 |
|
- UPDATE : 2025.6.27 ±Ý 16:56
|
Ȩ
> i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö |
Çѱ¹¸ÞƼ½¼Æ¯¼ö°¡½º(ÁÖ) ¾Æ»ê Á¦2°øÀå Áذø½ÄHCL, SIF4, CL2, NH3 µî Á¦Á¶¼³ºñ ¿Ï·á¡¦¼öÀÔÀÇÁ¸ »ç¾÷±¸Á¶ Å»ÇÇ |
|
¼¼°èÀûÀΠƯ¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷üÀÎ ¸ÞƼ½¼Æ®¸®°¡½ºÀÇ Çѱ¹¹ýÀÎÀÎ Çѱ¹¸ÞƼ½¼Æ¯¼ö°¡½º(ÁÖ)(´ëÇ¥ È£¼¼ ·çÀ̸¶»þµµ)°¡ Áö³ 23ÀÏ Ãæ³² ¾Æ»ê À½ºÀ¸é¿¡ Á¦2°øÀåÀ» ¿Ï°øÇϰí Áذø½Ä Çà»ç¸¦ °¡Á³´Ù.
±×µ¿¾È Çѱ¹¸ÞƼ½¼Æ¯¼ö°¡½º(ÁÖ)´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÅÁÁ¤°øÀåÀ» °Ü³ÉÇØ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÇÔ²² 3õ¸¸ ´Þ·¯¸¦ ÅõÀÚÇØ Ãæ³² À½ºÀ¸é¿¡ ´ëÁö 1¸¸2õÆò ±Ô¸ðÀÇ Á¦2°øÀå °Ç¼³À» ÃßÁøÇØ ¿Ô´Ù.
À̹ø¿¡ ¿Ï°øÇÑ Á¦2°øÀåÀº ±¹³» ÃÖ´ëÀÇ Æ¯¼ö°¡½º ¼Òºñó°¡ µÉ »ï¼º ÅÁÁ¤°øÀå Àαٿ¡ »ç¾÷ÀåÀ» ¸¶·ÃÇÔÀ¸·Î½á °¡½º°ø±ÞÀÇ ½Å¼Ó¼º, ¾ÈÁ¤¼ºÀ» È®º¸ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ°í ÀÌÀü ºÎÁö¿¡¼ »ï¼ºÅÁÁ¤±îÁöÀÇ °Å¸®°¡ °¡±î¿î À§Ä¡¶ó¼ »ç¾÷¿¡ ÇÑÃþ À¯¸®ÇÑ °ÍÀ¸·Î Æò°¡µÈ´Ù.
ÇöÀç Çѱ¹¸ÞƼ½¼Æ¯¼ö°¡½º°¡ Ãë±ÞÇϴ Ư¼ö°¡½º´Â ¾à 40¿©Á¾¿¡ À̸¥´Ù. N2O, HeÀº ¹°·Ð ¿¡Äª ¹× CVD, TFT-LCD Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ ¸¹ÀÌ ¾²ÀÌ´Â ASH3, PH3, BF3, C3F8, C2F6°ú 99.9999% ÀÌ»óÀÇ ÃÊ°í¼øµµ NH3 µîÀÌ´Ù.
