Ȩ > i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö
(ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç, ¿¬ÀÌÀº ƯÇã ÇàÁø2Â÷ÀüÁö Çٽɱâ¼ú ¹× ź¼ÒÀç·á ƯÇã Ãëµæ...°í¼øµµ ºÒ¼ÒÁ¦ÀÛ µî
i°¡½ºÀú³Î  |  webmaster@igasnet.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2006.11.27  
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn
   
 
»ïºÒÈ­Áú¼Ò(NF3)¡¤¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4)¡¤À°ºÒÈ­ÅÖ½ºÅÙ(WF6) µîÀÇ Æ¯¼ö°¡½º¸¦ »ý»êÇØ ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü¿¡ °ø±ÞÇϰí Àִ Ư¼ö°¡½º »ý»ê ¾÷üÀÎ (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç°¡ ±â¼ú°³¹ß ¿¬±¸ÀÇ °á½ÇÀ» ¸Î°í ÀÖ´Ù.

¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(´ëÇ¥ ÇÏ¿µÈ¯¡¤Á¶¹éÀÎ)´Â 10¿ù 25ÀÏ ¡®ºñź¼ÒÀç·á ÇÔÀ¯ ¼Ò±¸Ã¼ ź¼ÒºÐ¸» ¹× ±× Á¦Á¶¹æ¹ý¡¯¿¡ °üÇÑ Æ¯Çã ¹× Èæ¿¬ ¼Ò±¸Ã¼ ¹× À̸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Åº¼ÒÀç·á¿Í °ü·ÃµÈ ƯÇ㸦 ÃëµæÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.

ȸ»ç °ü°èÀÚ¿¡ µû¸£¸é À̹ø ƯÇã´Â ¸®Æ¬ 2Â÷ ÀüÁö ¹× ÈÞ´ë¿ë ±â±âÀÇ ¹ÚÇüÈ­¿¡ Àû¿ëµÉ Çٽɱâ¼ú·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

ÇöÀç ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â 2Â÷ ÀüÁö ¼ÒÀç»ç¾÷ ºÐ¾ß °³Ã´À» À§ÇØ °æºÏ ¿µÁÖ¿¡ ¿¬»ê 4¹éÅæ ±Ô¸ðÀÇ 2Â÷ ÀüÁö¿ë À½±ØÈ°¹°Áú(ź¼ÒÀ½±ØÀç, Graphite) »ý»ê¼³ºñ¸¦ °®Ãß°í ÇöÀç Á¤ºÎ ÃßÁø°úÁ¦¸¦ ÅëÇØ ±â¼ú È®Àå¿¡ ³ª¼­°í ÀÖ´Ù.

ȸ»çÃøÀº À̸¦ Åä´ë·Î Àü±âÀÚµ¿Â÷ µî Â÷¼¼´ë °íºÎ°¡°¡Ä¡ Á¦Ç° °³¹ß¿¡ Àû¿ëµÇ´Â 2Â÷ÀüÁö¿ë ÇٽɼÒÀç °³¹ß¿¡ ÁÖ·ÂÇÑ´Ù´Â ¹æÄ§ÀÌ´Ù.

ÀÌ¿Í ´õºÒ¾î 27ÀÏ¿¡´Â °í¼øµµ ºÒ¼Ò Á¦Á¶¹æ¹ý¿¡ °üÇÑ Æ¯Ç㸦 ÃëµæÇÔÀ¸·Î½á Ư¼ö°¡½º »ç¾÷ È®ÀåÀÌ ÇÑâÀÌ´Ù.

ȸ»çÃøÀº ¡°ºÒ¼Ò Á¦Á¶ °úÁ¤¿¡¼­ ºÒ¼ø¹°ÀÌ »ý¼ºµÇ´Â °ÍÀ» ¾ïÁ¦½ÃÄÑ °í¼øµµ ºÒ¼Ò¸¦ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î CVD ÀåÄ¡ ¼¼Á¤Á¦·Î »ç¿ëµÇ´Â »ïºÒÈ­Áú¼Ò Á¦Á¶ µî¿¡ À¯¿ëÇÏ°Ô ¾²ÀÏ °Í¡±À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.

ÇÑÆí (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â À̹ø ƯÇã Ãëµæ »Ó ¾Æ´Ï¶ó ¿©·¯ Ư¼ö°¡½º ±â¼ú°³¹ß¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡Çϰí ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù. ¾Æ¿ï·¯ 2008³â ±îÁö ÃÑ 8¹é¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇÑ »ïºÒÈ­Áú¼Ò Á¦3°øÀå Áõ¼³À» ÃßÁøÇØ 1õ6¹é¸¸ ÅæÀÇ »ý»êÀ» ÀÌ·ç°Ú´Ù´Â ¸ñÇ¥´Ù.
i°¡½ºÀú³ÎÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn µÚ·Î°¡±â À§·Î°¡±â
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ÀÚµ¿µî·Ï¹æÁö¿ë Äڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä!   
È®ÀÎ
- 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte / ÃÖ´ë 400byte)
- ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
1
[Click]¼ö¼Ò¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß ±ÔÁ¦»÷µå¹Ú½º ¡®º¿¹°¡¯
2
µ¿¼ºÈ­ÀÎÅØ, Æó³Ã¸Å ÀçȰ¿ë ¼³ºñ È®Ãæ
3
[COMPANY NEWS](ÁÖ)¿¡¾îÆÛ½ºÆ®, ¡®µµ¾àÀÇ 50³â, ºñ»óÇÏ´Â 100³â¡¯ ¼±Æ÷
4
°¡½º¾ÈÀüÍë, 2025³â »ó¹Ý±â »ç°íÁ¶»ç Àü¹®À§¿øÈ¸ °³ÃÖ
5
PKC, ¿ÃÇØ 1ºÐ±â Àü³âµ¿±â´ëºñ ¸ÅÃâ 8%¡¤¿µ¾÷ÀÍ 9% Áõ°¡
6
°¡½º±â¼úÍë, ´ëÇлý ¡®¼ö¼ÒÀüÁֱ⼾ÅÍ ÇöÀ厹桯 ¿î¿µ
7
Á¦49ȸ ¼®À¯È­ÇÐ Ç÷£Æ® ¾ÈÀü±â¼úÇâ»ó¿¬±¸È¸ °³ÃÖ
8
°¡½ºÍë, ¹Ì·¡¼¼´ë ´«³ôÀÌ·Î ¿¡³ÊÁö º¹Áö ½Çõ
9
(ÁÖ)±×¸°°¡½º¼Ö·ç¼ÇÀ̾ؾ¾, ISO 45001 ¾ÈÀüº¸°Ç°æ¿µ½Ã½ºÅÛ ÀÎÁõ ȹµæ
10
[¸ÅÃâºÐ¼®] Á¶¼±±â±â(ÁÖ)
ȸ»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æÄ§¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.