Ȩ > ±âȹ/ƯÁý
[COMPANY BRIEFING]È¿¼º³×¿ÀÄÍ, ±×·ì³» Ư¼ö°¡½º »ç¾÷ ¿ÏÀüü ±¸¼º2¿ù 1ÀÏ °ø½Ä Ãâ¹ü¡¦NF3 ±Û·Î¹ú 2À§ °ø±Þ¾÷ü·Î µî±Ø
À̶ô¼ø  |  rslee@igasnet.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2025.03.05  
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn
   
 

È¿¼ºÈ­ÇРƯ¼ö°¡½º »ç¾÷ºÎ ¿µ¾÷ ¾ç¼ö¸¦ ÅëÇØ ¿ï»ê ¿ë¿¬°ú ÃæºÏ ¿Á»ê°øÀåÀ» Æ÷ÇÔÇÑ Æ¯¼ö°¡½º »ç¾÷À» ÀμöÇÑ È¿¼ºÆ¼¾Ø¾¾°¡ Ư¼ö°¡½º Àü¹® ÀÚȸ»çÀÎ ‘È¿¼º³×¿ÀÄÍ(ÁÖ)(´ëÇ¥ À̰ÇÁ¾)’¸¦ °ø½Ä Ãâ¹ü½ÃÄ×´Ù.

È¿¼ºÆ¼¾Ø¾¾´Â Áö³­ 2¿ù 1ÀÏ ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼ÒÀç »ç¾÷À» ¿µÀ§Çϰí ÀÖ´Â È¿¼º³×¿ÀÄÍÀ» ÅëÇØ Ư¼ö°¡½º »ç¾÷À» º»°ÝÈ­ÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó È¿¼ºÈ­ÇРƯ¼ö°¡½º ºÎ¹® ±¸¼º¿øµéÀº À̰ÇÁ¾ ´ëÇ¥À̻縦 Æ÷ÇÔÇØ ¸ðµÎ È¿¼º³×¿ÀÄÍÀ¸·Î ÀÚ¸®¸¦ ¿Å°å´Ù.
È¿¼º³×¿ÀÄÍÀÇ °ü°èÀÚ´Â “À̹ø Àμö¸¦ ÅëÇØ ±Û·Î¹ú NF3 ½ÃÀå¿¡¼­ÀÇ ÀÔÁö¸¦ ´õ¿í °­È­ÇÏ°í ¾çÈ£ÇÑ À繫»óŸ¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ¼±µµÀûÀÎ ¿¬±¸°³¹ß°ú ÅõÀÚ È®´ë¸¦ ÅëÇØ ´õ ¸¹Àº °í°´°¡Ä¡¸¦ Á¦°øÇÏ´Â Àü¹®¼ÒÀç±â¾÷À¸·Î °Åµì³¯ °Í”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÁÖ·Î ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶ °øÁ¤ Áß CVD Chamber ¼¼Á¤ ¹× ¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â NF3ÀÇ ÁÖ¿ø·á´Â ºÒ»ê°ú ¾Ï¸ð´Ï¾Æ·Î È¿¼º³×¿ÀÄÍÀº Àü±âºÐÇØ ¹ÝÀÀ ¹× ÃÊÀú¿Â Á¤Á¦ °úÁ¤À» ÅëÇØ 5N(99.999%) °í¼øµµ Á¦Ç°À» »ý»êÇϰí ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² ÀüÇØÁ¶ ¹× °í¼øµµ F2 ±â¼ú, °¡½º °ü·Ã ºÎ½Ä¹æÁö ¹× ÇÕ¼º ±×¸®°í ÃÊÀú¿Â Á¤Á¦¿Í ÈíÂø ±â¼úÀ» ÅëÇØ °í¼øµµ NF3»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó 20% F2/N2, Cl2, HCl, D2 µî ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°±ºÀ¸·Î °í°´ÀÇ ¿ä±¸¿¡ Àû±Ø ´ëÀÀÇϰí ÀÖ´Ù.
ÇöÀç È¿¼ºÆ¼¾Ø¾¾´Â Áß±¹ ÃëÀú¿ì °øÀå¿¡¼­ ¿¬°£ 3,500ÅæÀÇ NF3¸¦ »ý»êÇϰí ÀÖÀ¸¸ç È¿¼ºÈ­ÇÐÀº ±¹³»¿¡¼­ ÃÑ 8,000Åæ/³âÀÇ »ý»ê´É·ÂÀ» º¸À¯Çϰí ÀÖ¾ú°í Àμö ¿Ï·á ÈÄ¿¡´Â ¿¬°£ ÃÑ 1¸¸1,500ÅæÀÇ NF3 »ý»ê´É·ÂÀ» È®º¸Çϸç Áß±¹ Æä¸¯À» Á¦Ä¡°í SK½ºÆä¼ÈƼ¿¡ ÀÌ¾î ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼­ 2À§ °ø±Þ¾÷ü·Î ¿Ã¶ó¼­°Ô µÆ´Ù. ÀÌ·Î½á ±Û·Î¹ú Á¡À¯À² È®´ë¿Í ÇÔ²² Àå±âÀûÀÎ ¼ºÀå °¡´É¼ºÀ» °­È­ÇÏ´Â ÁÖ¿ä µ¿·ÂÀ¸·Î ÀÛ¿ëµÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
À̹ø È¿¼º³×¿ÀÄÍÀÇ Ãâ¹üÀ¸·Î ÀÎÇØ È¿¼º±×·ì³» Ư¼ö°¡½º »ç¾÷Àº ¾à 7³â ¸¸¿¡ Àç°áÇÕÇß´Ù. È¿¼ºÀº 2015³â Áß±¹ ÃëÀú¿ì ½ºÆÇµ¦½º »ý»ê½Ã¼³ Âø°ø ´ç½Ã À¯ÈÞ ºÎÁö¿¡ Ư¼ö°¡½º °øÀåÀ» °Ç¼³Çß´Ù. 2018³â¿¡´Â ÁöÁÖ»ç¿Í Áß°ø¾÷·È­Çз¼¶À¯·¼ÒÀç µîÀ¸·Î ºÐÇÒÇϸ鼭 ÃëÀú¿ì °øÀåÀº È¿¼ºÆ¼¾Ø¾¾, Çѱ¹ ³» °øÀåÀº È¿¼ºÈ­ÇÐÀ¸·Î ÆíÀÔÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
ÇöÀç Æ¯¼ö°¡½º »ç¾÷Àº ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹À̾÷°èÀÇ ½ÇÀûÀ» µû¶ó°¡°í ÀÖ¾î ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷À µî ÁÖ¿ä °í°´»çµéÀÇ ½ÇÀû ÇÏÇâ¿¡ µû¶ó ħü±â¸¦ ¸ÂÀ¸¸ç µ¿¹Ý Ç϶ô¼¼°¡ À̾îÁö°í ÀÖÀ¸³ª ¿©Å¸ »ç¾÷¿¡ ºñÇØ¼­´Â ºÎ°¡°¡Ä¡°¡ ³ô´Ù´Â °ÍÀÌ ÀåÁ¡À¸·Î ºÎ°¢µÇ°í ÀÖ´Ù.
°ú°Å È¿¼ºÈ­ÇРƯ¼ö°¡½º »ç¾÷ºÎÀÇ ½ÇÀûÀº 2022³â 1,988¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâ¿¡ ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 531¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇÑ ¹Ù ÀÖÀ¸³ª ¾÷Ȳ ºÎÁøÀ¸·Î ÀÎÇØ 2023³â¿¡´Â ¸ÅÃâ 1,684¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 200¾ï¿øÀ¸·Î ´Ù¼Ò ÇÏÇâÇß´Ù.