¿©±â¿¡ À̹ø¿¡ ¿Ï°øµÈ Á¦2°øÀå¿¡¼ NH3, Cl2, HCL, SiF4 µî ÃÑ 10°³ÀÇ Æ¯¼ö°¡½º Á¦Á¶ °øÁ¤ÀÌ ÀÌ·ç¾îÁ® ±âÁ¸ °øÀåÀÇ Á¦Á¶¼³ºñ´Â ´ëºÎºÐ À½ºÀ °øÀåÀ¸·Î È®ÀåÀÌÀüÇÏ°Ô µÇ¸ç ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½ºÀÇ ÀÚü Á¦Á¶(Á¤Á¦)´É·ÂÀ» °ß°íÈ÷ °®Ãâ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
¶ÇÇÑ ISOÅÊÅ©³ª Y-½Ç¸°´õ¸¦ ÅëÇØ ¹úÅ©ÇüÅ·Π´ë·®°ø±ÞÀÌ °¡´ÉÇÑ ÀÌµé Æ¯¼ö°¡½º´Â ¸ÅÃâÀº ¹°·Ð ¼öÀͼº Ãø¸é¿¡¼µµ »ó´çÇÑ ÀÌÁ¡À» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
À̳¯ Çà»ç °³È¸»ç¿¡¼ Çѱ¹¸ÞƼ½¼°¡½ºÀÇ ÁÖÁÖÀÎ ±èµ¿°ü(´ëÈ«±³¿ª) ´ëÇ¥´Â ¡°À̹ø Á¦2°øÀåÀº ±×µ¿¾È õ¾È°øÀå¿¡¼ Ãë±ÞÇÏÁö ¾Ê°í ÀÖ´Â ½Å±Ô ¾ÆÀÌÅÛÀ» Áß½ÉÀ¸·Î »ç¾÷À» Àü°³ÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ¸ç »ï¼º ÅÁÁ¤ °øÀå ±ÙóÀÎ Áö¸®Àû ÀÌÁ¡À» Ȱ¿ëÇÏ¿© Á¦2ÀÇ µµ¾àÀ» ÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
¶ÇÇÑ ¿ÏÁ¦Ç° ¼öÀÔ¿¡¸¸ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø ±âÁ¸ÀÇ »ç¾÷±¸Á¶¸¦ Å»ÇÇÇØ ±¹³» ±â¼ú°³¹ß¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇØ ÇöÀç õ¾È°øÀå¿¡¼ Á÷Á¢Á¦Á¶Çϰí ÀÖ´Â NH3, C3F8, BF3 »Ó ¾Æ´Ñ ½Å±Ô ¾ÆÀÌÅÛÀÎ Cl2, HCL, SiF4¿Í ´õºÒ¾î ¾ÆÁ÷ È®Á¤ ÁþÁö ¸øÇÑ 2°³ÀÇ ¾ÆÀÌÅÛÀ» Á¤ÇØ ½ÅÃàµÈ Á¦2°øÀå¿¡¼ Ư¼ö°¡½ºÀÇ ±¹³»°³¹ßÀ» ´õ¿í °¡¼ÓÈ ÇÒ °ÍÀÌ¶ó µ¡ºÙ¿´´Ù.
ÇÑÆí À̹ø ¾Æ»ê Á¦2°øÀå ÁذøÀ¸·Î ÀÎÇØ Çѱ¹¸ÞƼ½¼Æ¯¼ö°¡½º(ÁÖ)´Â ºñ½ÁÇÑ Æ¯¼ö°¡½º ¾ÆÀÌÅÛÀ¸·Î ½ÂºÎ¸¦ ¹úÀ̰í ÀÖ´Â (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç, (ÁÖ)ÄÚ¾ÆÅØ µî°úÀÇ ½ÃÀå¼±Á¡°æÀïÀÌ ´õ¿í Ä¡¿ÇØÁú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
À̳¯ ¿¸° Áذø½Ä Çà»ç¿¡´Â MGPK º»»ç¿Í ÀϺ» Taiyo Nippon Sanso °ü°èÀÚ, ¼¿ïº»»ç Á÷¿øµé 70¿©¸íÀÌ Âü¼®ÇßÀ¸¸ç ¹Ì±¹°ú ÀϺ» °ü°èÀÚÀÇ Ãà»ç¿Í ´õºÒ¾î Å×ÀÌÇÎÄ¿ÆÃ ¹× °í»ç, °øÀå °ßÇÐ µîÀÇ ½Ä¼øÀ¸·Î ÁøÇàµÈ À̹ø Çà»ç´Â ¿ÜºÎÀÇ Ãʺù ¾øÀÌ ºñ±³Àû Á¶¿ëÇÏ°Ô Ä¡·¯Á³´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
 |
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
 |
|
|