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- UPDATE : 2025.6.27 ±Ý 16:56
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Ú¸ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®, æÄß§ 5¹éÅæ ±Ô¸ð NF3 Á¦Á¶°øÀå °Ç¼³APÀÚü ¿¬°£ 2,500Åæ Á¦Á¶°¡´É¡¦BSGS, ISO¸ðµâ·Î °ø±Þ °èȹ |
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¼¼°èÀûÀÎ »ê¾÷¿ëƯ¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷üÀÎ Ú¸ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®(APCI)°¡ ¿ï»êÀÇ ¹ÌÆ÷±¹°¡»ê¾÷´ÜÁö¿¡ æÄß§ 5¹éÅæ ±Ô¸ðÀÇ 5õ¸¸ ´Þ·¯(5¹é¾ï¿ø) ÅõÀÚ¸¦ °áÁ¤Çß´Ù.
¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®´Â ÀÌ´Þ 4ÀÏ ¡°±Þ°ÝÇÑ ¼ºÀå¼¼¸¦ ³ªÅ¸³»°í ÀÖ´Â ¾Æ½Ã¾Æ Áö¿ªÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD¿ë Ư¼ö°¡½º ½ÃÀå¿¡ ºÎÀÀÇϱâ À§ÇØ Çѱ¹ÀÇ ¿ï»êÁö¿ª¿¡ ½Å±Ô NF3Ç÷£Æ®¸¦ °Ç¼³Å°·Î °áÁ¤Çß´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
ÀÌ¿¡ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ® ½Ì°¡Æ÷¸£ ÇÇÆ¼ÀÌ(ÁÖ) »çÀå±ÇÇÑ´ëÇàÀÎ Mr. David W. Price ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ® ÀüÀÚ»ç¾÷ºÎ ¼¼°èÀü·«´ã´ç ¸Å´ÏÀú°ú ¹Ú¸Í¿ì ¿ï»ê½ÃÀåÀº Áö³´Þ 28ÀÏ ¿ï»ê NF3Á¦Á¶°øÀå ÃßÁø¿¡ µû¸¥ ¡®ÅõÀÚ¾çÇØ°¢¼ Á¶Àνġ¯À» °®°í ½Ç¹«Â÷¿øÀÇ ÇùÀÇ¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù.
¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®´Â ¿ï»ê½Ã ³²±¸ ¼º¾Ïµ¿ºÎÁö 5õÆò¿¡ ¿¬°£ »ý»ê·® 5¹éÅæ±Ô¸ðÀÇ »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3) »ý»ê°øÀåÀ» 2007³â¸» ¿Ï°øÇÒ °èȹÀ̸ç À̰°Àº °øÀåÀÌ ¿Ï°øµÉ °æ¿ì Àü¼¼°è¿¡ ºÐ»êµÅ ÀÖ´Â ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®ÀÇ NF3 Á¦Á¶¡¤°ø±Þ´É·ÂÀº ¿¬°£ 2õ5¹éÅæ ±Ô¸ð°¡ µÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
ÀÌ È¸»çÀÇ °ü°èÀÚ´Â ¡°½Å±Ô NF3Ç÷£Æ®´Â Áö³ÇØ ¸»ºÎÅÍ °¡µ¿À» ½ÃÀÛÇÑ 5N(99.999%) ¼øµµÀÇ ºí·ç¾Ï¸ð´Ï¾Æ¿Í 7N(99.99999%)±Þ ÈÀÌÆ®¾Ï¸ð´Ï¾Æ µî UHP NH3(¾Ï¸ð´Ï¾Æ)Ç÷£Æ®¿¡ ´õÇØ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®°¡ ¿ï»êÁö¿ª¿¡ ÅõÀÚÇÏ´Â µÎ ¹øÂ° ÇÁ·ÎÁ§Æ®¡±¶ó¸ç ¡°¿ï»êÇ÷£Æ®´Â ½ÃÈ, ¹Ý¿ù, õ¾È, ÆòÅà µîÁöÀÇ Æ¯¼ö°¡½º Á¦Á¶¼³ºñµé°ú ÇÔ²² Çѱ¹À» ºñ·ÔÇÑ ¾Æ½Ã¾Æ Ư¼ö°¡½º½ÃÀå¿¡¼ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®ÀÇ ½ÃÀåÁö¹è·Â °È¿¡ À̹ÙÁöÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
³»³â ¸»ÀÌ µÇ¸é ±¹³»¿¡´Â ±âÁ¸ ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(æÄß§ 9¹éÅæ ±Ô¸ð)¿Í ¿ï»êÈÇÐ(æÄß§ 1¹é50Åæ, ³»³â¸»ÀÌÈÄ æÄß§ 6¹éÅæÀ¸·Î È®Ãæ) ±×¸®°í µ¿Á¾»ç¾÷À» ±¸»óÁßÀÎ ¶Ç ´Ù¸¥ ¾÷ü¸¦ Á¦¿ÜÇÏ´õ¶óµµ ÃÑ 3°³»ç°¡ º¸À¯ÇÑ NF3 Á¦Á¶´É·ÂÀº ÃÑ 2ÃµÅæ¿¡ À̸£¸ç ÀÌ·Î ÀÎÇÑ ½ÃÀå°æÀïÀº ÇÑÃþ Ä¡¿ÇÏ°Ô Àü°³µÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹°ßµÈ´Ù.
