Ȩ > i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö
Èļº, ¿ï»êÈ­ÇРƯ¼ö°¡½º »ý»ê¶óÀÎ ÀμöNF3, WF6, C4F6 µî ºÒ¼ÒÈ­ÇÕ¹°°ú ãæ¿¡³ÊÁö ¿¬±¸°³¹ß È®´ë
i°¡½ºÀú³Î  |  webmaster@igasnet.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2007.12.14  
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn
   
 
¹«±âÈ­ÇÕ¹° ¹× ³Ãµ¿°øÁ¶¿ë ³Ã¸ÅÀü¹®°ø±Þ¾÷üÀÎ (ÁÖ)Èļº(´ëÇ¥ ¼ÛÇÑÁÖ)ÀÌ ÃÖ±Ù ¿ï»êÈ­ÇÐ »ý»ê¶óÀÎÀ» ÀμöÇÏ°í ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º »ý»ê¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡Çϸ鼭 ź¼Ò¹èÃâ±Ç »ç¾÷¿¡ ÀÌÀº ½Å¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß·Î »ç¾÷À» È®Àå, ¸ÅÃâ ¹× ¼öÀͼº Áõ´ë¸¦ ²ÒÇϰí ÀÖ´Ù.

ÈļºÀº ƯÈ÷ ³Ã¸Å °ü·Ã ģȯ°æ ´ëüÀç °³¹ßÀ» °¡¼ÓÈ­ÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ NF3, WF6, C4F6 µî ¹ÝµµÃ¼¿ë ºÒ»ê(Ç÷ç¿À¸£»ê¡¤HF)ÀÇ Áõ»ê¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡Çϰí À̸¦ ÅëÇØ µ¿Á¾¾÷Á¾ÀÇ ¼±µµ±â¾÷À¸·Î ÀÚ¸®¸Å±è ÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.

À̸¦ À§ÇØ ÈļºÀº Áö³­ 11¿ù 5ÀÏ ¿ï»ê ³²±¸ ¸Å¾Ïµ¿¿¡ À§Ä¡ÇÑ ºÒÈ­¹° Àü¹®±â¾÷ÀÎ ¿ï»êÈ­ÇÐÀÇ ¿µ¾÷ºÎ¹® ÀüºÎ(ÀÚ»ê, ºÎä, ¿µ¾÷±Ç µî)¸¦ 2¹é81¾ï4õ8¹é¸¸¿ø¿¡ Àϰý ¾ç¼öÇÏ´Â °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù.

À̹ø ¿ï»êÈ­ÇÐÀÇ ±âÁ¸ »ý»ê¶óÀÎ Àμö·Î ÈļºÀº Á¦Á¶ ³ëÇÏ¿ì¿Í ±â¼ú È®º¸¸¦ ÅëÇØ ½Å±ÔÅõÀÚ ºÎ´ãÀ» ÃÖ¼ÒÈ­ÇÏ´Â ÇÑÆí °øÀåºÎÁö »ý»ê¼³ºñ, ºÎ´ë½Ã¼³ Àμö¸¦ ÅëÇÑ ¿µ¾÷ ¹× »ý»ê ÀÏ¿øÈ­·Î ½Ã³ÊÁöÈ¿°ú¸¦ ±â´ëÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù.

ÇöÀç ÈļºÀº Ư¼ö°¡½ººÐ¾ßÀÇ Ç°¸ñ´Ùº¯È­ ¹× »ý»ê¼ºÀ» ´õ¿í °­È­Çϱâ À§ÇØ ¿ï»êÈ­ÇÐÀÇ NF3(ÇöÀç Ò´3¹éÅæ) »ý»ê±Ô¸ð¸¦ Áõ¼³Çϰí ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ C4¸¦ »ó¾÷»ý»êÇϰí ÀÖÀ¸¸ç WF6¿Í C4F6µµ ³»³â 2¿ù±îÁö »ý»ê¼³ºñ¸¦ Áذø, 3¿ùºÎÅÍ ¾ç»êüÁ¦¿¡ ³ª¼±´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.

ÇÑÆí ÈļºÀº Áö³­ 7¿ù ±¹³»¿¡¼­ óÀ½À¸·Î (ÁÖ)¿¡ÄÚÇÁ·ÐƼ¾î¿Í °øµ¿À¸·Î Áß±¹ CFT»çÀÇ CDM(ûÁ¤°³¹ßüÁ¦) °³¹ß »ç¾÷¿¡ Âü¿©, ÇâÈÄ ¾Æ½Ã¾Æ¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î ÇØ¿Ü CDM °³¹ß»ç¾÷À» È®´ëÇϱâ À§ÇÑ ±â¹ÝÀ» È®º¸Çϱ⵵ Çß´Ù.
i°¡½ºÀú³ÎÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn µÚ·Î°¡±â À§·Î°¡±â
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ÀÚµ¿µî·Ï¹æÁö¿ë Äڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä!   
È®ÀÎ
- 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte / ÃÖ´ë 400byte)
- ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
1
[Click]¼ö¼Ò¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß ±ÔÁ¦»÷µå¹Ú½º ¡®º¿¹°¡¯
2
µ¿¼ºÈ­ÀÎÅØ, Æó³Ã¸Å ÀçȰ¿ë ¼³ºñ È®Ãæ
3
[COMPANY NEWS](ÁÖ)¿¡¾îÆÛ½ºÆ®, ¡®µµ¾àÀÇ 50³â, ºñ»óÇÏ´Â 100³â¡¯ ¼±Æ÷
4
°¡½º¾ÈÀüÍë, 2025³â »ó¹Ý±â »ç°íÁ¶»ç Àü¹®À§¿øÈ¸ °³ÃÖ
5
PKC, ¿ÃÇØ 1ºÐ±â Àü³âµ¿±â´ëºñ ¸ÅÃâ 8%¡¤¿µ¾÷ÀÍ 9% Áõ°¡
6
°¡½º±â¼úÍë, ´ëÇлý ¡®¼ö¼ÒÀüÁֱ⼾ÅÍ ÇöÀ厹桯 ¿î¿µ
7
Á¦49ȸ ¼®À¯È­ÇÐ Ç÷£Æ® ¾ÈÀü±â¼úÇâ»ó¿¬±¸È¸ °³ÃÖ
8
°¡½ºÍë, ¹Ì·¡¼¼´ë ´«³ôÀÌ·Î ¿¡³ÊÁö º¹Áö ½Çõ
9
(ÁÖ)±×¸°°¡½º¼Ö·ç¼ÇÀ̾ؾ¾, ISO 45001 ¾ÈÀüº¸°Ç°æ¿µ½Ã½ºÅÛ ÀÎÁõ ȹµæ
10
[¸ÅÃâºÐ¼®] Á¶¼±±â±â(ÁÖ)
ȸ»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æÄ§¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.