 |
|
- UPDATE : 2025.6.27 ±Ý 16:56
|
Ȩ
> i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö |
¢ß¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç, æÄß§ 3¹éÅæ±Ô¸ð SiH4 Á¦Á¶Ç÷£Æ® ¿Ï°ø³»³âÃÊ º»°Ý ¾ç»ê µ¹ÀÔ¡¦½Å±Ô ¾ÆÀÌÅÛ Ãß°¡ °ËÅäÁß |
|
°æºÏ ¿µÁÖ ¼ÒÀç ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½ºÁ¦Á¶¾÷üÀÎ ¢ß¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(°øµ¿´ëÇ¥ ÇÏ¿µÈ¯, ¹Ú¿ë±æ)°¡ NF3(»ïºÒÈÁú¼Ò)¿Í WF6(À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ)¿¡ À̾î SiH4(¸ð³ë½Ç¶õ)ÀÇ ±¹»êÈ¿¡µµ ¼º°øÇß´Ù.
ÃÖ±Ù ¼ÒµðÇÁ´Â ¡°ÃÑ 2¹é¾ï¿øÀ» ÅõÀÚ, °æºÏ ¿µÁÖ°øÀå ºÎÁö³»¿¡ ¿¬»ê 3¹éÅæ ±Ô¸ðÀÇ SiH4 Á¦Á¶Ç÷£Æ®ÀÇ °Ç¼³À» ¿Ï·áÇß´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
SiH4´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ Áß CVD(ÈÇбâ»óÁõÂø)°øÁ¤¿¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö°¡½º·Î¼ ½ÃÁ¦Ç° Å×½ºÆ®¿Í ¼³ºñ¾ÈÁ¤È µîÀ» °ÅÃÄ ³»³âÃʺÎÅÍ º»°ÝÀûÀÎ ¾ç»ê¿¡ µ¹ÀÔÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
À̹ø Ç÷£Æ® ÁذøÀ¸·Î ¼ÒµðÇÁ´Â Áö³ 2001³â Ư¼ö°¡½º»ç¾÷ ÁøÃâ ÀÌÈÄ ¼öÀÔ¿¡ ÀüÀûÀ¸·Î ÀÇÁ¸ÇؿԴø NF3¡¤WF6¡¤SiH4 µî 3Á¾ÀÇ ±¹»êÈ¿¡ ¼º°ø, ¸·´ëÇÑ ¼öÀÔ´ëüȿ°ú¸¦ °ÅµÎ°í ÀÖÀ¸¸ç À̸¦À§ÇØ Áö³ 5³â°£ Ư¼ö°¡½º ºÐ¾ß¿¡ ´ÜÇàÇÑ ¼³ºñÅõÀھ׸¸ ÃÑ 1õ¾ï¿øÀ» ³Ñ¾î¼¹´Ù.
SiH4Ç÷£Æ®¿¡ ¾Õ¼ ÁذøµÈ WF6(»ý»ê´É·Â 50Åæ/Ò´)ÀÇ °æ¿ì ÇöÀç ÇÏÀ̴нº¹ÝµµÃ¼¿Í °ø±Þ°è¾àÀ» ü°á, Á¦Ç°°ø±ÞÀÌ ÀÌ·ç¾îÁö°í ÀÖÀ¸¸ç ´ë¸¸ µî ÇØ¿Ü¾÷üµéÀÇ Á¦Ç°Å×½ºÆ®µµ ¼øÁ¶·Ó°Ô ÁøÇàµÇ°í ÀÖ¾î ³»³âºÎÅÍ ÇØ¿Ü¼öÃâÀÌ º»°Ý鵃 °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
ƯÈ÷ ¼ÒµðÇÁ´Â ¼¼°èÃÖ°í ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷ü·ÎÀÇ ºÎ»óÀ» ¸ñÇ¥·Î Ãß°¡ÀûÀÎ ¾ÆÀÌÅÛ È®Ãæ¿¡ ³ª¼³ °èȹÀ̸ç ÀÌ¹Ì SiH4ÀÇ µÚ¸¦ À̸¦ Ư¼ö°¡½ºÀÇ ¼±Á¤À» À§ÇØ ´Ù¾çÇÑ È帱ºÀ» ³õ°í ³»ºÎ³íÀǸ¦ ÁøÇàÁßÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
À̿Ͱü·Ã ¼ÒµðÇÁ´Â Ãֱ٠ȸ»çÀÇ ¸ðÅ並 ¡®10³â³» ¸ÅÃâ 3õ¾ï¿ø ´Þ¼º¡¯À̶ó´Â ÀǹÌÀÇ ¡®1030¡¯À¸·Î Á¤ÇÏ°í Æ¯¼ö°¡½º¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î ¿¬¸¶Àç, ±×¶óÆÄÀÌÆ® ÆÄ¿ì´õ µî °¢ »ç¾÷ºÎ¹®ÀÇ ¿ª·® °È¿¡ ³ª¼°í ÀÖ´Â »óȲÀÌ´Ù.
ÇÑÆí ¼ÒµðÇÁ´Â Áö³ 14ÀÏ 3/4ºÐ±â ½ÇÀûº¸°í¼¸¦ ÅëÇØ ¸ÅÃâ 1¹é31¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 34¾ï8õ¸¸¿ø, ¼øÀÌÀÍ 31¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.
ÀÌ´Â Àü³âµ¿±â ´ëºñ ¸ÅÃâ 3.3%, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 14.6%, ¼øÀÌÀÍ 21.8%ÀÇ °¨¼Ò°¡ ³ªÅ¸³ °ÍÀ¸·Î ¼ÒµðÇÁ¸¦ ºñ·Ô ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®, ÄÅäµ§Ä«, ¹Ì¾²ÀÌÄɹÌÄ® µîÀÇ ÀÕµû¸¥ ¼³ºñÁõ¼³·Î ¾ß±âµÈ Àü¼¼°è NF3 °¡°ÝÇ϶ôÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î ºÐ¼®µÈ´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
 |
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
 |
|
|