´õ¿íÀÌ Áö³ 2000³âÀÌÈÄ Áö¼ÓÀûÀÎ °øÀå Áõ¼³À» ÁøÇàÇϰí ÀÖ´Â ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçÀÇ °æ¿ì 2008³â ¿Ï°ø¿¹Á¤À¸·Î ÃßÁøÁßÀÎ Á¦ 3°øÀåÀÇ »ý»ê±Ô¸ð¸¦ 1õ6¹éÅæ(ÃÑ 2õ5¹éÅæ)À¸·Î ¿¹Á¤Çϰí ÀÖ°í ¿ï»êÈÇеµ ¿ÃÇØ Ãß°¡·Î 1¹é50Åæ°ú ³»³âÀÌÈÄ 3¹éÅæÀ» Áõ¼³(ÃÑ 6¹éÅæ)ÇÒ °èȹÀÎ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ® ±¹³» ¾÷ü°£ÀÇ °¡°Ý´ëºñ ǰÁú°æÀïÀ» ´õ¿í ºÎÃß±æ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
¹°·Ð ±âÁ¸ 3»ç ¸ðµÎ ³»¼ö º¸´Ù´Â ÇØ¿Ü¼öÃâ¿¡ º¸´Ù ¸¹Àº ºñÁßÀ» µÎ°í ¸¶ÄÉÆÃÀ» Àü°³ÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀÌÁö¸¸ »ï¼ºÀüÀÚ ÅÁÁ¤°øÀå, LGÇʸ³½ºLCD ÆÄÁÖ°øÀå µîÀ¸·Î ´ëÆøÀûÀÎ ¼ö¿äÁõ´ë°¡ ³ªÅ¸³ª°í ÀÖ´Â Àü¼¼°è¸¦ ´ë»óÀ¸·Î ÇÑ ±¹³» NF3 »ç¾÷Àº ÀÚÁ¸½ÉÀ» °Ç Áø°Ë½ÂºÎ°¡ ºÒ°¡ÇÇÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
ÇÑÆí ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®´Â ¿ï»ê NF3Ç÷£Æ® °Ç¼³°ú ÇÔ²² ¹úũƯ¼ö°¡½º½Ã½ºÅÛ(BSGS)°ú ISO¸ðµâÀ» Ȱ¿ëÇÑ NF3ÀÇ ¹úÅ©°ø±Þ¿¡µµ ÇÑÃþ ¿ª·®À» ÁýÁßÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
ÇöÀç ÀÌ È¸»ç´Â TFT-LCD, ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼, LED(¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå) µî¿¡ »ç¿ëµÇ´Â UHP NH3ÀÇ °ø±ÞÀ» ÀÌ¹Ì ISOÅÊÅ©¿Í ¾×üÄÁÅ×À̳ʸ¦ ÅëÇÑ ¹úÅ©¹æ½ÄÀ¸·Î °ø±ÞÇϰí ÀÖÀ¸¸ç ´ë·®ÀÇ NF3¸¦ ¼ÒºñÇÏ´Â 300mm¿þÀÌÆÛ ¹× Â÷¼¼´ë TFT-LCD Á¦Á¶¼³ºñµéÀ» Áß½ÉÀ¸·Î ÃÑ 600±âÀÇ BSGS¿Í ISO¸ðµâÀ» ¿î¿ëÇϰí ÀÖ´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
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ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
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ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
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