È¿¼ºÈÇРƯ¼ö°¡½º »ç¾÷ºÎ ¿µ¾÷ ¾ç¼ö¸¦ ÅëÇØ ¿ï»ê ¿ë¿¬°ú ÃæºÏ ¿Á»ê°øÀåÀ» Æ÷ÇÔÇÑ Æ¯¼ö°¡½º »ç¾÷À» ÀμöÇÑ È¿¼ºÆ¼¾Ø¾¾°¡ Ư¼ö°¡½º Àü¹® ÀÚȸ»çÀÎ ‘È¿¼º³×¿ÀÄÍ(ÁÖ)(´ëÇ¥ À̰ÇÁ¾)’¸¦ °ø½Ä Ãâ¹ü½ÃÄ×´Ù.
È¿¼ºÆ¼¾Ø¾¾´Â Áö³ 2¿ù 1ÀÏ ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼ÒÀç »ç¾÷À» ¿µÀ§Çϰí ÀÖ´Â È¿¼º³×¿ÀÄÍÀ» ÅëÇØ Ư¼ö°¡½º »ç¾÷À» º»°ÝÈÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó È¿¼ºÈÇРƯ¼ö°¡½º ºÎ¹® ±¸¼º¿øµéÀº À̰ÇÁ¾ ´ëÇ¥À̻縦 Æ÷ÇÔÇØ ¸ðµÎ È¿¼º³×¿ÀÄÍÀ¸·Î ÀÚ¸®¸¦ ¿Å°å´Ù.
È¿¼º³×¿ÀÄÍÀÇ °ü°èÀÚ´Â “À̹ø Àμö¸¦ ÅëÇØ ±Û·Î¹ú NF3 ½ÃÀå¿¡¼ÀÇ ÀÔÁö¸¦ ´õ¿í °ÈÇÏ°í ¾çÈ£ÇÑ À繫»óŸ¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ¼±µµÀûÀÎ ¿¬±¸°³¹ß°ú ÅõÀÚ È®´ë¸¦ ÅëÇØ ´õ ¸¹Àº °í°´°¡Ä¡¸¦ Á¦°øÇÏ´Â Àü¹®¼ÒÀç±â¾÷À¸·Î °Åµì³¯ °Í”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÁÖ·Î ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶ °øÁ¤ Áß CVD Chamber ¼¼Á¤ ¹× ¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â NF3ÀÇ ÁÖ¿ø·á´Â ºÒ»ê°ú ¾Ï¸ð´Ï¾Æ·Î È¿¼º³×¿ÀÄÍÀº Àü±âºÐÇØ ¹ÝÀÀ ¹× ÃÊÀú¿Â Á¤Á¦ °úÁ¤À» ÅëÇØ 5N(99.999%) °í¼øµµ Á¦Ç°À» »ý»êÇϰí ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² ÀüÇØÁ¶ ¹× °í¼øµµ F2 ±â¼ú, °¡½º °ü·Ã ºÎ½Ä¹æÁö ¹× ÇÕ¼º ±×¸®°í ÃÊÀú¿Â Á¤Á¦¿Í ÈíÂø ±â¼úÀ» ÅëÇØ °í¼øµµ NF3»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó 20% F2/N2, Cl2, HCl, D2 µî ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°±ºÀ¸·Î °í°´ÀÇ ¿ä±¸¿¡ Àû±Ø ´ëÀÀÇϰí ÀÖ´Ù.
ÇöÀç È¿¼ºÆ¼¾Ø¾¾´Â Áß±¹ ÃëÀú¿ì °øÀå¿¡¼ ¿¬°£ 3,500ÅæÀÇ NF3¸¦ »ý»êÇϰí ÀÖÀ¸¸ç È¿¼ºÈÇÐÀº ±¹³»¿¡¼ ÃÑ 8,000Åæ/³âÀÇ »ý»ê´É·ÂÀ» º¸À¯Çϰí ÀÖ¾ú°í Àμö ¿Ï·á ÈÄ¿¡´Â ¿¬°£ ÃÑ 1¸¸1,500ÅæÀÇ NF3 »ý»ê´É·ÂÀ» È®º¸Çϸç Áß±¹ Æä¸¯À» Á¦Ä¡°í SK½ºÆä¼ÈƼ¿¡ ÀÌ¾î ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼ 2À§ °ø±Þ¾÷ü·Î ¿Ã¶ó¼°Ô µÆ´Ù. ÀÌ·Î½á ±Û·Î¹ú Á¡À¯À² È®´ë¿Í ÇÔ²² Àå±âÀûÀÎ ¼ºÀå °¡´É¼ºÀ» °ÈÇÏ´Â ÁÖ¿ä µ¿·ÂÀ¸·Î ÀÛ¿ëµÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
À̹ø È¿¼º³×¿ÀÄÍÀÇ Ãâ¹üÀ¸·Î ÀÎÇØ È¿¼º±×·ì³» Ư¼ö°¡½º »ç¾÷Àº ¾à 7³â ¸¸¿¡ Àç°áÇÕÇß´Ù. È¿¼ºÀº 2015³â Áß±¹ ÃëÀú¿ì ½ºÆÇµ¦½º »ý»ê½Ã¼³ Âø°ø ´ç½Ã À¯ÈÞ ºÎÁö¿¡ Ư¼ö°¡½º °øÀåÀ» °Ç¼³Çß´Ù. 2018³â¿¡´Â ÁöÁÖ»ç¿Í Áß°ø¾÷·ÈÇз¼¶À¯·¼ÒÀç µîÀ¸·Î ºÐÇÒÇÏ¸é¼ ÃëÀú¿ì °øÀåÀº È¿¼ºÆ¼¾Ø¾¾, Çѱ¹ ³» °øÀåÀº È¿¼ºÈÇÐÀ¸·Î ÆíÀÔÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
ÇöÀç Æ¯¼ö°¡½º »ç¾÷Àº ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹À̾÷°èÀÇ ½ÇÀûÀ» µû¶ó°¡°í ÀÖ¾î ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷À µî ÁÖ¿ä °í°´»çµéÀÇ ½ÇÀû ÇÏÇâ¿¡ µû¶ó ħü±â¸¦ ¸ÂÀ¸¸ç µ¿¹Ý Ç϶ô¼¼°¡ À̾îÁö°í ÀÖÀ¸³ª ¿©Å¸ »ç¾÷¿¡ ºñÇØ¼´Â ºÎ°¡°¡Ä¡°¡ ³ô´Ù´Â °ÍÀÌ ÀåÁ¡À¸·Î ºÎ°¢µÇ°í ÀÖ´Ù.
°ú°Å È¿¼ºÈÇРƯ¼ö°¡½º »ç¾÷ºÎÀÇ ½ÇÀûÀº 2022³â 1,988¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâ¿¡ ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 531¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇÑ ¹Ù ÀÖÀ¸³ª ¾÷Ȳ ºÎÁøÀ¸·Î ÀÎÇØ 2023³â¿¡´Â ¸ÅÃâ 1,684¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 200¾ï¿øÀ¸·Î ´Ù¼Ò ÇÏÇâÇß´Ù.
|
 |
|
|
|