 |
|
- UPDATE : 2025.6.27 ±Ý 16:56
|
Ȩ
> i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö |
Èļº, ¿ï»êÈÇРƯ¼ö°¡½º »ý»ê¶óÀÎ ÀμöNF3, WF6, C4F6 µî ºÒ¼ÒÈÇÕ¹°°ú ãæ¿¡³ÊÁö ¿¬±¸°³¹ß È®´ë |
|
¹«±âÈÇÕ¹° ¹× ³Ãµ¿°øÁ¶¿ë ³Ã¸ÅÀü¹®°ø±Þ¾÷üÀÎ (ÁÖ)Èļº(´ëÇ¥ ¼ÛÇÑÁÖ)ÀÌ ÃÖ±Ù ¿ï»êÈÇÐ »ý»ê¶óÀÎÀ» ÀμöÇÏ°í ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º »ý»ê¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ¸é¼ Åº¼Ò¹èÃâ±Ç »ç¾÷¿¡ ÀÌÀº ½Å¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß·Î »ç¾÷À» È®Àå, ¸ÅÃâ ¹× ¼öÀͼº Áõ´ë¸¦ ²ÒÇϰí ÀÖ´Ù.
ÈļºÀº ƯÈ÷ ³Ã¸Å °ü·Ã ģȯ°æ ´ëüÀç °³¹ßÀ» °¡¼ÓÈÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ NF3, WF6, C4F6 µî ¹ÝµµÃ¼¿ë ºÒ»ê(Ç÷ç¿À¸£»ê¡¤HF)ÀÇ Áõ»ê¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡Çϰí À̸¦ ÅëÇØ µ¿Á¾¾÷Á¾ÀÇ ¼±µµ±â¾÷À¸·Î ÀÚ¸®¸Å±è ÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
À̸¦ À§ÇØ ÈļºÀº Áö³ 11¿ù 5ÀÏ ¿ï»ê ³²±¸ ¸Å¾Ïµ¿¿¡ À§Ä¡ÇÑ ºÒȹ° Àü¹®±â¾÷ÀÎ ¿ï»êÈÇÐÀÇ ¿µ¾÷ºÎ¹® ÀüºÎ(ÀÚ»ê, ºÎä, ¿µ¾÷±Ç µî)¸¦ 2¹é81¾ï4õ8¹é¸¸¿ø¿¡ Àϰý ¾ç¼öÇÏ´Â °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù.
À̹ø ¿ï»êÈÇÐÀÇ ±âÁ¸ »ý»ê¶óÀÎ Àμö·Î ÈļºÀº Á¦Á¶ ³ëÇÏ¿ì¿Í ±â¼ú È®º¸¸¦ ÅëÇØ ½Å±ÔÅõÀÚ ºÎ´ãÀ» ÃÖ¼ÒÈÇÏ´Â ÇÑÆí °øÀåºÎÁö »ý»ê¼³ºñ, ºÎ´ë½Ã¼³ Àμö¸¦ ÅëÇÑ ¿µ¾÷ ¹× »ý»ê ÀÏ¿øÈ·Î ½Ã³ÊÁöÈ¿°ú¸¦ ±â´ëÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù.
ÇöÀç ÈļºÀº Ư¼ö°¡½ººÐ¾ßÀÇ Ç°¸ñ´Ùº¯È ¹× »ý»ê¼ºÀ» ´õ¿í °ÈÇϱâ À§ÇØ ¿ï»êÈÇÐÀÇ NF3(ÇöÀç Ò´3¹éÅæ) »ý»ê±Ô¸ð¸¦ Áõ¼³Çϰí ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ C4¸¦ »ó¾÷»ý»êÇϰí ÀÖÀ¸¸ç WF6¿Í C4F6µµ ³»³â 2¿ù±îÁö »ý»ê¼³ºñ¸¦ Áذø, 3¿ùºÎÅÍ ¾ç»êüÁ¦¿¡ ³ª¼±´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
ÇÑÆí ÈļºÀº Áö³ 7¿ù ±¹³»¿¡¼ óÀ½À¸·Î (ÁÖ)¿¡ÄÚÇÁ·ÐƼ¾î¿Í °øµ¿À¸·Î Áß±¹ CFT»çÀÇ CDM(ûÁ¤°³¹ßüÁ¦) °³¹ß »ç¾÷¿¡ Âü¿©, ÇâÈÄ ¾Æ½Ã¾Æ¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î ÇØ¿Ü CDM °³¹ß»ç¾÷À» È®´ëÇϱâ À§ÇÑ ±â¹ÝÀ» È®º¸Çϱ⵵ Çß´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
 |
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
 |
|
|