불소화합물 및 불소계 냉매제조업체인 울산화학㈜(대표 지해석)이 반도체 및 LCD 세정용 특수가스인 NF3(삼불화질소)의 국산화에 성공했다.
최근 울산화학은 “지난 99년부터 50억원의 연구개발비를 투자해 순도 4N(99.99%)이상의 NF3 제조기술 개발에 성공, 최근 미국 프렉스에어社와 7년간 총 1억달러 규모의 NF3 공급계약을 체결했다”고 밝혔다.
국내 토종기업이 특수가스의 국산화에 성공한 것은 대백신소재㈜에 이어 울산화학이 두 번째이다.
현재 울산 본사 부지내에 연산 10톤 규모의 파일럿플랜트(Pilot plant)를 가동중인 울산화학은 이번 프렉스에어와의 계약체결을 계기로 연간 2백50톤으로의 공장증설을 추진중에 있으며 2004년 11월경 본격적인 양산에 돌입할 계획이다.
또한 오는 2006년까지 총 1백50억원을 투자함으로서 생산능력을 연간 5백톤 수준까지 끌어올린다는 방침이다.
이와 관련 NF3 개발의 주역인 울산화학 연구소 장향자 박사는 “불소분야의 축적된 기술노하우를 바탕으로 경쟁업체에 비해 한 차원 앞선 공정을 채택했다”며 “특히 울산화학은 NF3의 원료인 HF(불화질소)를 직접 생산하기 때문에 품질은 물론 가격경쟁력 측면에서도 탁월한 우위를 확보하고 있다”고 강조했다.
일단 울산화학은 프렉스에어를 필두로 해외시장 공략에 역량을 집중하면서 삼성전자, LG-필립스LCD 등 국내 주요 반도체 및 LCD 제조업체들과의 공급계약 체결에도 적극적인 노력을 기울일 예정이다.
특히 이 회사는 최근 시장축소가 나타나고 있는 냉매사업을 대체할 차세대 주력 아이템으로 고부가가치의 특수가스 사업을 집중 육성키로 결정하고 내년중 생산개시를 목표로 NH3, C2F6, C3F8 등의 제조공장 건설을 추진하고 있다.
이에더해 SiF4, WF6 등도 내년까지 개발을 완료할 방침이며 SF6의 경우 이미 제조기술 개발이 완료된 상태로 시장상황에 따라 언제든 생산돌입이 가능한 것으로 알려졌다.
한편 국내 NF3시장은 연간 300～400톤 규모로 추정되고 있으며 현재 설비증설 또는 부지조성이 진행중인 삼성전자 화성공장.탕정공장, LG필립스 파주공장.구미공장 등이 본격 가동되면 수요량은 더욱 확대될 것으로 전망된다.
