±¹³» ÃÖ´ëÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ»ê¾÷ Àü½ÃȸÀÎ ¡®±¹Á¦ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ»ê¾÷´ëÀü(i-SEDEX)¡¯ÀÌ Áö³ 9¿ù 18ºÎÅÍ 20ÀÏ ±îÁöÀÏ ÄÚ¿¢½º(COEX)¿¡¼ ¿·È´Ù.
À̹ø Çà»ç¿¡´Â SMIC(Áß±¹, ÆÄ¿îµå¸® ¼¼°è3À§), ÈÄÁöÂê(ÀϺ», ¿þÀÌÆÛ ·ù), ¾ËÄ«ÅÚ(ÇÁ¶û½º, Áø°øÆßÇÁ ¼¼°è 4À§) µî Àü ¼¼°è 7°³±¹ 39°³ ¾÷ü¸¦ Æ÷ÇÔÇØ ÃÑ 1¹é70¿© ¾÷ü°¡ Âü°¡Çϸç 1¸¸5õ¸í ÀÌ»óÀÇ Âü°üÀÎÀÌ ¹æ¹®ÇÑ °ÍÀ¸·Î Áý°èµÆ´Ù.
¿ÃÇØ·Î Á¦9ȸ¸¦ ¸Â´Â À̹ø Çà»ç´Â ¼ÒÀÚ ¹× Àåºñ, Àç·á ºÐ¾ßÀÇ Ã·´ÜÁ¦Ç°µéÀ» ¼±º¸¿´´Ù.
¼¼°è ÃÖÃÊ 51³ª³ë 16GB Nand Flash¸¦ žÀçÇÑ º¹ÇÕĨ, Ãʰí¼Ó Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸® ¸ðµâÀÎ 2GB DDR3, ¼¼°èÃÖÃÊ ACP ¼Ò½º(ÀûÀÀÇü ÇöóÁ ¼Ò½º)¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ 300mm »êȹ° ½Ä°¢Àåºñ µî ¼¼°è ÃÖÃÊÀÇ ±¹»êÈ Á¦Ç°ÀÌ À̹ø Àü½Ãȸ¸¦ ÅëÇØ ù ¼±À» º¸¿´´Ù.
ƯÈ÷ À̹ø Çà»ç´Â ¿¡¾îÇÁ·Î´öÃ÷ÄÚ¸®¾Æ, ÇѾç±â°øÀ» ºñ·ÔÇØ ¿øÀÍ¸ÓÆ®¸®¾óÁî, ¼Öº£ÀÌÄɹÌÄ®, ¿¡µå¿öµåÄÚ¸®¾Æ, ÄÉÀ̾¾ÅØ, Çѱ¹Ç¥ÁذúÇבּ¸¿ø Áø°ø±â¼ú¿¬±¸·¦ µî ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã Ư¼ö°¡½º ¾÷üµéÀÇ Ãâǰµµ ÀÕµû¶ó dz¼ºÇÑ º¼°Å¸®¸¦ Á¦°øÇß´Ù.
¿ì¼± ¿øÀÍ¸ÓÆ®¸®¾óÁî´Â °í¼øµµ ¾Ï¸ð´Ï¾Æ(NH3)¸¦ ºñ·ÔÇØ N2O, CO, PH3 µî °í¼øµµ°¡½º ¹× Ư¼ö°¡½º¸¦ ¼±º¸¿´À¸¸ç ¿¡µå¿öµåÄÚ¸®¾Æ´Â Áø°øÆßÇÁ µî ¹ÝµµÃ¼Àåºñ¸¦ ÃâǰÇß°í ¼Öº£ÀÌÄɹÌÄ®Àº ºÒ¼Ò(F2), À°ºÒÈȲ(SF6), ºÒÈ¿ä¿Àµå(IF5), ¿ëÀ¶Á¦(Nocolok) µîÀ» Àü½ÃÇØ ±â¼ú·ÂÀ» ÀÎÁ¤¹Þ¾Ò´Ù.
°³¸· ù³¯ ±è¿µÁÖ »ê¾÷ÀÚ¿øºÎ Àå°üÀº ¿ì¸®³ª¶ó ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ °øÇåÇÑ ¿¬±¸¿ø ¹× À¯°øÀÚ¿¡°Ô ´ëÇѹα¹¹ÝµµÃ¼±â¼ú´ë»óÀ» ¼ö¿©Çß´Ù.
ÀÌ ÀÚ¸®¿¡¼ ±è Àå°üÀº ¡°¹ÝµµÃ¼´Â ¸ðµç »ê¾÷ÀÇ °æÀï·ÂÀ» Á¿ìÇÏ´Â »ê¾÷ÀÇ ¾¾¾ÑÀ¸·Î¼ ÇâÈÄ ¿ì¸®°¡ ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷À» ÁÖµµÇÏ´Â °ÍÀº ±¹³» »ê¾÷ ÀüºÐ¾ßÀÇ °æÀï·Â °È¿Í Á÷°áµÉ °Í¡±À̶ó ÀüÇÏ¸ç ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Á߿伺À» °Á¶Çß´Ù.
ÇÑÆí À̹ø Çà»ç¿¡´Â ³ª³ë¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú¿¬±¸ °³¹ß ÀÎÇÁ¶ó¼¼¹Ì³ª, žçÀüÁö¼¼¹Ì³ª, ¼¼Á¤±â¼ú¼¼¹Ì³ª, Â÷¼¼´ë¹ÝµµÃ¼ ºÐ¼®±â¼ú¼¼¹Ì³ª, ¹ÝµµÃ¼ÀåºñÁ¤Ã¥¼¼¹Ì³ª µîÀÇ Çмú ±³·ù ½Ã°£ÀÌ ¸¶·ÃµÅ »ê¡¤ÇС¤¿¬ °ü°èÀÚµéÀÇ ³ôÀº È£ÀÀÀ» ¾ò¾ú´Ù. |