반도체용 장비제조업체인 성원에드워드㈜(대표 김중조)가 지난달 29일 천안 특수가스공장 내에 세계최초의 ‘F2 제너레이터(Fluorine generator)' 양산(量産) 공장 준공하고 국내외 반도체 및 TFT-LCD 제조업체들을 대상으로 본격적인 마케팅에 돌입했다.
이날 준공식은 김중조 회장을 비롯한 성원 임직원들과 BOC에드워드 임원진, 협력업체 관계자 등 1백여명이 참석한 가운데 성황리에 개최됐다.
김중조 회장은 기념사를 통해 지난 10개월간 구슬땀을 흘린 국내외 기술진들의 노고를 치하하고 “세계최초로 무언가를 이룬다는 것은 결코 쉬운 일이 아니다”라며 “단순히 제품을 생산.공급하는 것이 아니라 일선현장에서 안정적인 가동을 구현하고 고객들의 만족을 이끌어내야만 비로소 우리의 역할이 끝나는 것”이라고 강조했다.
총 30억원이 투자된 이번 온사이트형 F2 제너레이터 제조공장은 ‘Generation-F400’모델(불소생산능력 4백ℓ/hr)을 기준으로 월 16대를 생산할 수 있는 규모이다.
특히 성원은 BOC에드워드로부터 F2 제너레이터와 관련한 모든 핵심기술을 전수받은데 이어 이번에 차세대 신모델 개발까지 국내에서 주도적으로 수행키로 합의함으로서 경쟁력 향상은 물론 대내외적 입지도 한층 공고히 할 수 있게 됐다.
이와 관련 성원은 지난 2월 F2 제너레이터 공급계약을 체결(관련기사 제60호 17면)한 LG필립스LCD 구미공장 제6세대 TFT-LCD라인에서의 성공적 가동이 향후 사업의 성패를 가늠할 시금석(試金石)이 될 것으로 보고 있다.
이미 전세계적으로 불소(F2)에 대한 관심이 커지고 있는 만큼 상용 양산라인에서의 안정성과 신뢰성이 공개적으로 입증되면 국내외 반도체 및 TFT-LCD업체들의 도입이 잇따를 것이라는 판단이다.
한편 불소는 NF3, C2F6, CF4 등 지구온난화를 유발하는 PFC(perfluorocarbon)계 세정가스를 대체할 차세대 친환경 특수가스로 주목받고 있으며 세계반도체협의회(WSC)의 PFC가스의 사용 감축 협의에 따라 앞으로 대폭적인 시장확대가 예상되고 있다.
