에어프로덕트는 최근 대만 자회사인 Air Products San Fu社가 운용하는 Nanke 플랜트의 아산화질소(N2O) 생산능력을 기존 대비 2배 수준으로 확대했다고 밝혔다.
이번 설비 증설은 아시아 지역의 반도체 및 TFT-LCD업계에서 N2O의 수요가 확대되고 있는데 따른 것으로 일반순도 제품의 제조설비를 기존대비 2배 수준으로 확충됐으며 고순도 제품의 공급능력도 새롭게 갖췄다.
아직까지 투자금액이나 생산규모에 대해서는 정확히 알려지지 않고 있지만 신규 제조라인은 이미 N2O의 생산에 돌입, 인근지역 고객들에게 제품공급을 개시한 상태이다.
이 회사의 전자부문 Corning Painter 부사장은 “N2O 생산능력의 확대에 따라 전세계 전자특수가스 시장에서 에어프로덕트의 경쟁력을 배가할 수 있게 됐다”며 “앞으로도 지속적인 설비증설을 통해 관련산업에서 가장 신뢰성 높은 기업으로 자리매김할 수 있도록 노력을 경주할 것”이라고 말했다.
N2O는 현재 실란(SiH4) 등과 함께 화학기상증착(CVD) 공정용 특수가스로 활용되고 있으며 플루오르화 실리카 글래스(FSG) 제조를 위한 플라즈마 증착공정에서도 수요가 확대일로를 나타내고 있다.
