 |
|
- UPDATE : 2025.6.27 ±Ý 16:56
|
Ȩ
> i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö |
¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç, ¹ÝµµÃ¼°¡½º ¼³ºñ Áõ¼³ ¹ÚÂ÷2011³â NF3-Ò´ 5õ5¹éÅæ, SiH4-Ò´ 2õ3¹éÅæ ¿¹»ó |
|
¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º Àü¹® »ý»ê ¾÷üÀÎ (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(´ëÇ¥ Á¶¹éÀΡ¤ÇÏ¿µÈ¯)°¡ Ư¼ö°¡½º ¼³ºñ Áõ¼³¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡Çϰí ÀÖ´Ù.
¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â Áö³ 2¿ù 18ÀÏ °ø½Ã¸¦ ÅëÇØ °æºÏ ¿µÁֽà ±âÁ¸»ç¾÷Àå Àαٿ¡ ¹ÝµµÃ¼, LCD ¹× žçÀüÁö(Solar Cell) Á¦Á¶¿ë Ư¼ö°¡½ºÀÎ »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3) Á¦4°øÀå ¹× ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4) Á¦2°øÀåÀ» ½Å¡¤Áõ¼³ÇÏ´Â µî ÇâÈÄ 3³â°£ ÃÑ 2õ5¹é¾ï¿øÀ» ÅõÀÚÇÒ °èȹÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇöÀç ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçÀÇ NF3 »ý»ê±Ô¸ð´Â 2001³â ÀÌÈÄ 3Â÷·Ê Áõ¼³À» ÅëÇØ ¿¬»ê 2õ5¹éÅæ Á¦Á¶¼³ºñ¸¦ °®Ãß°í ÀÖÀ¸¸ç 2011³â Á¦ 4°øÀå ¿Ï°ø±îÁö Ãß°¡ 3ÃµÅæÀ» ´Ü°èº°·Î Áõ¼³ÇØ ¿¬»ê 5õ5¹éÅæ »ý»ê±Ô¸ð¸¦ °®Ãß°Ô µÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ SiH4µµ žçÀüÁö¿ë ¼ö¿ä°¡ ±Þ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸Á, ÇöÀç 3¹éÅæ¿¡¼ 2009³â Áß¼ø±îÁö 2ÃµÅæÀÇ Ãß°¡ Á¦Á¶¼³ºñ¸¦ °®Ãâ °èȹÀÌ´Ù.
ÇâÈÄ Á¦ 4°øÀåÀÌ ¿Ï°øµÇ¸é ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â »ý»ê ±Ô¸ð »Ó ¾Æ´Ï¶ó ºñ¿ëÃø¸é¿¡¼µµ ³ôÀº È¿À²¼ºÀ» È®º¸ÇÏ°Ô µÅ ¼¼°è ÃÖ´ëÀÇ NF3 Á¦Á¶¾÷ü·Î ¹ßµ¸¿òÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
ȸ»çÃøÀº ¡°À̹ø Á¦4°øÀå °Ç¼³Àº Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼, LCD ¹× žçÀüÁö ½ÃÀåÀÇ ±Þ¼ºÀåÀ¸·Î NF3ÀÇ ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ½ÃÀå¿¡ ´ëÀÀÇÏ°í ¿ì¼öÇÑ Ç°Áú ¹× ¿ø°¡°æÀï·Â¿¡¼ÀÇ ¿ìÀ§¸¦ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î À¯ÁöÇϱâ À§ÇÑ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â Áö³ÇØ 9¹é81¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ´Þ¼ºÇÔÀ¸·Î½á Ư¼ö°¡½º ¾÷ü Áß °¡Àå ´«¿¡ ¶ç´Â ¼ºÀåÀ» ±â·ÏÇß´Ù.
¿ÃÇØ ¿ª½Ã NF3, SiH4, WF6¸¦ ÅëÇÑ ¸ÅÃ⠺ξçÀº ¹°·Ð »ó¹Ý±â¿¡ ¼±º¸ÀÌ´Â ÀÌ¿°È½Ç¶õ(SiH2CL2)À» ÅëÇØ ¸ÅÃâÀ» ´õ¿í ´Ã¸°´Ù´Â ¹æÄ§ÀÌ´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
 |
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
 |
|
|