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Air Products, Signet SolarÞä¿¡ »ê¾÷¿ë°¡½º ¹× Ư¼ö°¡½º °ø±Þ
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½ÂÀÎ 2008.02.25  
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À̹ø °è¾àÀ¸·Î ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®´Â Signet SolarÞä°¡ µ¶ÀÏ Mochau Áö¿ª¿¡ °Ç¼³ ÁßÀÎ ¹Ú¸·Çü PV ¸ðµâ Á¦Á¶°øÀå¿¡ ÇÊ¿äÇÑ °¢Á¾ »ê¾÷¿ë°¡½º ¹× Ư¼ö°¡½º, °¡½º¹è¼Û½Ã½ºÅÛ, °ü·Ã ¼­ºñ½º µîÀ» ÅÏŰ¹æ½ÄÀ¸·Î ÃѰý Á¦°øÇÏ°Ô µÆ´Ù. °ø±ÞÀÌ ¿¹Á¤µÈ °¡½º¿¡´Â ¼ö¼Ò(H2), Áú¼Ò(N2), ¾Æ¸£°ï(Ar) µî »ê¾÷¿ë°¡½º 3Á¾°ú Çï·ý(He), ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4), »ïºÒÈ­Áú¼Ò(NH3), ºÒ¼ø¹°°¡½º(dopant gas) µîÀÇ Æ¯¼ö°¡½º°¡ Æ÷ÇԵǾî ÀÖ´Ù. À̸¦ À§ÇØ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®´Â ¿ÃÇØ ¿©¸§ °¡µ¿À» ¸ñÇ¥·Î PV¸ðµâ Á¦Á¶°øÀå ³»¿¡ ¿Â»çÀÌÆ® °¡½º°ø±ÞÇ÷£Æ®¸¦ °Ç¼³ÇÒ °èȹÀÌ´Ù.

ÀÌ È¸»çÀÇ ÀüÀÚ»ç¾÷ºÎ¹® Corning Painter ºÎ»çÀåÀº ¡°¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®´Â NF3, SiH4, He, H2, ¾Ï¸ð´Ï¾Æ(NH3) µîÀÇ °ø±Þ¿¡¼­ ¼±µµÀû ÀÔÁö¸¦ Á¡À¯Çϰí ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°À̸¦ ÅëÇØ ÀÔÁõµÈ ¾ÈÁ¤µÈ ±â¼ú·Â°ú ³ëÇϿ찡 ½ÅÈï ½ÃÀåÀÎ PV¸ðµâ ¾÷°è¿¡¼­µµ °­·ÂÇÑ ¸Þ¸®Æ®·Î ÀÛ¿ëÇϰí ÀÖ´Ù¡±°í ¼³¸íÇß´Ù.

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ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
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