   
 
À̶ô¼øÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn µÚ·Î°¡±â À§·Î°¡±â
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ÀÚµ¿µî·Ï¹æÁö¿ë Äڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä!   
È®ÀÎ
- 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte / ÃÖ´ë 400byte)
- ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
1
[Click]¼ö¼Ò¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß ±ÔÁ¦»÷µå¹Ú½º ¡®º¿¹°¡¯
2
µ¿¼ºÈ­ÀÎÅØ, Æó³Ã¸Å ÀçȰ¿ë ¼³ºñ È®Ãæ
3
[COMPANY NEWS](ÁÖ)¿¡¾îÆÛ½ºÆ®, ¡®µµ¾àÀÇ 50³â, ºñ»óÇÏ´Â 100³â¡¯ ¼±Æ÷
4
°¡½º¾ÈÀüÍë, 2025³â »ó¹Ý±â »ç°íÁ¶»ç Àü¹®À§¿øÈ¸ °³ÃÖ
5
PKC, ¿ÃÇØ 1ºÐ±â Àü³âµ¿±â´ëºñ ¸ÅÃâ 8%¡¤¿µ¾÷ÀÍ 9% Áõ°¡
6
Á¦49ȸ ¼®À¯È­ÇÐ Ç÷£Æ® ¾ÈÀü±â¼úÇâ»ó¿¬±¸È¸ °³ÃÖ
7
°¡½º±â¼úÍë, ´ëÇлý ¡®¼ö¼ÒÀüÁֱ⼾ÅÍ ÇöÀ厹桯 ¿î¿µ
8
°¡½ºÍë, ¹Ì·¡¼¼´ë ´«³ôÀÌ·Î ¿¡³ÊÁö º¹Áö ½Çõ
9
(ÁÖ)±×¸°°¡½º¼Ö·ç¼ÇÀ̾ؾ¾, ISO 45001 ¾ÈÀüº¸°Ç°æ¿µ½Ã½ºÅÛ ÀÎÁõ ȹµæ
10
[¸ÅÃâºÐ¼®] Á¶¼±±â±â(ÁÖ)
ȸ»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æÄ§¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.