UPDATE : 2025.6.27 ±Ý 16:56
Ȩ
> ÀÎÅͺä/޹æ
[ÀÎÅͺä] Air Products Asia Inc.ÀÇ Corning F. PainterºÎ»çÀå, Air Products Korea Inc.ÀÇ À̼ö¿¬ ´ëÇ¥ÀÌ»ç ¡°Á¦Ç°ÀÇ ±ÕÁú¼º°ú °ø±Þ¾ÈÁ¤¼ºÀ¸·Î Â÷º°È Àü·« ±¸Çö¡±
¹ÝµµÃ¼ºÐ¾ßÀÇ Çѱ¹ Ư¼ö Áö¼Ó¡¦APD°¡ 20%°¡·® ½ÃÀå Á¡À¯
¡°ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º(Electronics Specialty Gases)´Â ¾ÈÀüÀ» ¿ì¼±À¸·Î ÇÑ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ °ø±Þ°ú Á¦Á¶±â¼úÀÇ ¿øÃµÀûÀÎ È®º¸¸¦ ÅëÇØ ¼ÒºñÀÚÀÇ ¸¸Á·µµ¸¦ ³ôÀÌ´Â °ÍÀº ¹°·Ð °æÀï·Â °È¿Í Â÷º°È¸¦ ÀÌ·ê ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÔ´Ï´Ù.¡±
ÃÖ±Ù ¼¼¹ÌÄÜÄÚ¸®¾Æ 2008¿¡ Ãâǰ¾÷ü·Î Âü°¡ÇÑ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÃ÷ ¾Æ½Ã¾ÆÀÇ CorningºÎ»çÀå(46)Àº ÀÚ»çÀÇ »ç¾÷Â÷º°È Àü·«¿¡ ´ëÇØ Á¦Ç°ÀÇ ±¸¸Å°ø±Þº¸´Ù´Â ÀÚü Á¦Á¶±â¼úÀ» ÅëÇÑ Á¦Ç°ÀÇ ±ÕÁú¼º°ú °ø±ÞÀÇ ¾ÈÁ¤¼ºÀÌ °¡´ÉÇÑ µ¿½Ã¿¡ Total Solution Provider·Î¼ ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°±ºÀ» È®º¸ÇØ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÇ ´Ü°èº° °¡½º°ø±ÞÀÌ ¿ëÀÌÇÏ´Ù´Â °ÍÀ» °Á¶ÇÑ´Ù.
¿¡¾îÇÁ·Î´öÃ÷´Â ÇöÀç ¼¼°èÀûÀÎ ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÀÇ ÇÙ½ÉÀÌ Çѱ¹À» Áß½ÉÀ¸·Î ÇÑ ¾Æ½Ã¾Æ±Ç¿ªÀ¸·Î ÁýÁßµÇ¸é¼ Áö¼ÓÀûÀÎ ¼ºÀå¼¼¸¦ ±¸°¡ÇÔ¿¡ µû¶ó ¼³ºñ ¹× Å×Å©³î·ÎÁö µî °ü·Ã½Ã½ºÅÛÀÇ È®ÃæÁö¸¦ Çѱ¹¿¡ ÁýÁßÇÑ´Ù´Â ¹æÄ§ÀÌ´Ù.
À̸¦ À§ÇØ CorningºÎ»çÀåÀº ¡°Çѱ¹³» »ç¾÷ºÎ¹®À» O2, N2, Ar µîÀÇ Á¦Á¶¡¤°ø±Þ(¾×ü ¹× ÆÄÀÌÇÁ¶óÀÎ)¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ASU»ç¾÷, Ư¼ö°¡½º »ç¾÷(½ÃÈ, õ¾È, ±¸¹Ì µî), ¿þÀÌÆÛŬ¸®´× ½Ã½ºÅÛ(ÆòÅÃ), Àåºñ»ç¾÷(ÇѾçENG) µî 4°³ ºÐ¾ß·Î ±¸ºÐÁþ°í ¹ÝµµÃ¼¿Í °ü·ÃÇØ¼´Â »ï¼º, ÇÏÀ̴нº µî°ú JDP(Joint Development Program)·Î ¿¬°èÇÏ´Â ÅõÀÚ°èȹÀ» È®Á¤Çß´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
½ÇÁ¦·Î ¿¡¾îÇÁ·Î´öÃ÷ÄÚ¸®¾Æ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ Áß ´Ü¿øÀÚÃþÀÇ ÈÇÐÀû ¹ÝÀÀÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ³ª³ë¹Ú¸·ÁõÂø±â¼úÀÎ ALD(Atomic Layer Deposition)ÀÇ ±â¼úÀ» À§ÇÑ High-K, Low-K(À¯ÀüÀ²ÀÌ ³ô°Å³ª ³·Àº ¹°Áú) µîÀÇ °³¹ß°ú °ø±Þ ¹× ·¦¼³ºñ º¸° µî¿¡ 5õ¸¸~1¾ï´Þ·¯¸¦ ÅõÀÚÇÑ´Ù´Â °èȹÀ» ¼ö¸³Çß´Ù. ÀÌ´Â ÀÌ¹Ì Çѱ¹ÀÌ ¸Þ¸ð¸®, LCD µîÀÇ ºÐ¾ß¿¡¼ ¿ÏÀüÇÑ Á¤ÂøÀ» ÀÌ·é ¸¸Å ¿ÃÇØµµ Àü³â´ëºñ 10% ÀÌ»óÀÇ ¼ºÀåÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ̶ó´Â ºÐ¼®ÀÌ Áö¹èÀûÀ̶ó´Âµ¥ µû¸¥ °ÍÀÌ´Ù.
