최근 전세계 반도체 시장 침체에도 불구하고 지난 2월 19일부터 2월 21까지 사흘간 서울 코엑스에서 펼쳐진 국내 최대 반도체 장비·재료 전시회 ‘세미콘코리아 2025’에는 반도체용 특수가스 업체를 비롯해 밸브, 레귤레이터 등 관련 부품업체들이 다수 참여해 관람객들의 눈길을 끌었다.

우선 반도체 제조용 산업용 특수가스 전문기업 (주)원익머트리얼즈(대표 한정욱)는 이번 전시회에 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 비롯해 사업 현황을 소개하며 관람객들을 맞았다. 현재 회사는 Y톤용기 및 톤실린더 시스템을 통해 공급하는 포스핀(PH3), 이산화탄소(CO2), 염소(Cl2), 육불화황(SF6)을 비롯해 ISO튜브트레일러를 통해 공급하는 고순도 암모니아(NH3)와 아산화질소(N2O), 저메인(GeH4), 디실란(Si2H4) 등의 각종 반도체용 특수가스를 생산하고 있다. 또한 회사는 실리콘(Si) 기반의 전구체인 HCDS(Si2Cl6), 3DMAS, BDEAS와 지르코늄 기반의 High-k 유전체 전구체 Cp-Zr 등의 사업도 영위하고 있으며 암모니아 기반의 수소연료전지 발전 시스템 및 수소충전소 사업도 활발히 추진 중에 있다.

한편 지난해 10월 충주에 암모니아 기반의 99.99% 이상의 고순도 수소 실증 사업장(하루 500㎏ 생산)을 구축한 원익머트리얼즈는 올해 전시회에 그린수소 사업 전력을 중점 홍보하며 눈길을 끌었다. 회사는 향후 수소 생산을 지속적으로 확대해 시장 수요에 대응해 나간다는 계획이다.

이와 함께 반도체 및 디스플레이 장비기업 (주)케이씨의 계열사인 KC 인더스트리얼(주)(대표 이한기·박재우)은 이번 전시회에서 국내외 반도체, 배터리, 전기차 등 산업에 공급 중인 헬륨과 중수소(D2) 등을 비롯한 각종 특수가스 사업을 소개했다. 또한 회사는 고순도 탄화규소(SiC) 분말 생산을 비롯해 반도체용 케미칼 용기, 특수 케미컬, 굴절률 측정 장비 등 공급 등 소재사업은 물론 엔지니어링 서비스 및 스마트공장 솔루션 등 디지털 솔류션 사업을 적극 홍보해 관람객들의 주목을 받았다.

이와 함께 특수가스용 밸브 및 레귤레이터 공급업체인 (주)루스테크(대표 진경진)는 이번 전시회에서 영국, 오스트리아, 이스라엘 등 전 세계 유수 밸브업체들의 제품을 소개해 관람객들의 주목을 받았다.

특히 GTC를 비롯해 HABONIM, IMI, PORVAIR 등의 최신 제품을 공급하고 있는 루스테크는 이번 전시회에 초저온 및 액체수소용 밸브는 룰론 수소충전소용 고압 볼밸브, 초저온 밸브, 초고순도 다이어프램 밸브, 특수가스용 실린더 밸브, 라인용 밸브 및 레귤레이터, 커넥터 및 피팅류, 고유량의 벨로우즈 밸브, 컨트롤 밸브 등 다양한 산업분야에서 적용이 가능한 밸브 및 레귤레이터, 피팅류 등을 전시했다. 최근 수소 플랜트를 비롯해 수소 생산, 저장, 운송, 충전 시설 전반 공정에 사용되는 특수 목적 볼(Ball) 밸브의 수입 및 판매에 적극적으로 나서고 있는 회사는 국제 규격에 준하는 ISO 및 TPED에 준하는 제품 인증을 취득해 높은 안정성과 신뢰성을 보장, 삼성전자를 비롯한 국내 반도체 기업에 공급을 하며 한국시장에서의 영향력을 확대하고 있다.

