BOC Edwards, 삼성 탕정공장에 1천7백만달러규모 진공장비 공급

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BOC Edwards, 삼성 탕정공장에 1천7백만달러규모 진공장비 공급

i가스저널 | webmaster@igasnet.com

승인 2007.01.22

BOC에드워드는 구랍 13일 삼성전자와 1천7백만달러(약 1백58억원) 규모의 진공장비 공급계약을 체결했다고 밝혔다.

이에 따라 BOC에드워드는 플라즈마화학증착(PECVD)공정용 diHK 펌핑시스템, 로드락(load-lock) 어플리케이션용 diFK 펌핑시스템, 플라즈마 에칭툴용 터보분자펌프 등의 최신 장비를 금명간 삼성전자측에 공급하게 된다.

이렇게 공급된 장비는 올해 7월 양산돌입을 목표로 삼성전자가 일본 소니社와 공동으로 19억달러(약 1조8천억원)의 자금을 투입, 현재 탕정공장내에 건설중인 제8세대 TFT-LCD 제조라인에 설치될 예정이다.

이와 관련 BOC에드워드의 자회사인 성원에드워드 김정영 사장은 “성원에드워드는 삼성전자의 제6세대 및 제7세대 평판디스플레이 제조설비에의 장비공급을 통해 진공장비의 우수성과 신뢰성을 입증한바 있다”며 “이번 8세대 라인에의 공급은 삼성전자도 BOC에드워드의 진공장비를 신뢰하고 있음을 반증하는 사실”이라고 강조했다.

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