국내 최대 반도체 장비·재료 전시회로 꼽히는 ‘세미콘코리아2008’이 지난 1월 31일부터 2월 1일까지 3일간 서울 코엑스 전시장에서 성황리에 개최됐다.
올해로 21회째를 맞은 이번 행사는 역대 최대 규모인 1천7백여개의 부스가 마련됐으며 한국을 비롯한 미국, 일본, 대만 등 전세계 14개국 5백40여개 업체들이 참가해 해 자사의 최신 제품과 아이템들을 선보이며 각국의 바이어 및 관람객들을 대상으로 열띤 홍보전을 펼쳤다.
반도체·장비 재료 관련 특수가스 수요증대에 따른 산업용가스 업계의 높은 관심을 입증하듯 특수가스와 설비·장비 업체들을 중심으로 많은 업체들이 전시회에 참가해 자사의 제품 및 기술을 선보였다.
주요 산업용가스 관련 참여업체를 살펴보면 에어프로덕츠코리아를 비롯해 대성산업가스, BOC가스코리아, 한국메티슨특수가스, 소디프신소재, 로타렉스루스테크, 원익그룹(아이피에스, 아토, 원익머트리얼즈, 원익쿼츠), 등 다수의 국내 메이저급 특수가스 제조·공급업체 및 장비 업체들이 참가했다.
또한 하니웰을 비롯해 케이씨텍, 신성이엔지, 주성엔지지어링, 소슬, 세이켐 등의 반도체·장비 관련 업체의 참여도 눈이 띄었다.
이번 행사의 주요 출품 목록으로는 각종 특수가스 생산 기술 시스템과 함께 프라즈마 운용시스템, 액체 초저온 장비, 리모드 모니터링 시스템, 가스 캐비닛 등 가스관련 출품 장비 수십여 종이 전시됐다.
참가업체의 한 관계자은 “지난달 세미콘재팬에 이어 개최됐음에도 지난해보다 국내는 물론 외국 바이어들의 방문이 끊이질 않고 있다”며 “국제적으로 국내 반도체·장비 관련 시장의 입지가 날이 갈수록 커지고 있는 것 같다”고 말했다.
한편 행사기간 중 반도체 시장동향 세미나인 마켓 브리프 세미나, FPD 표준 세미나 등의 비즈니스 프로그램과 태양광 세미나, 중고장비 세미나, 환경·건강·안전(EHS) 세미나 등의 특별포럼이 열려 관련 업체와 연구원들에게 유익한 정보를 얻는 기회가 제공됐다.
이와 함께 LED·반도체조명학회와 SEMI가 공동 주최하는 ‘제2회 디스플레이 및 반도체 조명 학술대회&국제전시회’도 함께 열려 광반도체 최신기술과 제품에 관해서도 살펴볼 수 있는 자리가 됐다.
<산업용가스 업체 출품 현황>
■ 에어프로덕츠코리아(주)
국내 최대의 산업용가스 생산 업체인 에어프로덕츠코리아(주)(대표 이수연)는 모기업인 에어프로덕츠의 첨단기술을 공유, 국내 최초로 산업용가스에 대한 On-Site 공급방식 및 Pipe-line 공급방식을 도입해 물류비용의 절감 및 공급 안정을 통한 고객만족에 기여하고 있다.
지난 2007년 국내 역대 최고의 매출(4천3백89억)을 기록한 에어프로덕츠코리아는 이번 전시회에서 산소, 질소, 아르곤을 비롯한 일반가스를 비롯해 반도체용 특수가스, LCD&반도체 생산용 가스의 대유량 자동 공급장치의 퍼지 모듈인 ISO System, 가스캐비닛, 특수가스 공급 시스템(BSGS) 등의 다양한 기술을 선보였다.
■ 대성산업가스(주)
1979년 모기업인 대성산업과 프랑스의 에어리퀴드 및 에어리퀴드재팬의 자본 합작과 기술제휴로 설립된 대성산업가스(주)(대표 손무룡)는 그동안 국내에 안정적 가스공급을 통해 종합가스메이커로서 지속적인 성장을 하고 있다.
대성산업가스는 이번 세미콘코리아에 전자산업용특수가스, 초고순도가스, 표준·혼합가스 등 산업용가스를 비롯해 초고순도 He/H2 정제장치, 산화방지 식품포장 등에 사용되는 대성 막분리장치, 초저온 액화가스를 이송하는데 사용되는 진공단열배관 시스템, 가스정제기 등의 기술을 선보이며 마케팅을 펼쳤다.