이어 반도체용 특수가스 공급업체인 (주)에프알디(대표 박규홍, FRD)는 다양한 특수가스 라인업과 개발 예정 가스 등을 선보여 주목을 받았다. 현재 이 회사는 고순도 아산화질소(N2O)와 탄산(CO2), 헬륨(He), 중수소(D2), 포스핀(PH3) 등 각종 특수·혼합가스 국내 공급을 비롯해 제논(Ze), 크립톤(Kr) 등의 희귀가스(Rare Gas)를 러시아와 우크라이나 제철소 등을 통해 들여와 분리·정제를 통해 국내시장 공급과 해외수출에 박차를 가하고 있다. 특히 희귀가스 분야에 글로벌 원자재 소싱 능력을 보유한 회사는 뛰어난 정제기술을 확보해 각종 고순도 및 혼합가스를 해외 반도체기업 등을 대상으로 수출해 왔다. 현재 러시아, 중국, 베트남 등에 해외법인을 두고 있으며 미국, 프랑스, 카타르, 일본, 대만 등에도 글로벌 네트워크를 형성하고 있다.

올해 FRD는 최근 수요가 늘어나고 있는 중수소(D2)를 국내 반도체회사를 대상으로 본격 공급할 계획이며 전 세계적인 탄소중립 요구에 따라 N2O을 비롯해 NF3 등 온난화지수가 높은 가스를 대체할 수 있는 F2혼합가스, NOF, N2OF 등과 같은 온실가스 대체물질 연구개발에 나서고 있다. 

독일 반도체 소재 기업 머크는 이번 전시회를 통해 ▲반도체 소재 ▲특수가스 ▲박막 ▲딜리버리 시스템 ▲디지털 솔루션 사업 등 다양한 사업군 홍보를 진행했다. 지난 2021년부터 오는 2025년까지 한국에 6억유로의 투자계획을 발표한 회사는 한국 내 연구시설과 생산시설 설립 등을 준비하고 있음은 물론 주요 고객사이자 메모리 시장을 선도하고 있는 삼성전자, SK하이닉스와의 협력을 확대하고 있다.

초소형 전자산업용 특수가스, 화학물질 등 첨단소재 처리솔루션을 제공하는 인테그리스(주)(대표 김재원)는 반도체공정에 사용되는 재료나 케미컬을 안전하게 보관·운송하는 제품들을 선보여 눈길을 끌었다. 특히 이번 전시회에서는 레귤레이터를 장착한 소형 특수가스용기에 아르신(AsH3)과 포스핀(PH3) 등의 가스를 충전한 제품을 중점 홍보했다. 아울러 회사는 반도체 및 LED응용분야의 웨이퍼 수율을 대폭 개선해 주는 가스정제시스템(GPS)인 게이트키퍼(Gate Keeper)와 함께 최첨단 POU(point-of-use) 포토리소그래피 애플리케이션을 위한 혁신적인 Oktolex 멤브레인 기술도 함께 선보였다.

지난 2022년 충남 아산에 생산공장을 구축한 로타렉스의 한국지사인 로타렉스코리아(주)(지사장 구본남)도 가스 캐비닛용 라인밸브, 레귤레이터 및 초고순도가스 실린더용 밸브 등을 선보였다. 아울러 해외 시장을 겨냥해 아산공장에서 생산 중인 고객 맞춤형 UHP 가스 캐비넷과 UHP 케미컬 저장용기 등을 중점 홍보했다.

이밖에도 다양한 레귤레이터를 제조해 온 드라스타는 초고순도 미니어처 레귤레이터를 공개해 이목을 끌었으며 UCT코리아, 가스트론, 유니락, DK락, 하이록코리아 등도 밸브 및 레귤레이터, 가스 검지기·경보기 등의 가스관련 장비를 출품하며 자사제품을 홍보했다.