성원에드워드㈜, LG필립스와 ‘F2 제너레이터’ 공급 계약

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성원에드워드㈜, LG필립스와 ‘F2 제너레이터’ 공급 계약

i가스저널 | webmaster@igasnet.com

승인 2004.04.15

구미공장 제6세대 TFT-LCD라인에 ‘F400’ 모델 3~4기 제공

BOC에드워드의 자회사인 반도체용 특수가스 및 장비제조업체 성원에드워드㈜(대표 김중조)가 LG필립스LCD에 자사의 불소발생장치(F2 Generator)를 공급한다.

성원은 최근 “LG필립스가 구미지역에 신규 건설중인 제6세대 TFT-LCD제조라인에 생산능력 4백ℓ/hr규모의 온사이트形 불소발생기 공급계약을 체결했다”고 밝혔다.

이번에 공급되는 제품은 모델명 ‘Generation-F400’으로 하루 최대 16㎏의 고순도 불소(99.96%)를 생산할 수 있으며 LG필립스는 총 3~4기의 장비를 공급받아 CVD(화학기상증착)공정의 클리닝용 가스로 사용하게 된다.

특히 이번 계약은 TFT-LCD 양산라인에 불소발생기가 실제 채용되는 세계최초의 사례라는 점에서 큰 의미를 지니고 있다.

이에따라 성원은 LG필립스를 통해 제품의 안정성과 신뢰성이 입증되면 국내외 TFT-LCD업계에서의 불소발생기 도입이 급물살을 탈 수 있을 것으로 기대하고 있다.

이 회사의 한 관계자는 “납품시기는 아직 정해지지 않았지만 천안의 불소 제너레이터 제조공장 준공이 이달말경 가능할 것으로 보여 초기에는 본사에서 생산한 제품을 공급하고 공장 완공이후 국내에서 생산된 제품이 공급될 것으로 예상된다”고 설명했다.

이와관련 성원은 현재 막바지 공사가 진행중인 천안공장이 완공되는데로 국내 TFT-LCD 및 반도체 제조메이커들을 대상으로 보다 적극적인 마케팅을 전개, 삼성전자와 함께 불소발생기 국산화에 나서고 있는 ㈜아토와의 경쟁에서 유리한 위치를 선점한다는 방침이다.

한편 불소는 NF3, SF6, CF4 등 지구온난화를 유발하는 PFC계 특수가스를 대체할 최적의 친환경 클리닝용 특수가스로 지목받고 있으며 TFT-LCD분야의 최강국인 한국에 전세계 불소발생기 시장의 90% 이상이 집중되어 있다.

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