 |
|
- UPDATE : 2025.6.27 ±Ý 16:56
|
Ȩ
> ÇØ¼³/Áø´Ü |
[¸ÅÃâºÐ¼®] (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçNF3, SiH4 µî Ư¼ö°¡½º »ý»ê¼³ºñ Áõ¼³ ÃßÁø |
|
Áö³ÇØ 56.5% ¸ÅÃâ½ÅÀ塦½Å±Ô »ç¾÷ÀÌ ¼ºÀå µÞ¹ÞħÇÒ µí
ÀüÀÚ¡¤¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷ü (ÁÖ)¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(°øµ¿´ëÇ¥ ÇÏ¿µÈ¯, Á¶¹éÀÎ)°¡ Ư¼ö°¡½º »ç¾÷ÀÇ È£Á¶¿Í ÇÔ²² Áö³ÇØ 9¹é81¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ½ÇÀûÀ» ±â·ÏÇÏ¸ç ¸ÅÃâ 1õ¾ï ½Ã´ë¸¦ ´«¾Õ¿¡ µÎ°Ô µÆ´Ù.
ÃÖ±Ù ¹ßÇ¥µÈ 2007³â °æ¿µ½ÇÀû ÀÚ·á¿¡ µû¸£¸é ÀÌ È¸»ç´Â Áö³ÇØ ÃÑ 9¹é81¾ï1õ¸¸¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ±â·ÏÇÑ °ÍÀ¸·Î Áý°èµÆ´Ù.
ÀÌ´Â 2006³â(6¹é26¾ï9õ¸¸¿ø) ½ÇÀû´ëºñ 56.5%ÀÇ ¼ºÀåÀÌ ¹ß»ýÇÑ °ÍÀ¸·Î Çٽɻç¾÷ÀÎ NF3(»ïºÒÈÁú¼Ò)ÀÇ °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñÁõ¼³ ¿µÇâ°ú Áö³ÇØ Ãâ½ÃµÈ ½ÅÁ¦Ç° SiH4(¸ð³ë½Ç¶õ)ÀÌ ¼º°øÀûÀ¸·Î ½ÃÀå¿¡ ÁøÀÔ, º»°ÝÀûÀÎ ¸ÅÃ⠺ξçÈ¿°ú°¡ ³ªÅ¸³ª±â ½ÃÀÛÇÑ °á°ú·Î º¸¿© Áø´Ù.
ÇÏ¸ç ³ôÀº ½ÅÀå·üÀ» º¸¿´´Ù. ÀÌ´Â ¸ÅÃâ¾× ´ëºñ ¸ÅÃâ¿ø°¡ ¼ÒÆø ³·¾ÆÁö¸ç Áö³ÇØ È¸»ç´Â ¿µ¾÷ÀÌÀÍ¿¡ À־µ 1¹é49¾ï2õ5¹é¸¸¿øÀ» ±â·ÏÇß´ø Àü³â¿¡ ºñÇØ 62%³ª ´Ã¾î³ 2¹é41¾ï8õ¸¸¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù.
¶ÇÇÑ 2006³â ¼øÀÌÀÍ °¨¼Ò(1¹é1¾ï8õ3¹é¸¸¿ø)·Î ¿ï»óÀ» Áö¾ú´ø ȸ»ç´Â Áö³ÇØ ¹«·Á 60.7%°¡ ´Ã¾î³ 1¹é63¾ï6õ¸¸¿ø ´ç±â¼øÀÌÀÍÀ» ±â·ÏÇÏ¸ç ¼öÀͰ³¼±À» ÀÌ·ï³Â´Ù.
¼ÒµðÇÁ´Â Áö³ÇØ¿¡µµ ±¹³» NF3 »ý»ê ¼±µÎ¾÷ü·Î¼ °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñÁõ¼³À» ´ÜÇàÇÏ´Â µî ÇâÈÄ 3³â°£ »ý»ê·®À» 120% °¡·® È®Àå½ÃÄÑ ½ÃÀåÀ» ¿ÏÀüÈ÷ Àå¾ÇÇÑ´Ù´Â ¸ñÇ¥¸¦ °®°í ÀÖ´Ù.
ÇöÀç NF3 °ü·Ã °æÀï¾÷üµéÀÌ ´ë±Ô¸ð ¼³ºñÁõ¼³ °æÀïÀ¸·Î À¯Åë°¡°ÝÀÌ Ç϶ôÀÌ À̾îÁö´Â µî °¡°ÝÈ帧À» ÁÖ½ÃÇϰí ÀÖÁö¸¸ ¼ÒµðÇÁÀÇ °æ¿ì ǰÁú°ú °¡°Ý °æÀï·ÂÀ» ¾Õ¼¼¿ö ÇØ¿Ü½ÃÀå ÆÇ·Î °³Ã´À¸·Î ¼ö¿ä·®À» ´Ã·Á ¸ÅÃâ°ú ¼ÕÀÍÀ» ´Ã¸°´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
¾Æ¿ï·¯ žçÀüÁö Á¦Á¶¿ë Ư¼ö°¡½ºÀÎ SiH4ÀÇ »ý»ê¼³ºñ Áõ¼³µµ ÇâÈÄ ¸ÅÃâÁõ´ë¿¡ Å« ¿µÇâÀ» ³¢Ä¥ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. ÀÌ´Â Àü¼¼°èÀûÀ¸·Î Æú¸®½Ç¸®ÄÜÀÇ °ø±ÞºÎÁ·°ú °ü·Ã ž籤 »ê¾÷ÀÇ ÇÙ½É ¿øÀç·á ¾÷ü¶ó´Â Ãø¸é¿¡¼ ±Û·Î¹ú žçÀüÁö ¾÷ü¿Í À¯»çÇÑ ¹ë·ù¿¡ÀÌ¼Ç ÇÁ¸®¹Ì¾öÀ» ºÎ¿©¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Â ÀÌÁ¡ÀÌ Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ Å¾籤 »ê¾÷ ¼ºÀå°ú ¿¬°ü, Áõ±Ç°¡¿¡¼´Â ¼ÒµðÇÁ°¡ °ø°ÝÀû ±Ô¸ð°æÁ¦¸¦ ÅëÇÑ ¿ø°¡Àý°¨À¸·Î 2010³â±îÁö ¸ÅÃâ°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍ¿¡¼ ¿¬Æò±Õ 46.7%, 62.9% Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
 |
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
 |
|
|