Ȩ > Çؼ³/Áø´Ü
[¸ÅÃâºÐ¼®] (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçNF3 ¸ÅÃâ¾× 4¹é39¾ï¿ø¡¦¸ÅÃâºñÁß 85%
i°¡½ºÀú³Î  |  webmaster@igasnet.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2006.05.12  
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn
   
 
WF6µµ 8¾ï¿ø ¸ÅÃ⠿÷Á, ´Ü°¡Ç϶ôÀ¸·Î ¼øÀÍÀº °¨¼Ò

Áö³­ÇØ ¸» ÁöºÐ¸Å°¢ ¹× Àüȯ»çä ¹ßÇàÀ» ÅëÇØ µ¿¾çÁ¦Ã¶È­ÇÐÀ¸·Î »ç½Ç»ó ¸Å°¢µÈ ÀüÀÚ?¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷ü (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(°øµ¿´ëÇ¥ ÇÏ¿µÈ¯, Á¶¹éÀÎ)°¡ Ư¼ö°¡½º »ç¾÷ÀÇ È£Á¶¿¡ ÈûÀÔ¾î Áö³­ÇØ ¸ÅÃâ½ÇÀûÀÌ »ç»óóÀ½À¸·Î 5¹é¾ï¿øÀ» ³Ñ¾î¼¹´Ù.

ÃÖ±Ù ¹ßÇ¥µÈ °æ¿µ½ÇÀû ÀÚ·á¿¡ µû¸£¸é ÀÌ È¸»ç´Â Áö³­ÇØ ÃÑ 5¹é12¾ï5õ¸¸¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ±â·ÏÇÑ °ÍÀ¸·Î ¹àÇôÁ³´Ù.

ÀÌ´Â 2004³â(4¹é87¾ï5õ¸¸¿ø) ½ÇÀû´ëºñ 5.1%ÀÇ ¼ºÀåÀÌ ¹ß»ýÇÑ °ÍÀ¸·Î Çٽɻç¾÷À¸·Î ÀÚ¸®ÀâÀº NF3(»ïºÒÈ­Áú¼Ò)¿Í ½Å±Ô¾ÆÀÌÅÛÀÎ WF6(À°ºÒÈ­ÅÖ½ºÅÙ) µî Ư¼ö°¡½ººÎ¹®ÀÇ ½ÇÀû°³¼±¿¡ µû¸¥ °á°ú·Î º¸¿©Áø´Ù.

½ÇÁ¦·Î Áö³­ÇØ ¼ÒµðÇÁÀÇ NF3 ¸ÅÃâÀº °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñÁõ¼³ÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î Àü³â 3¹é68¾ï9õ¸¸¿ø ´ëºñ 19% ¼ºÀåÇÑ 4¹é39¾ï3õ¸¸¿øÀ» ³ªÅ¸³Â´Ù.

ÀÌÁß ¼öÃâÀÌ ÀϺ» µµ½Ã¹Ù¿ÍÀÇ °ø±Þ°è¾àü°á µî¿¡ ÈûÀÔ¾î Àü³â(328¾ï¿ø)º¸´Ù 17.5% ´Ã¾î³­ 3¹é86¾ï¿øÀ» ÀÌ·èÇß°í ³»¼öµµ 2004³â 40¾ï¿ø¿¡¼­ 31.4% È®´ëµÈ 53¾ï3õ¸¸¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù.

ÀÌ¿¡ µû¶ó ÀÌ È¸»çÀÇ NF3 ½ÃÀåÁ¡À¯À²Àº ±¹³» 24%, Àü¼¼°è 15%·Î ³ô¾ÆÁ³À¸¸ç Àüü¸ÅÃâ¾× Áß NF3ÀÇ ºñÁßµµ Àü³âµµÀÇ 76%¿¡¼­ Áö³­ÇØ¿¡´Â 85%·Î Å©°Ô ÁõÁøµÆ´Ù.

¶ÇÇÑ ¼ÒµðÇÁÀÇ µÎ ¹ø° Ư¼ö°¡½º ¾ÆÀÌÅÛÀÎ WF6µµ ÇÏÀ̴нº¹ÝµµÃ¼¿ÍÀÇ °ø±Þ°è¾à ü°á·Î Áö³­ÇØ 7¾ï9õ¸¸¿ø(¼öÃâ 7¾ï8õ¸¸¿ø, ³»¼ö 1õ¸¸¿ø)ÀÇ ¸ÅÃâ½ÇÀûÀ» °ÅµÎ¸ç ¼º°øÀûÀΠù¹ßÀ» ³»µó¾ú´Ù.

