Ȩ > i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö
¢ß¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç, æÄß§ 3¹éÅæ±Ô¸ð SiH4 Á¦Á¶Ç÷£Æ® ¿Ï°ø³»³âÃÊ º»°Ý ¾ç»ê µ¹ÀÔ¡¦½Å±Ô ¾ÆÀÌÅÛ Ãß°¡ °ËÅäÁß
i°¡½ºÀú³Î  |  webmaster@igasnet.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2005.12.12  
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn
   
 
°æºÏ ¿µÁÖ ¼ÒÀç ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½ºÁ¦Á¶¾÷üÀÎ ¢ß¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(°øµ¿´ëÇ¥ ÇÏ¿µÈ¯, ¹Ú¿ë±æ)°¡ NF3(»ïºÒÈ­Áú¼Ò)¿Í WF6(À°ºÒÈ­ÅÖ½ºÅÙ)¿¡ À̾î SiH4(¸ð³ë½Ç¶õ)ÀÇ ±¹»êÈ­¿¡µµ ¼º°øÇß´Ù.

ÃÖ±Ù ¼ÒµðÇÁ´Â ¡°ÃÑ 2¹é¾ï¿øÀ» ÅõÀÚ, °æºÏ ¿µÁÖ°øÀå ºÎÁö³»¿¡ ¿¬»ê 3¹éÅæ ±Ô¸ðÀÇ SiH4 Á¦Á¶Ç÷£Æ®ÀÇ °Ç¼³À» ¿Ï·áÇß´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.

SiH4´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ Áß CVD(È­Çбâ»óÁõÂø)°øÁ¤¿¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö°¡½º·Î¼­ ½ÃÁ¦Ç° Å×½ºÆ®¿Í ¼³ºñ¾ÈÁ¤È­ µîÀ» °ÅÃÄ ³»³âÃʺÎÅÍ º»°ÝÀûÀÎ ¾ç»ê¿¡ µ¹ÀÔÇÒ °èȹÀÌ´Ù.

À̹ø Ç÷£Æ® ÁذøÀ¸·Î ¼ÒµðÇÁ´Â Áö³­ 2001³â Ư¼ö°¡½º»ç¾÷ ÁøÃâ ÀÌÈÄ ¼öÀÔ¿¡ ÀüÀûÀ¸·Î ÀÇÁ¸ÇؿԴø NF3¡¤WF6¡¤SiH4 µî 3Á¾ÀÇ ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°ø, ¸·´ëÇÑ ¼öÀÔ´ëüȿ°ú¸¦ °ÅµÎ°í ÀÖÀ¸¸ç À̸¦À§ÇØ Áö³­ 5³â°£ Ư¼ö°¡½º ºÐ¾ß¿¡ ´ÜÇàÇÑ ¼³ºñÅõÀھ׸¸ ÃÑ 1õ¾ï¿øÀ» ³Ñ¾î¼¹´Ù.

SiH4Ç÷£Æ®¿¡ ¾Õ¼­ ÁذøµÈ WF6(»ý»ê´É·Â 50Åæ/Ò´)ÀÇ °æ¿ì ÇöÀç ÇÏÀ̴нº¹ÝµµÃ¼¿Í °ø±Þ°è¾àÀ» ü°á, Á¦Ç°°ø±ÞÀÌ ÀÌ·ç¾îÁö°í ÀÖÀ¸¸ç ´ë¸¸ µî ÇØ¿Ü¾÷üµéÀÇ Á¦Ç°Å×½ºÆ®µµ ¼øÁ¶·Ó°Ô ÁøÇàµÇ°í ÀÖ¾î ³»³âºÎÅÍ ÇØ¿Ü¼öÃâÀÌ º»°ÝÈ­µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.

