에어리퀴드가 일본에서 생산하는 초고순도(UHP) 모노실란(SiH4) 생산량을 기존의 3배로 증강한다.
이 회사는 최근 “반도체 및 TFT-LCD, 태양광 전지 제조공정에 투입되는 고순도 특수가스인 SiH4의 전세계 수요가 연간 25%의 고속성장을 거듭하고 있다”며 “이처럼 급증하는 시장상황에 적극 부응하기 위해 일본 Omi 플랜트에 세계 최대 규모의 UHP SiH4 생산플랜트를 신규 건설키로 결정했다”고 밝혔다.
이번 증설발표는 지난해 Omi 플랜트의 SiH4 생산량을 연산(年産) 5백톤 규모로 증강한지 1년도 지나지 않은 상태에서 나온 것으로 신규 설비가 준공되면 이곳의 SiH4 생산능력은 총 2천톤으로 3배 확대된다.
에어리퀴드는 오는 2010년 가동을 목표로 금명간 플랜트 건설에 착공할 예정이며 이를 통해 전 세계 SiH4 시장의 35% 점유하고 있는 세계 최대 SiH4 제조․공급업체로서의 입지를 한층 공고히 한다는 방침이다. 또한 에어리퀴드는 이에 발맞춰 올해 중 일본과 대만, 중국 등 3개국에 신규 전자물질센터(EMC)를 개소하고 컨테이너를 대폭 확충하는 등 SiH4의 배송 및 서비스 능력 강화에도 만전을 다할 계획이다.
이와 관련 이 회사의 전자그룹 Christophe Fontaine 부사장은 “에어리퀴드는 SiH4의 자체 제조능력를 갖춘 세계 유일의 산업용가스 기업”이라며 “이번 설비투자를 계기로 고객들에 대한 공급 신뢰성과 안정성을 크게 높일 수 있게 됐다”고 밝혔다.
그는 또 “신규 설비는 아시아지역에 새로 들어설 EMC들의 영향력을 강화함은 물론 SiH4를 위시한 순수가스 시장에서 에어리퀴드의 선도적 이미지를 제고하는 데에도 적지 않은 시너지효과를 발휘할 것”이라고 강조했다.
한편 에어리퀴드는 지난 1987년부터 일본 Denka그룹과의 조인트벤처인 Denal社를 통해 SiH4를 생산, 전세계에 공급하고 있다.