±×·¯³ª NF3 »ý»ê¡¤°ø±Þ·®ÀÌ 2¹è ÀÌ»ó È®ÃæµÇ¾úÀ½¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ¸ÅÃâ¾× »ó½Â¾×(25¾ï¿ø)ÀÌ ¸ÅÃâ¿ø°¡ »ó½ÂºÐ(53¾ï¿ø)¿¡µµ ¸ø¹ÌÄ¡¸é¼­ ¿µ¾÷ÀÌÀÍ°ú ¼øÀÌÀÍÀº °¢°¢ Àü³â´ëºñ 17%, 22% °¨¼ÒÇÑ 1¹é29¾ï3õ¸¸¿ø, 1¹é20¾ï3õ¸¸¿ø¿¡ ±×ÃÆ´Ù.

ÀÌ°°Àº Çö»óÀº ¼ÒµðÇÁ¸¦ Æ÷ÇÔ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®, ¹Ì¾²ÀÌÄɹÌÄ®, Ä­Å䵧ī, µàÆù µî ÁÖ¿ä NF3 Á¦Á¶¾÷üµéÀÌ ±ÞÁõÇÏ´Â °ü·Ã½ÃÀåÀ» Àâ±â À§ÇØ Áö³­ÇØ °æÀïÀûÀ¸·Î ´ë±Ô¸ð ¼³ºñÁõ¼³¿¡ ³ª¼­¸é¼­ Àü¼¼°è NF3 À¯Åë°¡°ÝÀÇ Ç϶ôÀ» ºÒ·¯¿Ô±â ¶§¹®À¸·Î ºÐ¼®µÈ´Ù.

°á±¹ ¿ÃÇØÀÇ °æ¿ì¿¡µµ ¼ÒµðÇÁÀÇ ½ÇÀûÀº NF3ÀÇ °¡°ÝÈ帧¿¡ »ó´çÇÑ ¿µÇâÀ» ¹Þ°ÚÁö¸¸ µ¿¾çÁ¦Ã¶À̶ó´Â µçµçÇÑ ÈÄ¿øÀÚ¸¦ ¾òÀº µ¥´Ù WF6ÀÇ ¸ÅÃâºÎ¾ç È¿°ú°¡ 1³â°£ Áö¼ÓµÇ°í ½Å±Ô SiH4 »ç¾÷ÀÌ ¹àÀº Àü¸ÁÀ» º¸Àδٴ Á¡¿¡¼­ ¿¹³â°ú °°Àº °íµµ¼ºÀå ±âÁ¶¸¦ ȸº¹ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
i°¡½ºÀú³ÎÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn µÚ·Î°¡±â À§·Î°¡±â
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ÀÚµ¿µî·Ï¹æÁö¿ë Äڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä!   
È®ÀÎ
- 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte / ÃÖ´ë 400byte)
- ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
1
[COMPANY NEWS] È¿¼ºÈ­ÇÐ, Ư¼ö°¡½º»ç¾÷ºÎ ¼Ò¼öÁöºÐ ¸Å°¢ ÃßÁø
2
Linde, ºÐ±â ¹è´ç±Ý 9% È®´ë
3
ìí TNSC¡¤Iwatani, »ê¾÷¿ë°¡½º °¡°Ý µÎÀÚ¸´¼ö Àλó
4
Air Liquide, ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®¿¡ °í¼øµµ Áú¼Ò °ø±Þ
5
[Click] ÅëÇÕ ¹ÙÀÌ¿À°¡½ºÈ­ »ç¾÷ ´ë»ó ÁöÀÚü 8°³ ¼±Á¤
6
¿¡±âæÚ, ¡°°Ç¹° ¿¡³ÊÁö °ü¸® °ÆÁ¤ ±×¸¸¡± °íÀå±îÁö ½Ç½Ã°£À¸·Î °ü¸®ÇÑ´Ù
7
[Info] Àü±âÂ÷ ÃæÀü±â ¿¬³» 45¸¸±â±îÁö È®´ëµÈ´Ù
8
[Zoom In] ÷´Ü»ê¾÷ À°¼º À§ÇØ ¡®½Å¼ºÀå ÇÁ·ÎÁ§Æ®¡¯ ¼Óµµ³½´Ù
9
[Zoom In] ³ì»ö»ê¾÷ ±Û·Î¹ú ¼±µµ±¹°¡ µµ¾à ³ª¼±´Ù
10
°¡½º¾ÈÀüÍë °æ±âÁö¿ª, °£ºÎ °£´ãȸ ¹× °¡½º¾ÈÀüÄ·ÆäÀÎ ½Ç½Ã
ȸ»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î. All rights reserved.