최근 소디프신소재, 미쓰이케미컬, 듀폰, 칸토덴카 등 NF3(삼불화질소) 제조업체들의 설비증설이 잇따르고 있는 가운데 세계최대의 NF3 제조업체인 에어프로덕트도 지난달 25일 펜실베니아洲 홈타운市 NF3(삼불화질소)플랜트의 생산능력을 연산 2천톤 수준으로 확충 완료했다고 밝혔다.
이 회사는 이번 제3호 NF3플랜트 건설이 급증하고 있는 전세계 NF3 수요증대에 적극 부응하고 세계 최대 NF3 공급업체로서의 지위를 더욱 공고히 하기 위한 것으로 에어프로덕트는 2위권 업체들의 현재 생산능력과 비교해 약 2배에 가까운 공급 우위를 점할 수 있게 됐다.
실제로 지난 몇년간 한국, 일본, 대만, 중국 등을 중심으로 TFT-LCD 및 반도체(300㎜) 메이커들의 초대형 생산단지가 신규 조성되면서 세정가스인 NF3의 수요가 폭발함에 따라 소디프신소재, 칸토덴카, 미쓰이케미칼 등이 생산능력을 연산 9백톤으로 확충 완료했고 듀폰은 지난 9월 중국에 연산 4백50톤 규모의 신규플랜트 건설을 발표하는 등 공급능력 향상을 위한 공격적 투자가 이어지고 있는 상황이다.
한편 에어프로덕트의 Mike Hilton 전자부문 부사장은 "제3호 NF3플랜트는 전세계 전자.반도체용 특수가스 시장에서의 강력한 영향력을 유지하기 위한 2개년 투자계획의 일환으로 진행됐다"며 "전세계에 2백75개의 BSGS(벌크특수가스공급시스템)을 운용하고 있는 NF3 선도기업으로서 에어프로덕트의 위치가 더욱 굳건해 졌다"고 강조했다.