ƯÈ÷ ¼ÒµðÇÁ´Â ¼¼°èÃÖ°í ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷ü·ÎÀÇ ºÎ»óÀ» ¸ñÇ¥·Î Ãß°¡ÀûÀÎ ¾ÆÀÌÅÛ È®Ãæ¿¡ ³ª¼³ °èȹÀ̸ç ÀÌ¹Ì SiH4ÀÇ µÚ¸¦ À̸¦ Ư¼ö°¡½ºÀÇ ¼±Á¤À» À§ÇØ ´Ù¾çÇÑ È帱ºÀ» ³õ°í ³»ºÎ³íÀǸ¦ ÁøÇàÁßÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

À̿Ͱü·Ã ¼ÒµðÇÁ´Â Ãֱ٠ȸ»çÀÇ ¸ðÅ並 ¡®10³â³» ¸ÅÃâ 3õ¾ï¿ø ´Þ¼º¡¯À̶ó´Â ÀǹÌÀÇ ¡®1030¡¯À¸·Î Á¤ÇÏ°í Æ¯¼ö°¡½º¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î ¿¬¸¶Àç, ±×¶óÆÄÀÌÆ® ÆÄ¿ì´õ µî °¢ »ç¾÷ºÎ¹®ÀÇ ¿ª·® °­È­¿¡ ³ª¼­°í ÀÖ´Â »óȲÀÌ´Ù.

ÇÑÆí ¼ÒµðÇÁ´Â Áö³­ 14ÀÏ 3/4ºÐ±â ½ÇÀûº¸°í¼­¸¦ ÅëÇØ ¸ÅÃâ 1¹é31¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 34¾ï8õ¸¸¿ø, ¼øÀÌÀÍ 31¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.

ÀÌ´Â Àü³âµ¿±â ´ëºñ ¸ÅÃâ 3.3%, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 14.6%, ¼øÀÌÀÍ 21.8%ÀÇ °¨¼Ò°¡ ³ªÅ¸³­ °ÍÀ¸·Î ¼ÒµðÇÁ¸¦ ºñ·Ô ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®, Ä­Åäµ§Ä«, ¹Ì¾²ÀÌÄɹÌÄ® µîÀÇ ÀÕµû¸¥ ¼³ºñÁõ¼³·Î ¾ß±âµÈ Àü¼¼°è NF3 °¡°ÝÇ϶ôÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î ºÐ¼®µÈ´Ù.
i°¡½ºÀú³ÎÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn µÚ·Î°¡±â À§·Î°¡±â
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ÀÚµ¿µî·Ï¹æÁö¿ë Äڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä!   
È®ÀÎ
- 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte / ÃÖ´ë 400byte)
- ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
1
[Click]¼ö¼Ò¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß ±ÔÁ¦»÷µå¹Ú½º ¡®º¿¹°¡¯
2
µ¿¼ºÈ­ÀÎÅØ, Æó³Ã¸Å ÀçȰ¿ë ¼³ºñ È®Ãæ
3
[COMPANY NEWS](ÁÖ)¿¡¾îÆÛ½ºÆ®, ¡®µµ¾àÀÇ 50³â, ºñ»óÇÏ´Â 100³â¡¯ ¼±Æ÷
4
°¡½º¾ÈÀüÍë, 2025³â »ó¹Ý±â »ç°íÁ¶»ç Àü¹®À§¿øÈ¸ °³ÃÖ
5
PKC, ¿ÃÇØ 1ºÐ±â Àü³âµ¿±â´ëºñ ¸ÅÃâ 8%¡¤¿µ¾÷ÀÍ 9% Áõ°¡
6
°¡½º±â¼úÍë, ´ëÇлý ¡®¼ö¼ÒÀüÁֱ⼾ÅÍ ÇöÀ厹桯 ¿î¿µ
7
Á¦49ȸ ¼®À¯È­ÇÐ Ç÷£Æ® ¾ÈÀü±â¼úÇâ»ó¿¬±¸È¸ °³ÃÖ
8
°¡½ºÍë, ¹Ì·¡¼¼´ë ´«³ôÀÌ·Î ¿¡³ÊÁö º¹Áö ½Çõ
9
(ÁÖ)±×¸°°¡½º¼Ö·ç¼ÇÀ̾ؾ¾, ISO 45001 ¾ÈÀüº¸°Ç°æ¿µ½Ã½ºÅÛ ÀÎÁõ ȹµæ
10
[¸ÅÃâºÐ¼®] Á¶¼±±â±â(ÁÖ)
ȸ»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æÄ§¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.