프렉스에어는 최근 대만내 조인트벤처기업인 Praxair Chemax社가 Toufen지역에서 가동중에 있는 실란(SiH4) 플랜트의 생산·충전능력을 기존의 2배로 증강했다고 밝혔다.
이번 SiH4 설비증설은 Toufen지역의 TFT-LCD 및 300mm웨이퍼 제조업체들의 수요확대에 부응하기 위한 조치의 일환으로 추진됐다.
Praxair Chemax의 Joyce Chen 사장은 “공급능력 확대를 통해 대만 SiH4 수요증대에 원활한 대처가 가능해졌다”며 “공급의 신속성과 안정성이 배가됨으로서 프렉스에어가 그동안 점하고 있었던 SiH4 선도기업으로서의 위치를 유지하는데도 상당한 역할을 수행할 것으로 기대된다”고 설명했다.
한편 프렉스에어는 대만 특수가스 시장에서의 역량을 강화하고 Praxair Chemax를 지원하기 위해 타이난과학단지내에 별도의 지원센터를 운용함으로서 SiH4는 물론 암모니아(NH3), 포스핀(PH3), 아르신(AsH3), 삼불화질소(NF3) 등의 적기공급에 만전을 기하고 있다.
