 |
|
- UPDATE : 2025.6.27 ±Ý 16:56
|
Ȩ
> i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö |
(ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç, ¿¬ÀÌÀº ƯÇã ÇàÁø2Â÷ÀüÁö Çٽɱâ¼ú ¹× ź¼ÒÀç·á ƯÇã Ãëµæ...°í¼øµµ ºÒ¼ÒÁ¦ÀÛ µî |
|
»ïºÒÈÁú¼Ò(NF3)¡¤¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4)¡¤À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ(WF6) µîÀÇ Æ¯¼ö°¡½º¸¦ »ý»êÇØ ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü¿¡ °ø±ÞÇϰí Àִ Ư¼ö°¡½º »ý»ê ¾÷üÀÎ (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç°¡ ±â¼ú°³¹ß ¿¬±¸ÀÇ °á½ÇÀ» ¸Î°í ÀÖ´Ù.
¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(´ëÇ¥ ÇÏ¿µÈ¯¡¤Á¶¹éÀÎ)´Â 10¿ù 25ÀÏ ¡®ºñź¼ÒÀç·á ÇÔÀ¯ ¼Ò±¸Ã¼ ź¼ÒºÐ¸» ¹× ±× Á¦Á¶¹æ¹ý¡¯¿¡ °üÇÑ Æ¯Çã ¹× Èæ¿¬ ¼Ò±¸Ã¼ ¹× À̸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Åº¼ÒÀç·á¿Í °ü·ÃµÈ ƯÇ㸦 ÃëµæÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ȸ»ç °ü°èÀÚ¿¡ µû¸£¸é À̹ø ƯÇã´Â ¸®Æ¬ 2Â÷ ÀüÁö ¹× ÈÞ´ë¿ë ±â±âÀÇ ¹ÚÇüÈ¿¡ Àû¿ëµÉ Çٽɱâ¼ú·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
ÇöÀç ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â 2Â÷ ÀüÁö ¼ÒÀç»ç¾÷ ºÐ¾ß °³Ã´À» À§ÇØ °æºÏ ¿µÁÖ¿¡ ¿¬»ê 4¹éÅæ ±Ô¸ðÀÇ 2Â÷ ÀüÁö¿ë À½±ØÈ°¹°Áú(ź¼ÒÀ½±ØÀç, Graphite) »ý»ê¼³ºñ¸¦ °®Ãß°í ÇöÀç Á¤ºÎ ÃßÁø°úÁ¦¸¦ ÅëÇØ ±â¼ú È®Àå¿¡ ³ª¼°í ÀÖ´Ù.
ȸ»çÃøÀº À̸¦ Åä´ë·Î Àü±âÀÚµ¿Â÷ µî Â÷¼¼´ë °íºÎ°¡°¡Ä¡ Á¦Ç° °³¹ß¿¡ Àû¿ëµÇ´Â 2Â÷ÀüÁö¿ë ÇٽɼÒÀç °³¹ß¿¡ ÁÖ·ÂÇÑ´Ù´Â ¹æÄ§ÀÌ´Ù.
ÀÌ¿Í ´õºÒ¾î 27ÀÏ¿¡´Â °í¼øµµ ºÒ¼Ò Á¦Á¶¹æ¹ý¿¡ °üÇÑ Æ¯Ç㸦 ÃëµæÇÔÀ¸·Î½á Ư¼ö°¡½º »ç¾÷ È®ÀåÀÌ ÇÑâÀÌ´Ù.
ȸ»çÃøÀº ¡°ºÒ¼Ò Á¦Á¶ °úÁ¤¿¡¼ ºÒ¼ø¹°ÀÌ »ý¼ºµÇ´Â °ÍÀ» ¾ïÁ¦½ÃÄÑ °í¼øµµ ºÒ¼Ò¸¦ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î CVD ÀåÄ¡ ¼¼Á¤Á¦·Î »ç¿ëµÇ´Â »ïºÒÈÁú¼Ò Á¦Á¶ µî¿¡ À¯¿ëÇÏ°Ô ¾²ÀÏ °Í¡±À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
ÇÑÆí (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â À̹ø ƯÇã Ãëµæ »Ó ¾Æ´Ï¶ó ¿©·¯ Ư¼ö°¡½º ±â¼ú°³¹ß¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡Çϰí ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù. ¾Æ¿ï·¯ 2008³â ±îÁö ÃÑ 8¹é¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇÑ »ïºÒÈÁú¼Ò Á¦3°øÀå Áõ¼³À» ÃßÁøÇØ 1õ6¹é¸¸ ÅæÀÇ »ý»êÀ» ÀÌ·ç°Ú´Ù´Â ¸ñÇ¥´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
 |
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
 |
|
|