|
|
- UPDATE : 2024.4.26 ±Ý 11:27
|
Ȩ
> i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö |
¢ß´ö¾ç¿¡³ÊÁ¨, Ô¼ DegussaÞä ½Ç¶õ°è Ư¼ö°¡½º ¼öÀÔ5³â°£ µ¶Á¡°è¾à ü°á¡¦½Ç¸°´õ ¹× ISOÄÁÅ×ÀÌ³Ê °ø±Þ |
|
¢ß´ö¾ç¿¡³ÊÁ¨(´ëÇ¥ ÀÌ´ö¿ì)ÀÌ µ¶ÀÏ°ú ¿µ±¹ÀÇ À¯¸í ÈÇо÷ü 2°³»ç¿Í ½Ç¶õ°è Ư¼ö°¡½º ¼öÀÔ°è¾àÀ» ü°áÇß´Ù.
ÃÖ±Ù ´ö¾ç¿¡³ÊÁ¨Àº ¡°Áö³´Þ 1ÀÏ µ¶ÀÏÀÇ ¼¼°èÀûÀÎ ÈÇб׷ìÀÎ µ¥±¸»ç(Degussa)Þä ¹× µ¥±¸»çÀÇ ¹ÝµµÃ¼¹°Áú À§Å¹°è¾à¾÷üÀÎ ¿µ±¹ ¿¡ÇÇÄÍ(Epichem)Þä µî 2°÷°ú ½Ç¶õ°è Ư¼ö°¡½º¸¦ ºñ·ÔÇÑ 20¿©Á¾¿¡ ´ÞÇÏ´Â ÈÇй°Áú¿¡ ´ëÇØ ÇâÈÄ 5³â°£ ±¹³» µ¶Á¡¼öÀÔ°è¾àÀ» ü°áÇß´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
À̹ø °è¾àÀ» À§ÇØ ´ö¾çÀº ÀÌÄ¡À± ºÎ»çÀå, ±èÈï¼± ºÎ»çÀå, ÀÌÅÃÈ« ÀÌ»ç µîÀÌ µ¶ÀÏ ¶óÀÎÆ絧 ¼ÒÀç µ¥±¸»ç °øÀåÀ» Á÷Á¢ ¹æ¹®, µ¥±¸»çÀÇ ¹ÝµµÃ¼¿µ¾÷´ã´çÀΠŬ¶óÀÎ ¹Ú»ç¿Í °ø½Ä °è¾à¼¿¡ ¼¸íÇß´Ù.
ÀÌ¿¡µû¶ó ´ö¾çÀº ¾ÕÀ¸·Î µ¥±¸»ç ¹× ¿¡ÇÇÄÍÀÌ »ý»êÇÏ´Â SiH4(¸ð³ë½Ç¶õ), SiCl4(»ç¿°È±Ô¼Ò), SiHCl3(»ï¿°È½Ç¶õ), SiH2Cl2(µðŬ·Î·Î½Ç¶õ), SiH3Cl, BCl3(»ï¿°ÈºØ¼Ò), HMDS(hexamethyldisilazane), TEOS, High-k(°íÀ¯Àüü), Low-k(ÀúÀ¯Àüü), 1MS~4MS µîÀ» ±¹³»¿¡ µ¶Á¡ °ø±ÞÇÔÀ¸·Î¼ Ư¼ö°¡½º ¹× ÈÇй°Áú ½ÃÀå¿¡¼ ÀÔÁö¸¦ ´õ¿í °ø°íÈ÷ ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
ÀÌ È¸»çÀÇ ÀÌÄ¡À± ºÎ»çÀåÀº ¡°»ç¾÷Ãʱ⿡´Â ½Ç¸°´õ¿Í ISOÄÁÅ×ÀÌ³Ê °ø±ÞÀ» º´ÇàÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î »ç¾÷À» Àü°³ÇÒ ¿¹Á¤¡±À̶ó¸ç ¡°ÇâÈÄ »ç¾÷ÀÌ ¾ÈÁ¤ÈµÇ°í ¹°·®°ø±ÞÀÌ È®´ëµÇ¸é ±¹³»¿¡ ÀÚü ÃæÀü°øÀåÀ» ¼³¸³ÇÏ´Â ¹æ¾Èµµ ÃßÁøÇÒ °èȹ¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí µ¥±¸»ç´Â BASF¿Í ÇÔ²² µ¶ÀÏÀÇ ¾ç´ë ÈÇб׷ìÀÇ Çϳª·Î Áö³ÇØ 12¾ïÀ¯·Î(¾à1Á¶6õ¾ï¿ø)ÀÇ ¸ÅÃâÀ» ±â·ÏÇß´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
|
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
|
|
|