■ (주)BOC가스코리아
국내 산업용가스 액메이커 중 하나인 (주)BOC가스코리아(대표 브렛킴버)는 지난 2006년 독일의 린데와 합병 이후 현재 국내 반도체·특수가스 사업에 활발히 투자하고 있다.
산소, 질소, 아르곤과 같은 일반가스를 비롯해 헬륨, 수소, 암모니아, 희귀가스 등의 생산을 하고 있는 BOC가스코리아는 이번 전시회를 통해 F2제너레이터 사업을 집중 홍보했다.
특히 회사는 현재 삼성전자, 하이닉스를 비롯한 국내 굴지의 반도체 업체에 공급하고 있는 플루오르(F2)가스와 관련 새로운 온사이트 플루오르 제너레이터 프로세스 기술을 이번 전시회에 선보이며 오는 4월 본격 사업 시작을 한다.
또한 회사는 환경 규제 물질로 알려진 육불화황(SF6)과 관련해서도 새로운 Recovery System 기술을 선보였다. 친환경 공정 시스템으로 알려진 SF6 Recovery System은 아직 국내사업 시작 시기는 확정되지 않았지만 현재 다방면으로 검토중인 것으로 알려져 조만간 국내에도 선보일 예정이다.
■ (주)소디프신소재
지난 1982년 설립된 (주)소디프신소재(대표 하영환·조백인)는 국내 소재 전문기업으로 특수 연마재와 이차전지용 음극활물질 개발에 이어 반도체·LCD용 특수가스인 NF3, SiH4, WF6의 개발에 이르기까지 전자, 정보통신, 반도체, LCD 산업의 핵심소재를 생산·공급하고 있다.
회사는 전적으로 수입에 의존하던 신소재의 국산화에 성공해 특수가스와 소재 분야에서 국내는 물론 세계시장에서도 꾸준히 점유율을 높이고 있다.
지난해 소디프신소재는 NF3의 수요 호조와 SiH4의 안정적인 시장진입을 통해 매출부양 효과가 나타나 9백81억여원의 매출을 기록했다.
특히 회사는 이번 전시회를 통해 선보인 이염화실란(SiH2CL2)을 통해 올해에도 큰 폭의 매출성장을 기대하고 있다.
■ (주)원익머트리얼즈
지난 2006년 아토의 특수가스사업 분사로 설립된 (주)원익머트리얼즈(대표 이준열)는 N2O, NH3, CO, PH3 등의 고순도 및 특수가스와 H2, O2, He, Ar, 혼합가스를 제조·공급하고 있다.
회사는 현재 특수가스 신규수요가 늘어나는 것을 대비해 지속적인 투자와 가스 생산시설을 증설하는 등 특수가스 부문에서 국내 최고 업체로 만들기 위해 노력하고 있다.
원익머트리얼즈는 이번 전시회에 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 비롯해 ISO Supply System, 각종 정제장치 등을 선보이며 관람객들을 맞았다.
■ 한국메티슨특수가스(주)
미국 메티슨트리가스의 자회사인 한국메티슨특수가스(주)(대표 호세루이마샤도)는 현재 NH3를 비롯해 C3F8, BF3 Cl2, HCL, SiF4 등을 공급하고 있는 특수가스 전문 업체이다.
이번 행사에 특수가스, 반도체가스, 용접/절단용 가스장비, 의료용가스, 온사이트 제너레이션 등의 기술과 제품을 홍보했다.
■ (주)로타렉스 루스테크
Rotarex Group의 한국 총대리점인 (주)로타렉스 루스테크(대표 진경진)는 ‘고객을 만족시키는 것이 최선의 길이다’라는 기치아래 최상의 품질과 신뢰성을 자랑하는 제품을 최적의 가격으로 공급, 보다 빠르고 정확한 납기를 준수하는 것을 목표로 한 ‘초일류 고객 만족기업’으로 거듭나기 위해 최선의 노력을 기울이고 있다.
로타렉스 루스테크는 현재 고순도 및 초고순도밸브를 비롯해 실린더밸브, 라인밸브, 초저온밸브, 각종 레귤레이터, Fittings, 각종 컨넥터를 공급하고 있다.
