Ȩ > i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö
Èļº, ¿ï»ê°øÀå Àç°¡µ¿ ¹× Áõ¼³ ÅëÇØ AHF æÄß§ 2¸¸Åæ È®Á¤NF3 ¹× ³Ã¸ÅÀÇ ¿ø·á·Î »ç¿ë¡¦±¹³»¿Ü ¼ö¿äó¿¡ ¾ÈÁ¤Àû °ø±Þ °¡´É
i°¡½ºÀú³Î  |  webmaster@igasnet.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2008.04.14  
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn
   
 
¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º ¹× ³Ã¸Å Àü¹®°ø±Þ¾÷üÀÎ (ÁÖ)Èļº(´ëÇ¥ ¼ÛÇÑÁÖ)ÀÌ Áö³­ 3¿ù12ÀÏ ÀÚ»çÁ¦Ç°ÀÇ ¿ø·á°¡ µÇ´Â AHF(¹«¼öºÒ»ê) °øÀåÀ» Ãß°¡ °Ç¼³Çϱâ·Î Çß´Ù°í ¹àÇû´Ù.

À̹ø ÅõÀÚ°áÁ¤Àº Áß±¹ÀÇ ÀÚ¿øº¸È£ Á¤Ã¥¿¡ µû¸¥ ¼öÃâ¼¼ ÀÎ»ó¿¡ µû¶ó Àü³â´ëºñ µµÀÔ°¡°¡ ¾à 80% ÀλóµÇ´Â µî ¼öÀÔ´ëü ¿äÀÎÀÌ ¹ß»ýµÈµ¥ µû¸¥ °ÍÀ¸·Î ±âÁ¸ ¿¬»ê 1¸¸ÅæÀÇ ¿ï»êÇ÷£Æ® Àç°¡µ¿ ¹× Ãß°¡ 1¸¸Åæ Áõ¼³ ÇüÅ·Π°øÀå °Ç¼³ÀÌ ÃßÁøµÉ °èȹÀÌ´Ù.

ÇöÀç AHF´Â NF3µî ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º ¹× ¿¡¾îÄÁ ¹× Â÷·®¿ë ³Ã¸Å µîÀÇ ±âÃÊ ¿ø·á·Î¼­ Áß±¹ÀÌ ¼öÃ⺸ȣǰ¸ñÀ¸·Î ¼öÃâÀ» ¾ïÁ¦Çϰí Àֱ⠶§¹®¿¡ Á¦Ç° ǰ±Í ¹× °¡°Ý±ÞµîÀÌ ¿ø°¡»ó½ÂÀ» ºÎÃß±â°í ÀÖ´Â ½ÇÁ¤ÀÌ´Ù.

À̹ø °øÀå Ãß°¡ °Ç¼³À» ÅëÇØ ÈļºÀº ÇâÈÄ Áß±¹ ÇöÁö¹ýÀÎÀÎ Àý°­ÈÄÆã(±ÝÈ­½Ã ¼ÒÀç)ÀÇ »ý»ê±Ô¸ð 1¸¸5ÃµÅæÀ» ÇÕÃÄ ¿¬°£ 3¸¸5ÃµÅæ ±Ô¸ðÀÇ »ý»ê´É·ÂÀ» °®Ãß°Ô µÊÀº ¹°·Ð 3¹é50¾ï¿øÀÇ ¼öÀÔ´ëü È¿°ú°¡ ³ªÅ¸³¯ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.

¾Æ¿ï·¯ ±¹³»±â¼ú·Î À¯ÀÏÇÏ°Ô AHF¸¦ »ý»êÇÏ´Â ÈļºÀº Áß±¹ »Ó ¾Æ´Ï¶ó À̹ø ±¹³» »ý»êüÀç È®º¸¸¦ ÅëÇØ ¾ÈÁ¤µÈ ºÒ»ê Á¦Ç° ¼öÁ÷°è¿­È­¸¦ °®Ãß°Ô µÊÀ¸·Î½á ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º ¾÷ü ÇÑÃþ ¿øÈ°ÇÑ °ø±ÞÀÌ Àü¸ÁµÈ´Ù.

ÇÑÆí ÈļºÀº Áö³­ÇØ 9¹é66¾ï3õ¸¸¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ¿Ã¸° °ÍÀ¸·Î Á¶»çµÆÀ¸¸ç 11¿ù °è¿­»çÀÎ ¿ï»êÈ­ÇÐÀÇ ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º »ý»ê¶óÀÎÀ» ÀμöÇϰí NF3¸¦ ºñ·ÔÇØ C4, WF6, C4F6 µîÀ» »ý»ê¡¤°ø±ÞÇϰí ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ÇöÀç ¿¬»ê 3¹éÅæ »ý»ê±Ô¸ðÀÇ NF3°øÀåÀ» ¿À´Â ¿¬¸»±îÁö Ãß°¡·Î 3¹éÅæÀ» ´Ã·Á ³»³â¿¡´Â ÃÑ 6¹éÅæ »ý»êüÁ¦¸¦ °®Ãâ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
i°¡½ºÀú³ÎÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn µÚ·Î°¡±â À§·Î°¡±â
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ÀÚµ¿µî·Ï¹æÁö¿ë Äڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä!   
È®ÀÎ
- 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte / ÃÖ´ë 400byte)
- ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
1
[Click]¼ö¼Ò¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß ±ÔÁ¦»÷µå¹Ú½º ¡®º¿¹°¡¯
2
µ¿¼ºÈ­ÀÎÅØ, Æó³Ã¸Å ÀçȰ¿ë ¼³ºñ È®Ãæ
3
[COMPANY NEWS](ÁÖ)¿¡¾îÆÛ½ºÆ®, ¡®µµ¾àÀÇ 50³â, ºñ»óÇÏ´Â 100³â¡¯ ¼±Æ÷
4
°¡½º¾ÈÀüÍë, 2025³â »ó¹Ý±â »ç°íÁ¶»ç Àü¹®À§¿øÈ¸ °³ÃÖ
5
PKC, ¿ÃÇØ 1ºÐ±â Àü³âµ¿±â´ëºñ ¸ÅÃâ 8%¡¤¿µ¾÷ÀÍ 9% Áõ°¡
6
°¡½º±â¼úÍë, ´ëÇлý ¡®¼ö¼ÒÀüÁֱ⼾ÅÍ ÇöÀ厹桯 ¿î¿µ
7
Á¦49ȸ ¼®À¯È­ÇÐ Ç÷£Æ® ¾ÈÀü±â¼úÇâ»ó¿¬±¸È¸ °³ÃÖ
8
°¡½ºÍë, ¹Ì·¡¼¼´ë ´«³ôÀÌ·Î ¿¡³ÊÁö º¹Áö ½Çõ
9
(ÁÖ)±×¸°°¡½º¼Ö·ç¼ÇÀ̾ؾ¾, ISO 45001 ¾ÈÀüº¸°Ç°æ¿µ½Ã½ºÅÛ ÀÎÁõ ȹµæ
10
[¸ÅÃâºÐ¼®] Á¶¼±±â±â(ÁÖ)
ȸ»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æÄ§¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.