|
|
- UPDATE : 2024.4.26 ±Ý 11:27
|
Ȩ
> Çؼ³/Áø´Ü |
[¸ÅÃâºÐ¼®] (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçNF3 ¸ÅÃâ¾× 4¹é39¾ï¿ø¡¦¸ÅÃâºñÁß 85% |
|
WF6µµ 8¾ï¿ø ¸ÅÃ⠿÷Á, ´Ü°¡Ç϶ôÀ¸·Î ¼øÀÍÀº °¨¼Ò
Áö³ÇØ ¸» ÁöºÐ¸Å°¢ ¹× Àüȯ»çä ¹ßÇàÀ» ÅëÇØ µ¿¾çÁ¦Ã¶ÈÇÐÀ¸·Î »ç½Ç»ó ¸Å°¢µÈ ÀüÀÚ?¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷ü (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(°øµ¿´ëÇ¥ ÇÏ¿µÈ¯, Á¶¹éÀÎ)°¡ Ư¼ö°¡½º »ç¾÷ÀÇ È£Á¶¿¡ ÈûÀÔ¾î Áö³ÇØ ¸ÅÃâ½ÇÀûÀÌ »ç»óóÀ½À¸·Î 5¹é¾ï¿øÀ» ³Ñ¾î¼¹´Ù.
ÃÖ±Ù ¹ßÇ¥µÈ °æ¿µ½ÇÀû ÀÚ·á¿¡ µû¸£¸é ÀÌ È¸»ç´Â Áö³ÇØ ÃÑ 5¹é12¾ï5õ¸¸¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ±â·ÏÇÑ °ÍÀ¸·Î ¹àÇôÁ³´Ù.
ÀÌ´Â 2004³â(4¹é87¾ï5õ¸¸¿ø) ½ÇÀû´ëºñ 5.1%ÀÇ ¼ºÀåÀÌ ¹ß»ýÇÑ °ÍÀ¸·Î Çٽɻç¾÷À¸·Î ÀÚ¸®ÀâÀº NF3(»ïºÒÈÁú¼Ò)¿Í ½Å±Ô¾ÆÀÌÅÛÀÎ WF6(À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ) µî Ư¼ö°¡½ººÎ¹®ÀÇ ½ÇÀû°³¼±¿¡ µû¸¥ °á°ú·Î º¸¿©Áø´Ù.
½ÇÁ¦·Î Áö³ÇØ ¼ÒµðÇÁÀÇ NF3 ¸ÅÃâÀº °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñÁõ¼³ÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î Àü³â 3¹é68¾ï9õ¸¸¿ø ´ëºñ 19% ¼ºÀåÇÑ 4¹é39¾ï3õ¸¸¿øÀ» ³ªÅ¸³Â´Ù.
ÀÌÁß ¼öÃâÀÌ ÀϺ» µµ½Ã¹Ù¿ÍÀÇ °ø±Þ°è¾àü°á µî¿¡ ÈûÀÔ¾î Àü³â(328¾ï¿ø)º¸´Ù 17.5% ´Ã¾î³ 3¹é86¾ï¿øÀ» ÀÌ·èÇß°í ³»¼öµµ 2004³â 40¾ï¿ø¿¡¼ 31.4% È®´ëµÈ 53¾ï3õ¸¸¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó ÀÌ È¸»çÀÇ NF3 ½ÃÀåÁ¡À¯À²Àº ±¹³» 24%, Àü¼¼°è 15%·Î ³ô¾ÆÁ³À¸¸ç Àüü¸ÅÃâ¾× Áß NF3ÀÇ ºñÁßµµ Àü³âµµÀÇ 76%¿¡¼ Áö³ÇØ¿¡´Â 85%·Î Å©°Ô ÁõÁøµÆ´Ù.
¶ÇÇÑ ¼ÒµðÇÁÀÇ µÎ ¹ø° Ư¼ö°¡½º ¾ÆÀÌÅÛÀÎ WF6µµ ÇÏÀ̴нº¹ÝµµÃ¼¿ÍÀÇ °ø±Þ°è¾à ü°á·Î Áö³ÇØ 7¾ï9õ¸¸¿ø(¼öÃâ 7¾ï8õ¸¸¿ø, ³»¼ö 1õ¸¸¿ø)ÀÇ ¸ÅÃâ½ÇÀûÀ» °ÅµÎ¸ç ¼º°øÀûÀΠù¹ßÀ» ³»µó¾ú´Ù.
±×·¯³ª NF3 »ý»ê¡¤°ø±Þ·®ÀÌ 2¹è ÀÌ»ó È®ÃæµÇ¾úÀ½¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ¸ÅÃâ¾× »ó½Â¾×(25¾ï¿ø)ÀÌ ¸ÅÃâ¿ø°¡ »ó½ÂºÐ(53¾ï¿ø)¿¡µµ ¸ø¹ÌÄ¡¸é¼ ¿µ¾÷ÀÌÀÍ°ú ¼øÀÌÀÍÀº °¢°¢ Àü³â´ëºñ 17%, 22% °¨¼ÒÇÑ 1¹é29¾ï3õ¸¸¿ø, 1¹é20¾ï3õ¸¸¿ø¿¡ ±×ÃÆ´Ù.
ÀÌ°°Àº Çö»óÀº ¼ÒµðÇÁ¸¦ Æ÷ÇÔ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®, ¹Ì¾²ÀÌÄɹÌÄ®, ÄÅ䵧ī, µàÆù µî ÁÖ¿ä NF3 Á¦Á¶¾÷üµéÀÌ ±ÞÁõÇÏ´Â °ü·Ã½ÃÀåÀ» Àâ±â À§ÇØ Áö³ÇØ °æÀïÀûÀ¸·Î ´ë±Ô¸ð ¼³ºñÁõ¼³¿¡ ³ª¼¸é¼ Àü¼¼°è NF3 À¯Åë°¡°ÝÀÇ Ç϶ôÀ» ºÒ·¯¿Ô±â ¶§¹®À¸·Î ºÐ¼®µÈ´Ù.
°á±¹ ¿ÃÇØÀÇ °æ¿ì¿¡µµ ¼ÒµðÇÁÀÇ ½ÇÀûÀº NF3ÀÇ °¡°ÝÈ帧¿¡ »ó´çÇÑ ¿µÇâÀ» ¹Þ°ÚÁö¸¸ µ¿¾çÁ¦Ã¶À̶ó´Â µçµçÇÑ ÈÄ¿øÀÚ¸¦ ¾òÀº µ¥´Ù WF6ÀÇ ¸ÅÃâºÎ¾ç È¿°ú°¡ 1³â°£ Áö¼ÓµÇ°í ½Å±Ô SiH4 »ç¾÷ÀÌ ¹àÀº Àü¸ÁÀ» º¸Àδٴ Á¡¿¡¼ ¿¹³â°ú °°Àº °íµµ¼ºÀå ±âÁ¶¸¦ ȸº¹ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
|
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
|
|
|