¶Ç CorningºÎ»çÀåÀº ¡°ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼»ê¾÷Àº ¿¡¾îÇÁ·Î´öÃ÷°¡ °í¼ºÀåÀ» ÇÏ´Â ¹ßÆÇÀÌ µÇ°í ÀÖÀ¸¸ç ±× Áß¿¡¼µµ Çѱ¹Àº ±Ô¸ð°¡ °¡Àå Å« ½ÃÀåÀ¸·Î ÆÇ´ÜµÊ¿¡ µû¶ó ¿Ã »ó¹Ý±â NF3 ¿ï»ê°øÀå°ú ´õºÒ¾î 7~8¿ù°æ¿¡´Â ÇÏÀ̴нº ûÁÖ°øÀå ASU¸¦ ¿Ï°øÇÔ°ú µ¿½Ã¿¡ Áõ¼³À» °èȹÇϰí ÀÖ´Ù¡±°í ¼³¸íÇÏ°í ¡°Àü¼¼°è °¡½º»ç¾÷Áß 8%°¡·®ÀÌ ¹ÝµµÃ¼°¡½º»ç¾÷À̸ç ÀÌÁß ¿¡¾îÇÁ·Î´öÃ÷°¡ 15~20%°¡·®ÀÇ ½ÃÀåÀ» Á¡À¯Çϰí ÀÖ´Ù¡±°í ºÎ¿¬Çß´Ù.
ÀÌ´Â ¿¡¾îÇÁ·Î´öÃ÷°¡ ¹ÝµµÃ¼ ¿¬¸¶¿Í ÆòźȰøÁ¤ÀÎ CMP(Chemlcal Mechanical Polishing)¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Tantalum°è, hafnium°è, Silicate°è, Zirconium°è µî ÄɹÌÄÃÁ¦Ç°°ú °ü·Ã ¹ÝµµÃ¼°¡½ºÀÇ µ¿½Ã°ø±ÞÀÌ °¡´ÉÇÒ Á¤µµÀÇ °æÀï·ÂÀ» °®Ãè±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
¡°¿¡¾îÇÁ·Î´öÃ÷°¡ Çѱ¹½ÃÀå¿¡ ¸Å·ÂÀ» °¡Áö°í ÁýÁß ÅõÀÚ¸¦ °èȹÇÏ´Â °ÍÀº ´Ù¸¥ ³ª¶ó¿¡ ºñÇØ Åõ¸í¼ºÀÌ È®º¸µÇ°í °ü(ί)ÁÖµµÀÇ ¾÷¹«ÇùÁ¶°¡ ¼ö¿ùÇÏ´Ù´Â ÀÕÁ¡µµ ÀÛ¿ëÇÑ ¹Ý¸é ¹«¾ùº¸´Ùµµ ±Û·Î¹ú ½ºÅÄ´õµå¿¡ ´ëÇÑ Á¢±Ù¼º°ú ¼¼°èÀûÀÎ ±â¼ú·ÂÀÌ Áý¾àµÅ Àֱ⠶§¹®¡±À̶ó°í CorningºÎ»çÀåÀº Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ ÅõÀÚÈ®´ë ¹è°æÀ» ¼³¸íÇß´Ù.
ÇÑÆí 1984³â ¹Ì±¹ Carnegie Mellon´ëÇп¡¼ Chemical EngineeringÀ» Àü°øÇÑ Corning F. PainterºÎ»çÀåÀº Á¹¾÷ÇÑ ÇØ¿¡ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÃ÷¸¦ ÀÔ»çÇØ Electronics, Semiconductor, On-site µîÀ» ´ã´çÇØ ¿ÔÀ¸¸ç ÇöÀç´Â ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÀÇ Áý¾àÁöÀÎ ¾Æ½Ã¾ÆÁö¿ª(´ë¸¸)¿¡ 6³â°£ »óÁÖÇÏ¸ç ¿¡¾îÇÁ·Î´öÃ÷ÀÇ ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼ °¡½º»ç¾÷À» ÃѰýÇϰí ÀÖ´Ù.
¶ÇÇÑ ÇöÀç ¼¼°è 40¿©°³±¹¿¡¼ 2¸¸2õ¿©¸íÀÇ Á÷¿øÀÌ ¸ÅÃâ 100¾ï´Þ·¯, 10¾ï´Þ·¯ÀÇ ¼øÀÌÀÍÀ» ¿Ã¸®°í ÀÖ´Â ¿¡¾îÇÁ·Î´öÃ÷(NYSE:APD)´Â 1940³â¿¡ ¼³¸³µÅ »ê¾÷¿ë°¡½º»ê¾÷ÀÇ ±Û·Î¹ú¸®´õ¸¦ ÀÚºÎÇϰí ÀÖ´Â ´Ù±¹Àû±â¾÷À¸·Î ¹ÝµµÃ¼¿ë Àç·á ¹× Ư¼ö°¡½º, ½Å¿¡³ÊÁö, ÷´Ü±â¼ú, ÇコÄÉ¾î µîÀÇ ºÐ¾ß¿¡¼ µÎ°¢À» ³ªÅ¸³»°í ÀÖ´Ù.
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö>
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Co pyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.