의 제품들을 선보였다. 특히 초저온 및 액체수소용 밸브를 비롯해 수소충전소용 고압 볼밸브, 초저온 밸브, 초고순도 다이어프램 밸브, 특수가스용 실린더 밸브, 라인용 밸브 및 레귤레이터, 커넥터 및 피팅류, 고유량의 벨로우즈 밸브 등 다양한 산업분야에서 적용이 가능한 밸브 및 레귤레이터, 피팅류 등을 전시했다. 최근 수소 플랜트를 비롯해 수소 생산, 저장, 운송, 충전 시설 전반 공정에 사용되는 특수 목적 볼(Ball) 밸브의 수입 및 판매에 적극적으로 나서고 있는 회사는 국제 규격에 준하는 ISO 및 TPED에 준하는 제품 인증을 취득해 높은 안정성과 신뢰성을 보장, 한국시장에서의 영향력을 확대하고 있다.

지난 2022년 충남 아산에 생산공장을 구축한 로타렉스의 한국지사인 로타렉스코리아(주)(지사장 구본남)도 가스 캐비닛용 라인밸브, 레귤레이터 및 초고순도가스 실린더용 밸브 등을 선보였다. 아울러 해외 시장을 겨냥해 아산공장에서 생산 중인 고객 맞춤형 UHP 가스 캐비넷과 UHP 케미컬 저장용기 등을 중점 홍보했다.

이밖에도 다양한 레귤레이터를 제조해 온 드라스타는 초고순도 미니어처 레귤레이터를 공개해 이목을 끌었으며 UCT코리아, 가스트론, 유니락, DK락, 하이록코리아 등도 밸브 및 레귤레이터, 가스 검지기·경보기 등의 가스관련 장비를 출품하며 자사제품을 홍보했다.