에어프로덕트는 최근 미국 홈타운 지역에 위치한 WF6(육불화텅스텐) 제조플랜트의 생산능력을 대폭 확대할 계획이라고 밝혔다.
이번 생산능력 증강은 반도체 제조업체, 특히 메모리칩 제조업체들의 수요증대에 부응하기 위한 결정으로 일정에 차질이 빚어지지 않는다면 올해 상반기내에 건설과 시운전을 모두 마치고 상용가동에 돌입할 수 있을 전망이다.
이와 관련 투자규모나 생산능력은 아직 정확히 확인되지 않은 상황이지만 에어프로덕트는 신규 제조설비들의 가동되면 반도체 업계를 대상으로 한 자사의 WF6 공급능력을 지금보다 60%가량 확대할 수 있을 것이라고 밝히고 있어 추가되는 제조라인의 규모가 결코 작지 않음을 시사했다.
에어프로덕트는 또 설비증설이 이루어지는 동안에도 홈타운 플랜트에서의 WF6 생산은 예전과 동일하게 이루어지며 순도 등 품질에 대한 보증도 차질없이 제공될 것임을 분명히 했다.
이 회사의 Corning Painter 부사장은 “에어프로덕트는 WF6 시장의 탄탄한 성장을 예견하고 있으며 지금이 생산능력 확대의 적기라고 판단했다”고 말하고 “이를 통해 불소계 특수가스 업계에서 한층 확고한 리더쉽을 갖출 수 있을 것으로 기대한다”고 밝혔다.
한편 WF6는 화학기상증착(CVD)용 특수가스의 일종으로 반도체 회로 기능 형성에 사용된다.
