이 회사는 최근 미국 홈타운 플랜트의 WF6 제조라인 증설을 완료하고 본격적인 제품공급에 돌입했다고 밝혔다.
이번 증설은 반도체 제조업체, 특히 메모리칩 제조업체들의 WF6 수요증대에 적극 대처하기 위한 것으로서 정확한 투자금액이나 신규설비의 규모는 확인되지 않고 있지만 에어프로덕트의 WF6 생산능력은 기존 대비 60% 가량 확대됐다.
이와 관련 신규라인은 WF6의 원료는 물론 자동화공정시스템, 불순물 제거를 위한 독점적 증류기술 등에 이르기까지 기존 설비와 완벽히 동일한 제조공정을 사용한다. 또한 충전 및 배송과정에서 금속 불순물에 제품이 오염되는 것을 막기 위해 반응성이 없는 니켈실린더를 사용한다는 점도 동일하다.
특히 이렇게 생산된 제품의 품질과 순도를 보증하기 위해 각각의 제품에는 자체 가스분석연구소에서 발행한 품질보증서가 함께 제공된다.
이 회사의 전자사업부문 Corning Painter 부사장은 “메모리칩 반도체업계를 중심으로 WF6 시장이 탄탄한 성장을 지속하고 있는 지금이 생산능력 확대의 적기임을 확신한다”며 “이번 증설로 불소계 특수가스 업계에서의 확고한 리더쉽을 강화할 수 있게 될 것으로 기대한다”고 강조했다.
한편 WF6는 화학기상증착(CVD)용 특수가스의 일종으로 반도체 회로 기능 형성에 사용된다.
