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- UPDATE : 2024.3.28 ¸ñ 12:04
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Çѱ¹»ê¾÷°¡½º¢ß, »ï¼ºÀüÀÚ ÅÁÁ¤°øÀå »ê¾÷¿ë°¡½º °ø±Þ °è¾à ü°áO2, N2, Ar, NF3, NH3, SiH4 µî¡¦½Å±ÔÇ÷£Æ® 2±â °Ç¼³ ÃßÁø |
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Áö³ 15ÀÏ ¹Ì±¹ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®´Â Çѱ¹³» ÀÚȸ»çÀÎ Çѱ¹»ê¾÷°¡½º¢ß(´ëÇ¥ À̼ö¿¬, KIG)°¡ »ï¼ºÀüÀÚ ½Å±Ô°Ç¼³ÁßÀÎ ÅÁÁ¤°øÀåÀÇ Á¦7¼¼´ë TFT-LCD¶óÀο¡ ´ëÇÑ »ê¾÷¿ë°¡½º °ø±Þ±ÇÀ» ȹµæÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.
À̹ø¿¡ KIG°¡ °ø±Þ±ÇÀ» µû³½ Á¦Ç°Àº »ê¼Ò(O2), Áú¼Ò(N2), ¾Æ¸£°ï(Ar) µî °í¼øµµ »ê¾÷¿ë°¡½º¿Í »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3), ¾Ï¸ð´Ï¾Æ(NH3), ½Ç¶õ(SiH4) µî Ư¼ö°¡½ºÀ̸ç ÆÄÀÌÇÁ¶óÀÎ ¹æ½ÄÀ¸·Î °ø±ÞµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®´Â KIG°¡ Çï·ý(He)°ú ¼ö¼Ò(H2)ÀÇ ÇâÈÄ ¼ö¿äÁõ°¡ºÐ¿¡ ´ëÇÑ °ø±Þ±Çµµ ÇÔ²² È®º¸Çß´Ù°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®ÃøÀº ¡°ÅÁÁ¤ LCD°øÀåÀº ±× ±Ô¸ð¸é¿¡¼ ±âÁ¸ LCD°øÀå°ú ºñ±³ÇØ 5¹è¢¦8¹èÀÌ»ó ¸¹Àº N2¸¦ »ç¿ëÇÏ°Ô µÉ °Í¡±À̶ó¸ç ¡°°¢ °è¾à¹°·®ÀÇ ¿øÈ°ÇÑ °ø±ÞÀ» À§ÇØ ÇöÀç ÅÁÁ¤°øÀå³»¿¡ ½Å±Ô ¿Â»çÀÌÆ® Ç÷£Æ® 2±âÀÇ °Ç¼³À» ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
ÀÌ¿Í°ü·Ã KIGÀÇ Á¦1È£ ¿Â»çÀÌÆ®´Â A410/L400 ASUÇ÷£Æ®·Î ¿ÃÇØ ¿©¸§Âë¿¡ º»°ÝÀûÀÎ °¡µ¿¿¡ µ¹ÀÔÇÒ ¿¹Á¤¿¡ ÀÖÀ¸¸ç 2005³â¿¡ ¿Ï°øµÉ ¿¹Á¤ÀÎ Á¦2È£ ¿Â»çÀÌÆ®´Â ±âÁ¸ »ï¼ºÀüÀÚ ±âÈï°øÀå ¹× Ãµ¾È°øÀå¿¡ °¡µ¿ÁßÀÎ Ç÷£Æ®¿Í µ¿ÀÏÇÑ ±Ô¸ð·Î °Ç¼³ÁßÀÌ´Ù.
ƯÈ÷ KIG´Â ¾ÕÀ¸·Î °Ç¼³µÉ LCD ÆÕ(fab)¿¡ ´ëºñÇϱâ À§ÇØ Á¦3È£ Ç÷£Æ® °Ç¼³À» À§ÇÑ ºÎÁöµµ ÇÒ´çÇØ ³õÀº »óÅÂÀÌ´Ù.
ÇÑÆí ÅÁÁ¤°øÀå 7¼¼´ë LCD¶óÀÎÀº Áö³ÇØ 8¿ùÀÌÈÄ Áö±Ý±îÁö ºÎÁöÁ¶¼º, °ñÁ¶°ø»ç µî¿¡¸¸ 3Á¶7¹é52¾ï¿øÀÌ ÅõÀڵǾúÀ» ¸¸Å ¼¼°è ÃÖ´ë±Ô¸ð¸¦ ÁöÇâÇÏ´Â LCDÁ¦Á¶°øÀåÀ¸·Î Áö³ÇØ 10¿ù ÀϺ» ¼Ò´ÏÞä¿ÍÀÇ ÇÕÀÛ ¹ßÇ¥¿¡ À̾î Áö³ 13ÀÏ¿¡´Â ´ÜÀÏÅõÀڷδ »ç»óÃÖ´ëÀÎ 2Á¶7õ3¹é82¾ï¿øÀÇ ÅõÀÚ°èȹÀÌ ¹ßÇ¥µÇ´Â µî µî ¿¬ÀÏ »õ·Î¿î À̽´¸¦ ¸¸µé¾î³»°í ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷ ÅÁÁ¤°øÀåÀº LGÇʸ³½ºLCDÀÇ ÆÄÁÖ°øÀå°ú ÇÔ²² ±¹³» »ê¾÷¿ë°¡½º ¿ª»ç»ó ÃÖ´ë±Ô¸ðÀÇ »ê¾÷¿ë°¡½º.Ư¼ö°¡½º °ø±Þ°è¾àÀ» ¹ßÁÖÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ÀÌ·ÎÀÎÇØ Çѱ¹»ê¾÷°¡½º, ´ë¼º»ê¼Ò, ÇÁ·º½º¿¡¾îÄÚ¸®¾Æ, ºñ¿À¾¾°¡½ºÄÚ¸®¾Æ µî ¾×¸ÞÀÌÄ¿ 4°³»çµéÀÇ »çÈ°À» °Ç ¼öÁÖÀüÀÌ ÆîÃÄÁö°í ÀÖ´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
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ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
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ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
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