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비오씨가스 기흥공장, 삼성전자에 초고순도 가스 공급개시N2 2만6천N㎥/h, O2 9천N㎥/h 등 생산…ppb단위로 정제가능 |
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국내 4대 산업용가스 메이커의 하나인 (주)비오씨가스코리아(대표 크리스토퍼 길, 김중조)가 1년여의 공사기간을 마치고 마침내 삼성전자 화성 반도체공장에 질소, 아르곤 등 초고순도 가스 공급을 개시했다.
삼성전자 화성공장의 H2, H3 프로젝트 신규 15~16라인에 투입되는 반도체가스의 생산규모는 ppb단위의 질소 2만6천㎥/h, 산소 9천㎥/h, 아르곤 3백50㎥/h이며 삼성전자내에 최신 정제기를 설치해 수요처의 요구를 완벽하게 부합시켰다.
이를 위해 비오씨가스코리아는 린데로부터 도입한 콜드박스와 기술력으로 총 1만여평의 부지에 자체 생산순도가 200ppb 규모인 ASU와 5천톤형 질소 저장탱크를 설치한 동시에 각종 특수가스 공급부지를 확보한 상황이다.
또한 3.5km에 달하는 파이프라인과 이미 공급중인 헬륨(He)과 수소(H2)의 배관망까지 연결을 마친 것으로 전해졌다.
특히 삼성전자측과 10년간의 안정적인 공급을 계약한 상황에서 수요량의 증가에 따라 향후 추가적인 증설이 불가피할 것으로 알려져 부지의 추가매입과 함께 이번에 준공한 생산규모의 ASU 4기를 증설한다는 계획이다.
한편 비오씨가스코리아는 2005년 5월에 착공을 시작한 이래 공사기간중 단 한차례의 안전사고(200,000man/h)가 발생되지 않았다는 점에서 그동안 지향해 왔던 안전제일주의를 실현했다는 사실에 더 큰 의미를 강조했다.
비오씨가스코리아는 공장준공과 관련해 경기도, 삼성전자 및 관련업계 관계자들을 초빙해 이달 29일에 준공식을 갖는다. |
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