에어프로덕트는 최근 미국 텍사스洲에 위치한 삼성전자 오스틴 공장의 새로 설치된 300mm 메모리 반도체 제조공장에 자사의 질소(N2) 제너레이터를 설치, 본격적인 가동을 개시했다고 발표했다.
에어프로덕트는 이 질소발생기와 함께 D램 제조설비를 위한 벌크특수가스를 비롯 각종 전자․반도체용 특수가스와 화학장비들의 공급권도 함께 확보했다.
이번에 오스틴 공장에 설치된 질소발생기의 생산능력은 시간당 45만 입방피트(scf)다.
이 회사의 고위관계자는 “에어프로덕트는 다양한 포트폴리오와 신뢰성으로 전세계 반도체업체들의 파트너로서 맡은바 역할을 충실히 수행하고 있다”며 “세계적 반도체메이커인 삼성전자와 관련 한국공장에 더해 오스틴 설비에까지 산업용가스를 공급하게 된 것도 이같은 노력의 산물”이라고 밝혔다.
한편 에어프로덕트는 이미 삼성전자 오스틴 공장의 200mm 제조설비에도 생산능력 24만scf 규모의 질소발생기를 공급한바 있으며 반도체 제조를 위한 액체벌크가스, 벌크특수가스 및 장비, 배송설비 등을 제공하고 있다.
