¹Î°ü ½Ç¹«ÇùÀÇȸ ±¸¼º…Á¦µµ°³¼±·ÄÁ¼³ÆÃ Áö¿ø
»ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ(Àå°ü ¾È´ö±Ù)´Â ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¿ÍÀÇ ¼ÒÅëÀ» °ÈÇÏ°í °í¾Ð°¡½º ¾ÈÀü°ü¸®±âÁØÀ» °íµµÈÇϱâ À§ÇØ Áö³ 9¿ù 12ÀÏ Çѱ¹°¡½º¾ÈÀü°ø»ç, Çѱ¹¹ÝµµÃ¼»ê¾÷Çùȸ, »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº µî°ú ¾÷¹«Çù¾àÀ» ü°áÇß´Ù.
¹ÝµµÃ¼ »ý»ê °øÁ¤¿¡¼ ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4) µî ´Ù¾çÇÑ °í¾Ð°¡½ºµéÀÌ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ°í »ê¾÷ Ư¼º»ó ½Å¼ÒÀçÀÇ »ç¿ë, ½Å±â¼ú µµÀÔ µî ±â¼úÇõ½ÅÀÌ ±Þ°ÝÈ÷ ÀÌ·ïÁü¿¡ »ê¾÷ºÎ´Â ±â¾÷ ¾Ö·Î¸¦ ÇØ¼ÒÇϱâ À§ÇØ ¾÷°è¿ÍÀÇ °£´ãȸ·ÇöÀ广¹® µîÀ» ÅëÇØ ±×µ¿¾È Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ÇöÀå ¾Ö·Î°úÁ¦¸¦ µµÃâÇϰí Àü¹®°¡ °ËÅä µîÀ» °ÅÃÄ ±ÔÁ¦Çõ½ÅÀ» ÃßÁøÇØ ¿Ô´Ù.
À̹ø ¾÷¹«Çù¾à¿¡ µû¶ó ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ ºÐ¾ß °í¾Ð°¡½º ¾ÈÀü°ü¸®±âÁØ °íµµÈ¸¦ À§ÇÑ ¹Î·°ü ½Ç¹«ÇùÀÇȸ¸¦ ±¸¼ºÇϱâ·Î Çß´Ù. ¾÷°è¿¡¼´Â Á¦µµ °³¼±À» À§ÇÑ ±â¼úÁ¤º¸¸¦ Á¦°øÇÏ°í »ê¾÷ºÎ¿Í °¡½º¾ÈÀü°ø»ç´Â ½Å±â¼ú µµÀÔ µî¿¡ µû¸¥ °í¾Ð°¡½º ¾ÈÀü°ü¸®±âÁØ ÇÕ¸®È ¹æ¾È °ËÅä ¹× ¾ÈÀüÄÁ¼³ÆÃ µîÀ» Áö¿øÅ°·Î Çß´Ù.
»ê¾÷ºÎ ¹ÚÂù±â ¼ö¼Ò°æÁ¦Á¤Ã¥°üÀº “ÇöÀå ¿©°Ç¿¡ ¸Â°Ô ¾ÈÀüÀ» È®º¸ÇÏ¸é¼ ¿ì¸® ¹ÝµµÃ¼±â¾÷ÀÌ °æÀï·ÂÀ» °ÈÇϵµ·Ï ¾ÈÀüÈ®º¸¿Í »ê¾÷¹ßÀüÀÇ ±ÕÇüÀ» µµ¸ðÇÏ´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÏ´Ù”¸ç “¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ ¿Ü ¼®À¯ÈÇÐ, Ư¼ö°¡½º µî »ê¾÷ºÐ¾ß ¾÷°è¿Íµµ ¼ÒÅëÇØ °¡½º¾ÈÀü°ü¸®±âÁØ ÇÕ¸®È¸¦ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ÃßÁøÇØ ³ª°¡°Ú´Ù”°í ¹àÇû´Ù. |