 |
|
- UPDATE : 2025.6.27 ±Ý 16:56
|
Ȩ
> i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö |
¢ß¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç, NF3 ¼³ºñÁõ¼³ Á¶±â¿Ï°ø ÃßÁø10°³¿ù ¾Õ´ç°Ü ³»³â 2¿ù Áذø¡¦SiH4 °øÀå ¿ÃÇØÁß Âø°ø |
|
¢ß¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(´ëÇ¥ ÇÏ¿µÈ¯)°¡ ³»³â 12¿ù ¿Ï°øÅ°·Î Çß´ø NF3 ¼³ºñÁõ¼³ °èȹÀ» ³»³â 2¿ù·Î 10°³¿ù ¾Õ´ç±ä´Ù. ¶ÇÇÑ WF6, SiH4 µîÀÇ Æ¯¼ö°¡½º Á¦Á¶°øÀåÀ» ³»³âÁß ¿Ï°øÇÔÀ¸·Î¼ 2³âÈÄÀÎ 2006³â¿¡ ¿¬¸ÅÃâ 1õ¾ï¿øÀÇ Áß°ß±â¾÷À¸·Î °Åµì³´Ù´Â º¹¾ÈÀÌ´Ù.
Áö³ 3ÀÏ ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â À̰°Àº ³»¿ëÀ» °ñÀÚ·ÎÇÏ´Â ÁßÀå±â °æ¿µ°èȹ ¸¶½ºÅÍÇ÷£À» ¹ßÇ¥Çß´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¸£¸é ¼ÒµðÇÁ´Â ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCDÁ¦Á¶¾÷üµéÀÇ Á¦Á¶¼³ºñ Áõ¼³·Î ÀÎÇÑ ±Þ°ÝÇÑ ¼ö¿äÁõ´ë¿¡ ºÎÀÀÇϱâ À§ÇØ ´çÃÊ ³»³â 12¿ù±îÁö 2´Ü°è·Î ÃßÁøÇÒ ¿¹Á¤À̾ú´ø ¿¬»ê 6¹éÅæ ±Ô¸ðÀÇ NF3 Á¦Á¶¼³ºñ Áõ¼³°èȹÀ» ³»³â 2¿ù±îÁö Á¶±â¿¡ ¿Ï·áŰ·Î °áÁ¤Çß´Ù.
¼³ºñÁõ¼³ÀÌ ¸¶¹«¸®µÇ¸é ¼ÒµðÇÁ´Â ±âÁ¸ 3¹éÅæ¿¡ ´õÇØ ¿¬°£ ÃÑ 9¹éÅæ¿¡ ´ÞÇÏ´Â NF3 Á¦Á¶´É·ÂÀ» °®Ãß°Ô µÇ¸ç ½Å±Ô¼ö¿äÀÇ ¼±Á¡Àº ¹°·Ð °æÀï¾÷üµé°úÀÇ ¼³ºñÈ®Ãæ °æÀï¿¡¼µµ ÇÑÃþ À¯¸®ÇÑ ÀÔÁö¸¦ Á¡ÇÏ°Ô µÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
¶ÇÇÑ ¼ÒµðÇÁ´Â NF3¿¡ ´õÇØ ³»³âÁß WF6(¿¬»ê 70Åæ)¿Í SiH4(¿¬»ê 80Åæ)ÀÇ ½Å±Ô Á¦Á¶°øÀåÀ» ¿Ï°ø, ¿©±â¿¡¼¸¸ ¿¬°£ ¾à 3¹é¾ï¿øÀÇ Ãß°¡¸ÅÃâÀ» ³ë¸®°í ÀÖ´Ù. ÇöÀç WF6 °øÀåÀº °ü·Ã¼³ºñµµÀÔÀ» ¸¶Ä¡°í ½ÃÇè»ý»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖÀ¸¸ç SiH4 °øÀåÀÇ °æ¿ì¿¡µµ ¿ÃÇØ³»¿¡ Âø°øÀ» °³½ÃÇÒ ¹æÄ§ÀÌ´Ù.
À̰°Àº °èȹÀÌ ¿¹Á¤´ë·Î ÁøÇàµÇ¸é ¼ÒµðÇÁ´Â ¿ÃÇØ Àü³â(2¹é90¾ï¿ø)´ëºñ µÎ ¹è°¡·® È®´ëµÈ ¸ÅÃâ 5¹é80¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇϰí 2005³â 9¹é16¾ï¿ø¿¡ À̾î 2006³â 1õ1¹é4¾ï¿øÀ¸·Î ¸ÅÃâ 1õ¾ï¿øÀ» µ¹ÆÄÇÑ´Ù´Â ¸ñÇ¥ÀÌ´Ù. ¼øÀÌÀÍ¿¡ À־µ ¿ÃÇØ 1¹é53¾ï¿ø, 2005³â 2¹é60¾ï¿ø, 2006³â 2¹é97¾ï¿ø µî 3³â°£ ¿¬Æò±Õ 90%ÀÌ»óÀÇ °íµµ¼ºÀåÀ» ¿¹°ßÇϰí ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â ¿ÃÇØ »ó¹Ý±â¿¡¸¸ Áö³ÇØ ÃѸÅÃâÀÇ 80%¿¡ ´ÞÇÏ´Â 2¹é34¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ¿Ã·ÈÀ¸¸ç ´ç±â¼øÀÌÀÍÀº ÀÌ¹Ì Áö³ÇØÀÇ 52¾ï¿øÀ» ³Ñ¾î¼± 67¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇß´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
 |
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
 |
|
|