Ȩ > i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö
¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç, ¹ÝµµÃ¼°¡½º ¼³ºñ Áõ¼³ ¹ÚÂ÷2011³â NF3-Ò´ 5õ5¹éÅæ, SiH4-Ò´ 2õ3¹éÅæ ¿¹»ó
i°¡½ºÀú³Î  |  webmaster@igasnet.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2008.03.19  
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn
¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º Àü¹® »ý»ê ¾÷üÀÎ (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(´ëÇ¥ Á¶¹éÀΡ¤ÇÏ¿µÈ¯)°¡ Ư¼ö°¡½º ¼³ºñ Áõ¼³¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡Çϰí ÀÖ´Ù.

¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â Áö³­ 2¿ù 18ÀÏ °ø½Ã¸¦ ÅëÇØ °æºÏ ¿µÁֽà ±âÁ¸»ç¾÷Àå Àαٿ¡ ¹ÝµµÃ¼, LCD ¹× žçÀüÁö(Solar Cell) Á¦Á¶¿ë Ư¼ö°¡½ºÀÎ »ïºÒÈ­Áú¼Ò(NF3) Á¦4°øÀå ¹× ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4) Á¦2°øÀåÀ» ½Å¡¤Áõ¼³ÇÏ´Â µî ÇâÈÄ 3³â°£ ÃÑ 2õ5¹é¾ï¿øÀ» ÅõÀÚÇÒ °èȹÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.

ÇöÀç ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçÀÇ NF3 »ý»ê±Ô¸ð´Â 2001³â ÀÌÈÄ 3Â÷·Ê Áõ¼³À» ÅëÇØ ¿¬»ê 2õ5¹éÅæ Á¦Á¶¼³ºñ¸¦ °®Ãß°í ÀÖÀ¸¸ç 2011³â Á¦ 4°øÀå ¿Ï°ø±îÁö Ãß°¡ 3ÃµÅæÀ» ´Ü°èº°·Î Áõ¼³ÇØ ¿¬»ê 5õ5¹éÅæ »ý»ê±Ô¸ð¸¦ °®Ãß°Ô µÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

¶ÇÇÑ SiH4µµ žçÀüÁö¿ë ¼ö¿ä°¡ ±Þ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸Á, ÇöÀç 3¹éÅæ¿¡¼­ 2009³â Áß¼ø±îÁö 2ÃµÅæÀÇ Ãß°¡ Á¦Á¶¼³ºñ¸¦ °®Ãâ °èȹÀÌ´Ù.

ÇâÈÄ Á¦ 4°øÀåÀÌ ¿Ï°øµÇ¸é ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â »ý»ê ±Ô¸ð »Ó ¾Æ´Ï¶ó ºñ¿ëÃø¸é¿¡¼­µµ ³ôÀº È¿À²¼ºÀ» È®º¸ÇÏ°Ô µÅ ¼¼°è ÃÖ´ëÀÇ NF3 Á¦Á¶¾÷ü·Î ¹ßµ¸¿òÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.

ȸ»çÃøÀº ¡°À̹ø Á¦4°øÀå °Ç¼³Àº Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼, LCD ¹× žçÀüÁö ½ÃÀåÀÇ ±Þ¼ºÀåÀ¸·Î NF3ÀÇ ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ½ÃÀå¿¡ ´ëÀÀÇÏ°í ¿ì¼öÇÑ Ç°Áú ¹× ¿ø°¡°æÀï·Â¿¡¼­ÀÇ ¿ìÀ§¸¦ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î À¯ÁöÇϱâ À§ÇÑ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.

ÇÑÆí ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â Áö³­ÇØ 9¹é81¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ´Þ¼ºÇÔÀ¸·Î½á Ư¼ö°¡½º ¾÷ü Áß °¡Àå ´«¿¡ ¶ç´Â ¼ºÀåÀ» ±â·ÏÇß´Ù.

¿ÃÇØ ¿ª½Ã NF3, SiH4, WF6¸¦ ÅëÇÑ ¸ÅÃ⠺ξçÀº ¹°·Ð »ó¹Ý±â¿¡ ¼±º¸ÀÌ´Â ÀÌ¿°È­½Ç¶õ(SiH2CL2)À» ÅëÇØ ¸ÅÃâÀ» ´õ¿í ´Ã¸°´Ù´Â ¹æÄ§ÀÌ´Ù.
i°¡½ºÀú³ÎÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn µÚ·Î°¡±â À§·Î°¡±â
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ÀÚµ¿µî·Ï¹æÁö¿ë Äڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä!   
È®ÀÎ
- 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte / ÃÖ´ë 400byte)
- ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
1
[Click]¼ö¼Ò¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß ±ÔÁ¦»÷µå¹Ú½º ¡®º¿¹°¡¯
2
µ¿¼ºÈ­ÀÎÅØ, Æó³Ã¸Å ÀçȰ¿ë ¼³ºñ È®Ãæ
3
[COMPANY NEWS](ÁÖ)¿¡¾îÆÛ½ºÆ®, ¡®µµ¾àÀÇ 50³â, ºñ»óÇÏ´Â 100³â¡¯ ¼±Æ÷
4
°¡½º¾ÈÀüÍë, 2025³â »ó¹Ý±â »ç°íÁ¶»ç Àü¹®À§¿øÈ¸ °³ÃÖ
5
PKC, ¿ÃÇØ 1ºÐ±â Àü³âµ¿±â´ëºñ ¸ÅÃâ 8%¡¤¿µ¾÷ÀÍ 9% Áõ°¡
6
°¡½º±â¼úÍë, ´ëÇлý ¡®¼ö¼ÒÀüÁֱ⼾ÅÍ ÇöÀ厹桯 ¿î¿µ
7
Á¦49ȸ ¼®À¯È­ÇÐ Ç÷£Æ® ¾ÈÀü±â¼úÇâ»ó¿¬±¸È¸ °³ÃÖ
8
°¡½ºÍë, ¹Ì·¡¼¼´ë ´«³ôÀÌ·Î ¿¡³ÊÁö º¹Áö ½Çõ
9
(ÁÖ)±×¸°°¡½º¼Ö·ç¼ÇÀ̾ؾ¾, ISO 45001 ¾ÈÀüº¸°Ç°æ¿µ½Ã½ºÅÛ ÀÎÁõ ȹµæ
10
[¸ÅÃâºÐ¼®] Á¶¼±±â±â(ÁÖ)
ȸ»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æÄ§¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.