에어리퀴드는 지난 12일 최신 온사이트형 불소(F2)공급 솔루션인 ‘플로라(FLORA)’의 개발을 완료하고 전세계 반도체 제조메이커들을 대상으로 본격적인 마케팅에 돌입했다고 발표했다.
이 회사는 “플로라는 기존의 습식화학세정을 대체하는 안전하고 신뢰성 있는 반도체 세정용 불소가스 공급 솔루션으로 세정시간 단축, 세정신뢰성 향상, 세정비용 절감 등에 탁월한 효과를 얻을 수 있다”고 설명했다.
이와관련 에어리퀴드는 플로라를 통해 온사이트 불소발생기, 불소실린더 등 불소세정시스템을 위한 토털솔루션을 제공하며 전세계의 60여개 가스.화학관리센터(TGCM)을 활용, 고객들에게 시스템의 설치와 운용 등의 관리서비스를 지속적으로 제공하게 된다.
특히 플로라는 일본의 반도체장비제조업체인 토쿄일렉트론社가 개발한 TELFORMULA 툴을 활용, 기존 에어리퀴드 불소공급시스템을 획기적으로 개선했으며 이같은 양사간 협력에 의거해 토쿄일렉트론社는 시간당 40리터의 불소발생능력을 갖춘 FLORA F100 모델을 자사의 불소세정장치에 채용할 수 있는 권리를 획득했다.
