|
|
- UPDATE : 2024.4.26 ±Ý 11:27
|
Ȩ
> i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö |
<¸ÅÃâºÐ¼®> (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçÀü³âÝï 22.3% Áõ°¡ÇÑ ¸ÅÃâ 6¹é26¾ï¿ø ´Þ¼º |
|
¿µ¾÷½ÇÀû È£Á¶·Î ÀÎÇÑ ¸ÅÃâ, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ Áõ°¡¡¦´ç±â¼øÀÍÀº °¨¼Ò
ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷ü (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(°øµ¿´ëÇ¥ ÇÏ¿µÈ¯, Á¶¹éÀÎ)°¡ Ư¼ö°¡½º »ç¾÷ÀÇ È£Á¶¿¡ ÈûÀÔ¾î Áö³ÇØ ¸ÅÃâ½ÇÀûÀÌ »ç»óóÀ½À¸·Î 6¹é¾ï¿øÀ» ³Ñ¾î¼¹´Ù.
ÃÖ±Ù ¹ßÇ¥µÈ °æ¿µ½ÇÀû ÀÚ·á¿¡ µû¸£¸é ÀÌ È¸»ç´Â Áö³ÇØ ÃÑ 6¹é26¾ï9õ¸¸¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ±â·ÏÇÑ °ÍÀ¸·Î ¹àÇôÁ³´Ù.
ÀÌ´Â 2005³â(5¹é12¾ï5õ¸¸¿ø) ½ÇÀû´ëºñ 22.3%ÀÇ ¼ºÀåÀÌ ¹ß»ýÇÑ °ÍÀ¸·Î Çٽɻç¾÷À¸·Î ÀÚ¸®ÀâÀº NF3(»ïºÒÈÁú¼Ò)ÀÇ °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñÁõ¼³ ¿µÇâ°ú ½Å±Ô¾ÆÀÌÅÛÀÎ WF6(À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ) µî Ư¼ö°¡½º ºÎ¹®ÀÇ ½ÇÀû°³¼±¿¡ µû¸¥ °á°ú·Î º¸¿© Áø´Ù.
¶ÇÇÑ ¿µ¾÷ÀÌÀÍ¿¡ À־µ 2004³â 1¹é29¾ï3õ¸¸¿ø º¸´Ù 15.39% ¿À¸¥ 1¹é49¾ï2õ6¹é¸¸¿øÀ» ±â·ÏÇßÁö¸¸ ¼øÀÌÀÍÀº Àü³â´ëºñ 15.38% °¨¼ÒÇÑ 1¹é1¾ï8õ3¹é¸¸¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù.
ÀÌ´Â Áö³ÇØ °æ»óÀÌÀÍÀÌ 2005³â º¸´Ù 25¾ï5õ¸¸¿ø(19.4%°¨¼Ò)ÀÌ °¨¼ÒÇÑ 1¹é5¾ï9õ4¹é¸¸¿øÀ» ±â·ÏÇѵ¥¿¡ ±âÀÎÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
¾Æ¿ï·¯ CTR¿ë 1Â÷ ¿¬¸¶Á¦ »ç¾÷ µî ºñ¼öÀÍ»ç¾÷À» Á¤¸®ÇÏ¸é¼ ÀÏȸ¼º ºñ¿ëÀÌ ¹ß»ýÇÑ °Íµµ ´ç±â¼øÀÌÀÍÀ» °¨¼Ò½ÃŲ ¿äÀÎÀ¸·Î ºÐ¼®µÈ´Ù.
ÇöÀç ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçµµ ¸Å³â °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñÁõ¼³·Î ÀÎÇÑ ±¹³» NF3 »ý»ê ¼±µÎ¾÷üÀÇ À§Ä¡¸¦ °í¼öÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®, ¹Ì¾²ÀÌÄɹÌÄ®, ÄÅ䵧ī, µàÆù, È¿¼º µî ÁÖ¿ä NF3 Á¦Á¶¾÷ü ¹× ½Å±Ô¾÷ü°¡ ±ÞÁõÇÏ´Â °ü·Ã½ÃÀåÀ» Àâ±âÀ§ÇØ °æÀïÀûÀ¸·Î ´ë±Ô¸ð ¼³ºñÁõ¼³¿¡ ³ª¼¸é¼ Àü¼¼°è NF3 À¯Åë°¡°ÝÀÇ Ç϶ôÀ» ºÎÃß±â°í ÀÖ¾î °á±¹ ¼øÀÌÀÍ °¨¼Ò·Î À̾îÁö´Â ¾ÕÀ¸·ÎÀÇ »óȲŸ°³°¡ Å« À̽´°¡ µÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
°á±¹ ¿ÃÇØÀÇ °æ¿ìµµ ¼ÒµðÇÁÀÇ ½ÇÀûÀº NF3ÀÇ °¡°ÝÈ帧¿¡ »ó´çÇÑ ¿µÇâÀ» ¹Þ°ÚÁö¸¸ ÃÖ±Ù SiH4(¸ð³ë½Ç¶õ) 3¹éÅæ°ú WF(À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ) 1¹é¿©Åæ µîÀÇ ¾ç»êüÁ¦ ±¸ÃàÀ» ºñ·ÔÇØ ÇؿܽÃÀå ÆÇ·Î °³Ã´°ú °íºÎ°¡°¡Ä¡ Á¦Ç°°³¹ß ³ë·Â¿¡ ¿¹³â°ú °°Àº °íµµ¼ºÀå ±âÁ¶¸¦ À¯ÁöÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
|
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
|
|
|