BOC에드워드는 최근 자사의 온사이트형 불소발생기(fluorine generator)가 일본의 유명 반도체 장비제조업체인 도쿄일렉트론(TEL)社의 300㎜ 웨이퍼용 LPCVD(저압화학기상증착) 장비에 채용됐다고 밝혔다.
TEL社의 장비에 장착된 제품은 시간당 80리터의 불소발생능력을 갖춘 ‘Generation-F80’ 불소발생기로 양사는 이를위해 지난 2년간 설계, 시스템구성 등에 공동노력을 기울여 왔다.
TEL社의 Yasuyuki Kuriki 부사장은 “TEL社는 이미 BOC에드워드의 불소발생시스템을 활용한 반도체용 세정시스템을 구축, 탁월한 세정효과를 확인한바 있다”며 “NF3 등 PFC계 세정가스를 대체하는 불소는 CVD세정공정의 새로운 패러다임”이라고 제품개발 배경에 대해 설명했다.
BOC에드워드의 전자물질부문 Noel Leeson 사장도 “온사이트형 불소발생기는 기존 PFC계 세정가스나 실린더를 통한 불소공급방식에 비해 효율성, 경제성, 환경안전성 등에서 커다란 잇점을 제공한다”고 강조했다.
