린데는 지난 5월 준공식을 가진 중국 쑤저우(蘇州) 전자특수가스 플랜트가 본격적인 가동에 돌입했다고 밝혔다.
쑤저우하이테크 단지내에 건설된 이 플랜트는 현재 NH3, HBr, Cl2, HCl, BCl3, SF6 등의 가스를 반도체공정에 사용될 수 있는 수준의 고순도로 정제해 공급하고 있으며 실란(SiH4)과 실란혼합가스의 경우 별도의 충전장을 통해 소분 제공하고 있다.
이중 벌크 실란을 실린더에 충전하여 공급하는 것은 중국내에서 린데 쑤저우플랜트가 처음으로 도입한 서비스이다.
이외에도 환경측적용가스, 분석용가스 등도 고순도로 정제해 판매하고 있으며 특히 반도체웨이퍼, TFT-LCD, LED, 태양전지 등의 산업에서 사용하는 고순도 수소화합물과 할로겐화 화합물도 생산해 중국은 물론 대한민국, 대만, 싱가포르, 일본, 말레이시아, 호주 등 7개 아시아 국가들에게 공급중이다.
한편 독일 Pullach지역에 본사를 둔 린데가스사업부문은 현재 전세계 55개국에서 1백50만명의 고객들을 보유하고 있으며 이를 통해 지난해에만 약 44억4천만유로(약 5조3천4백억원)의 매출을 올린바 있다.
