한국산업가스(주)(대표 이수연, 이하 KIG)가 울산 용연공장 내에 초고순도 암모니아(UHP NH3) 제조(정제)플랜트를 준공하고 최근 본격적인 가동을 개시했다.(관련기사 제69호 33면)
이번 용연 NH3 공장은 에어프로덕트가 아시아지역에 세운 최초의 UHP NH3 플랜트로 한국을 비롯 중국, 대만 등 아시아지역 전자· 반도체업체들의 NH3 수요증대에 부응하기 위해 올해초 공사에 들어간지 1년여만에 준공됐다.
정확한 생산능력은 아직 확인되지 않았지만 TFT-LCD, 화합물반도체, LED(발광다이오드) 등 산업 적용성을 다양화하기 위해 5N(99.999%) 순도의 블루암모니아와 7N(99.99999%)급 화이트암모니아의 생산·공급능력을 모두 갖추고 있다.
특히 KIG는 벌크특수가스공급시스템(BSGS), 벌크 ISO모듈패키지 등 에어프로덕트의 최신 액체가스시스템을 채용하는 한편 다양한 종류의 ISO탱크와 액체컨테이너를 구비하고 벌크방식으로 NH3를 공급함으로서 고객들의 편의성 및 안정성을 극대화한다는 계획이다.
이같은 벌크공급능력 구축은 최근 국내외 전자.반도체 업계의 설비대형화로 산업용가스 사용량이 급증하면서 특수가스 공급방식도 실린더를 통한 기체가스에서 ISO탱크, 액체컨테이너, Y-실린더 등을 활용한 액체가스 형태로 빠르게 전이되고 있기 때문이다.
같은 이유에서 현재 삼성전자 탕정공장 인근의 음봉지역에 제2공장을 건설중인 한국메티슨특수가스 또한 음봉공장에서 취급한 대부분의 제품을 벌크형태로 공급할 계획에 있다.
한편 에어프로덕트의 Mike Hilton 전자부문 부사장은 “용연 플랜트의 준공으로 에어프로덕트는 기존 모리스빌플랜트, 홈타운플랜트에 더해 총 3개소의 NH3플랜트를 보유하게 됐다”며 “UHP NH3 제조·공급의 글로벌리더인 에어프로덕트의 위치가 더욱 공고해질 것으로 기대한다”고 밝혔다.
