LCD 유리기판 및 반도체 증착과정에서 규소계 잔사물을 세정하는데 쓰이는 전기전자용 특수가스인 NF3(삼불화질소)에 대한 시장이 신규업체의 등장과 생산설비 증설로 인해 경쟁이 본격화 되고 있다.
우선 그동안 시기를 놓고 베일에 가려 소문으로만 무성했던 효성의 특수가스시장 진출설은 효성이 오는 2월 울산 용연공장에서 NF3 본격생산에 돌입한다는 사실이 확인되면서 업계의 초미의 관심사가 되고 있다.
효성은 그동안 2003년부터 반도체 세정용 NF3 자체 개발을 위해 안양소재 중앙연구소에서 개발을 추진해 왔다.
현재 울산 용연공장에 4백여억원을 투입해 연 4백 톤 규모의 NF3생산설비가 완공단계에 이르러 이르면 오는 2월부터 NF3를 본격적으로 생산하는 효성은 단숨에 NF3시장 선두인 소디프신소재에 뒤를 이을 정도의 생산설비 규모를 자랑하게 됐다.
하지만 시장 선두인 소디프신소재 또한 현재 연 9백 톤 규모의 생산체제에서 지난달 4백 톤을 추가한 증설공사가 완료돼 올해부터 연산 1천3백 톤의 NF3를 생산할 수 있게 돼 경쟁을 가속화 하고 있다.
아울러 3백 톤 추가 증설 공사 또한 예정대로 진행중이여서 올 상반기에는 1천7백 톤, 2008년까지 2천5백 톤의 생산시설을 갖출 예정으로 시장 선두를 굳건히 지킨다는 방안이다.
효성의 시장 진출 설로 그동안 소디프신소재와 국내 NF3시장을 주도한 울산화학 역시 현행 1백50톤 규모의 생산시설을 조만간 3백 여 톤 생산시설로 증설이 완료되고 2008년까지 6백여 톤의 생산설비를 갖출 예정으로 전해졌다.
한편 삼성 및 LG 등의 반도체 및 LCD 생산 시설 확충으로 인해 아시아에서 주요 특수가스 시장으로 떠오른 한국을 겨냥해 세계적인 산업용가스 제조회사인 에어프로덕트도 최근 울산 미포국가산업단지에 5천만 달러를 투자해 연산 5백 톤 규모의 NF3 생산공장을 오는 2008년 상반기에 완공할 예정으로 전해져 국내 NF3시장의 큰 지각변동을 예고하고 있다.
