BOC Edwards, 삼성전자 제8세대 라인에 진공장비 공급

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BOC Edwards, 삼성전자 제8세대 라인에 진공장비 공급

i가스저널 | webmaster@igasnet.com

승인 2007.02.20

전자반도체용 장비제조업체인 BOC에드워드는 최근 삼성전자 탕정공장내에 건설중인 제8세대 TFT-LCD 제조라인에 자사의 진공장비를 공급키로 계약을 체결했다고 밝혔다.

이번에 공급되는 장비는 플라즈마화학증착(PECVD) 공정용 ‘diHK 펌핑시스템’, 로드락(loas-lock) 어플리케이션용 ‘diFK 펌핑시스템’, 플라즈마 에칭장비용 ‘STP 자기부상 터보분자펌프’ 등 총 3종.

계약규모는 총 1천7백만달러(약 1백60억원)로 1/4분기내에 성원에드워드를 통해 삼성전자측에 제공될 예정이다.

이와 관련 성원에드워드의 김정영 사장은 “BOC에드워드의 진공장비는 이미 삼성전자의 제6세대 및 제7세대 라인에도 공급돼 고품질의 성능과 안정성을 입증받은 바 있다”며 “이번 계약은 삼성측도 BOC에드워드의 제품을 신뢰하고 있음을 방증하는 결과”라고 강조했다.

한편 삼성전자 탕정공장 제8세대 라인은 LCD TV의 대형화를 주도할 세계최대 TFT-LCD 생산라인으로서 이르면 올해 7월경 양산에 돌입할 수 있을 것으로 예상되고 있다.

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