에어리퀴드는 지난 2일 세계 3대 TFT-LCD 제조업체인 대만의 AU옵트로닉스(AUO)社와 향후 15년간 초고순도 질소(N2)를 공급키로 계약을 체결했다고 발표했다.
이번 계약으로 에어리퀴드는 향후 AUO社 Taichung공장의 최신 TFT-LCD 제조라인(Fab 11)에 시간당 2만5천㎥ 이상의 초고순도 질소를 공급하게 된다.
이와 관련 에어리퀴드는 수개월전 AUO社와 Taichung공장 제10라인의 산업용가스 공급계약을 체결한 이후 양사간에 쌓인 품질, 공급안정성 등에 대한 신뢰감이 제11라인의 계약성사에 상당한 영향력을 발휘했다고 보고 있다.
이 회사의 Christophe Fontaine 전자부문 부사장은 “에어리퀴드는 올해 전자업종에서 발주한 신규 산업용가스 공급계약의 50%를 수주, 선도기업의 위치를 굳건히 지키고 있다”며 “이번 AUO社와의 장기계약으로 대만은 물론 아시아 TFT-LCD시장에서 우리의 영향력이 한층 강화될 것”이라고 강조했다.
한편 초고순도 N2는 TFT-LCD 제조에 없어서는 안될 필수 소재로 각각의 공정에서 분위기 가스로 다량 사용되며 퍼지, 진공시스템 등에도 상당한 량의 질소가 필요하다.
